문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1기판 로딩용 보트는 적어도 두 개의 지지기둥을 포함하고, 상기 지지기둥에 상하 길이방향으로상기슬롯들형성되어있는것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 제2기판 로딩용 보트는, 적어도 두 개의 지지기둥을 포함하고 있고, 상기 지지기둥에 상기 슬롯들과 대응하여 형성된 상기 지지기둥에 대해서 내측으로기판 지지부형성되어있는것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 기판 홀더는, 원형 판 상으로 형성된 본체판; 상기 본체 판에 상기 제2기판 로딩용 보트 및 상기 지지 돌출부가 상기 본체 판을 상하로 통과할 수 있도록 형성된관통부포함하는것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 관통부는 상기 본체 판의 가장자리로부터 중앙으로연장열개형성되어있는것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 보트 캡nan은상기제2기판로딩용보트의하부지지하고있는것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 리프팅 구동장치는 상하 슬라이딩 이동 가능한 액츄에이터가 포함된기계구조물인것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 리프팅 구동장치는 상기 제2기판 로딩용 보트의 하부와 연결되어상기제2기판로딩용보트를상하이동시키는것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 리프팅 구동장치는 상기 제1기판 로딩용 보트의 하부와 연결되어상기제1기판로딩용보트를상하이동시키는것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 리프팅 구동장치는 상기 제1기판 로딩용 보트와 상기 제2기판 로딩용 보트 사이의 상하 이동거리를 상기 제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯 너비만큼 움직일 수제어하는것을특징으로 하는반도체 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조장치에서 리프팅 구동장치가 제1기판 로딩용 보트와 제2기판 로딩용 보트 사이의 상하 이동거리를 제어할 때, 그 이동거리는 무엇을 기준으로 결정되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리프팅 구동장치가 제1기판 로딩용 보트와 제2기판 로딩용 보트 사이의 상하 이동거리를 제어할 때, 그 기준이 되는 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 리프팅 구동장치의 이동거리 제어에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 리프팅 구동장치는 상기 제1기판 로딩용 보트와 상기 제2기판 로딩용 보트 사이의 상하 이동거리를 상기 제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯 너비만큼 움직일 수제어하는것을특징으로 하는반도체 제조장치
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3근거 선택
evidence_selection이동거리의 기준이 되는 '상기 제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯 너비'를 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯 너비만큼 움직일 수제어
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4논리 통합
logical_integration리프팅 구동장치가 제어하는 상하 이동거리는 제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯의 너비 값에 대응하여 결정됨을 파악한다.
- 상기 제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯 너비만큼 움직일 수제어
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 이동거리의 기준은 '제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯 너비'임을 도출한다.
- 상기 제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯 너비
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯 너비
최종 답변 (final_answer)
상기 제1기판 로딩용 보트에 형성된 슬롯 너비
핵심 해석 (core_interpretation)
리프팅 구동장치를 통해 제1기판 로딩용 보트와 제2기판 로딩용 보트 사이의 상하 이동거리를 제1기판 로딩용 보트의 슬롯 너비에 맞춰 정밀하게 제어하는 기술에 관한 것이다.