피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한 로드 포트 document_id 1020020058758

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 승강식 커버 기구는 웨이트 밸런스 기구를 구비하고, 상기 웨이트 밸런스 기구는 상기 커버의 승강을 용이하게 하는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 승강식 커버 기구는 미끄럼 움직임 저항을 가지며, 상기 미끄럼 움직임 저항은 승강 과정의 임의의 위치로 커버를 정지시키는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 센서 기구는 200㎜ 지름의 피처리체 기판용 카세트를 검출하는 센서 및 300㎜ 지름의 피처리체 기판용 카세트를 검출하는 센서를 구비하는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 카세트의 종류는 적어도 카세트로부터 피처리체 기판을 취출하기 위한 취출구가 개방되어 있는 개방형 및 상기 취출구가 개폐 가능한 문으로 덮여져 있는 일체형을 포함하고 있는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 설치대는 피처리체 기판의 수납 매수가 적은 소형 카세트인지 수납 매수가 많은 대형 카세트인지를 검지하는 제 1 인포메이션 패드를 구비하는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 설치대는 개방형 카세트인지 일체형 카세트인지를 검지하는 제 2 인포메이션 패드를 구비하는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 센서 기구는 카세트 식별 정보를 출력하고, 상기 클램프 기구는 이 카세트 식별 정보에 따라서, 상기 식별한 종류의 카세트를 자동적으로 유지 및 해제하는 제 1 제어 기구를 구비하는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 로드 포트는 카세트 내에서의 웨이퍼의 높이 위치를 검지하기 위한 제 2 센서 기구를 구비하는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 제 2 센서 기구는 카세트 내에서의 웨이퍼의 높이 위치를 검지하기 위한 센서를 갖는 2개의 아암부와 상기 아암부의 간격을 조정하는 제 2 제어 기구를 구비하고,상기 제 2 제어 기구는 상기 제 1 센서 기구로부터의 카세트의 종류의 식별 정보에 따라서, 상기 아암부의 간격을 카세트의 종류에 대응하도록 조정하는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 설치대는 카세트의 유무를 검지하는 제 3 센서를 구비하는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,제 1 센서 기구, 제 2 센서 기구 및 제 3 센서 기구 중 적어도 하나의 센서 기구로부터의 출력 신호 및 장치의 상태를 표시하기 위한 표시 기구를 더 구비하는피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,반도체 웨이퍼상에 형성된 집적 회로의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브 장치, 반도체 및 반도체 장치를 제조하기 위한 반도체 제조 장치, 웨이퍼의 결함 및 전기 특성 등을 측정하는 반도체 웨이퍼 관찰 장치중의 적어도 하나의 처리 장치에 사용된피처리체 기판을 수용한 복수 종류의 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 승강식 커버 기구는 웨이트 밸런스 기구를 구비하고, 상기 웨이트 밸런스 기구는 상기 커버의 승강을 용이하게 하는피처리체 기판을 수용한 카세트를 수납가능한로드 포트. [청구항 16] 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,상기 승강식 커버 기구는 미끄럼 움직임 저항을 가지며, 상기 미끄럼 움직임 저항은 승강 과정의 임의의 위치로 커버를 정지시키는피처리체 기판을 수용한 카세트를 수납가능한로드 포트.