문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 박막전사기구는, 배선패턴 또는 디바이스가 형성되는 기판으로상기박막패턴전사시키는것을특징으로 하는박막형성장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 전사부재는, 상기 박막패턴으로서의배선막패턴담지하는것을특징으로 하는박막형성장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 박막전사기구는, 상기 박막패턴을 기판 상에 형성된 막에 메워 넣은(embedded)상태전사하는것을특징으로 하는박막형성장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 박막전사기구는, 겔 상태의 막이 형성된 기판에, 상기 박막패턴을 상기 겔 상태 막에 메워 넣은상태전사하는것을특징으로 하는박막형성장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 전사부재는, 표면에 오목부 및 돌출부를 구비하고, 돌출부의 표면에상기박막형성되어있는것을특징으로 하는박막형성장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 전사부재는, 평탄한 표면을 가지고, 상기 평탄한 표면의 소정영역에상기박막패턴형성되는것을특징으로 하는박막형성장치.
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 전사부재는, 상기 기판 상에 있어서 동일층 내에 형성되는 다른종류의막담지하는것을특징으로 하는박막형성장치.
[청구항 18]
제16항에 있어서,상기 전사부재는, 상기 기판 상에 있어서 다른 층에 형성되는복수의박막담지하는것을특징으로 하는박막형성장치.
[청구항 25]
제24항에 있어서,도포처리부에 의하여 기판의 표면에 도포형성된 절연막을 겔 상태로 만들기 위한 열처리부를 더 구비하고,전사처리부는, 도금처리부에 의해 전사부재에 형성된 금속배선막패턴을, 열처리부에 의해 겔 상태로 된절연막전사하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 26]
제24항에 있어서,전사처리부에 의해 금속배선막패턴이 전사된 후의 기판의 절연막을 경화시키기 위한열처리부더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 27]
제24항에 있어서,도금처리부, 도포처리부 및 전사처리부에 대하여 기판 또는 전사부재의 반입/반출을 행하기 위한주반송로봇더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항 28]
제24항에 있어서,전사부재를 수납하는 카세트 및 기판을 수납하는 카세트를 탑재할 수 있는 카세트 탑재부와,카세트 탑재부에 탑재된 카세트로부터 전사부재 또는 기판을 인출하여, 상기 도금처리부, 도포처리부 및 전사처리부를 포함하는 기판처리부에 제공하고, 사용 후의 전사부재 또는 처리 후의 기판을 상기 기판처리부로부터 받아서 카세트로 수납하는 인덱서(indexer)로봇더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치에서 전사처리부가 금속배선막패턴을 전사할 때, 기판의 절연막은 어떠한 상태여야 하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판처리장치의 전사처리부가 금속배선막패턴을 전사할 때, 기판의 절연막이 어떠한 상태여야 하는지 조건을 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 25에서 전사처리부의 동작과 절연막의 상태에 관한 기술 내용을 추출한다.
- 전사처리부는, 도금처리부에 의해 전사부재에 형성된 금속배선막패턴을, 열처리부에 의해 겔 상태로 된절연막전사하는것을특징으로 하는기판처리장치
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3근거 선택
evidence_selection전사 시 절연막의 상태를 직접적으로 명시한 '열처리부에 의해 겔 상태로 된 절연막' 구절을 선택한다.
- 열처리부에 의해 겔 상태로 된절연막전사
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4논리 통합
logical_integration전사처리부가 금속배선막패턴을 전사하는 대상이 '열처리부에 의해 겔 상태로 된 절연막'임을 확인하여 인과관계를 연결한다.
- 열처리부에 의해 겔 상태로 된절연막전사
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5결론 도출
conclusion_formulation따라서 금속배선막패턴을 전사할 때 기판의 절연막은 겔 상태여야 한다는 결론을 도출한다.
- 열처리부에 의해 겔 상태로 된절연막전사
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 '열처리부에 의해 겔 상태'를 추출하여 작성한다.
- 열처리부에 의해 겔 상태로 된절연막전사
최종 답변 (final_answer)
열처리부에 의해 겔 상태
핵심 해석 (core_interpretation)
금속배선막패턴의 원활한 전사를 위해 열처리를 통해 기판의 절연막을 겔(gel) 상태로 변화시켜 전사 공정을 수행하는 기술이다.