서셉터 document_id 1020020054186

[청구항 1] 웨이퍼(wafer)의 처리를 위한 반응영역이 정의된 챔버(chamber)에 부설되고, 히터(heater)가 실장된 상태로 상기 반응영역 내로 수평하게 배열되어 상면에 웨이퍼를 안착시켜 지지 및 가열하는 판(plate) 상의 서셉터몸체와, 일끝단이 상기 서셉터몸체 배면에 결합되고 타단이 상기 챔버 외부로 노출되는 파이프(pipe) 형상의 서셉터지지대와, 상기 서셉터지지대의 타끝단을 폐변하는 서셉터리드를 포함하는 서셉터로서, 상기 서셉터지지대 내부로 상기 서셉터몸체 배면을 관통하여 상기 히터와 통전되는 적어도 두 개 이상의 터미널(terminal)과 폐변된 타끝단과, 상기 터미널을 내부에 수용하도록 상기 서셉터지지대 내에 위치되어 상기 서셉터몸체 배면에 결합되는 일끝단을 가지는 파이프 형상의 보호튜브와 외부의 전원공급장치와 연결되는 다수의 연결단자와 상기 터미널과 상기 연결단자를 각각 연결하는 파워라인 을 포함하는 서셉터 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 보호튜브의 타단은 상기 서셉터리드를 관통하여 외부로 노출되고, 상기 연결단자는 각각 상기 폐변된 보호튜브의 타끝단에 관통설치되는서셉터 [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 보호튜브의 타단은 상기 서셉터지지대 내에 위치하고, 상기 연결단자는 상기 서셉터리드에 관통 설치되며, 상기 히팅라인은 상기 폐변된 보호튜브의 타단을 관통하여 상기 터미널과 상기 연결단자각각 연결하는서셉터 [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 보호튜브의 타끝단은 상기 서셉터리드에 의하여 폐변되고, 상기 연결단자는 상기 서셉터리드 및 상기 폐변된 보호튜브 타끝단에 관통설치되는서셉터 [청구항 5] 청구항 2 내지 4 항 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,상기 보호튜브는 상기 서셉터 몸체와 동일재질을 사용하여 일체형제조되는서셉터 [청구항 6] 청구항 2 내지 4 항 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,외부로부터 상기 폐변된 보호튜브 타끝단을 관통하여 상기 보호튜브 내로 불활성 가스를 공급하는 가스 공급관더욱 포함하는서셉터 [청구항 7] 청구항 5에 있어서,외부로부터 상기 폐변된 보호튜브 타끝단을 관통하여 상기 보호튜브 내로 불활성 가스를 공급하는 가스 공급관더욱 포함하는서셉터