반도체 소자 제조용 기판 고정장치 document_id 1020020075960

[청구항 1] 기판을 고정시키는 장치에 있어서, 상기 기판이 하면에 고정되는 기판홀더와 상기 기판홀더의 상면 일측에 설치됨과 아울러 서로 마주보며 수직되게 형성되는 한 쌍의 지지판에 가이드홀이 각각 수직방향으로 연장 형성되는 지지브라켓과, 상기 가이드홀에 양단이 결합되는 이동핀이 관통결합되는 상부플랜지가 상기 지지판 사이에 회전가능하게 결합됨으로써 하부플랜지가 하측으로 회전하여 상기 기판홀더 하면에 위치하는 상기 기판의 일측을 지지하는 &quot ??"자 형상의 클램프와, 상기 하부플랜지가 상기 기판홀더 하면에 상기 기판을 밀착 고정시키도록 상기 지지브라켓의 바닥판에 설치되어 상기 이동핀을 상방향으로 탄성지지하는 탄성부재와, 상기 이동핀이 상기 가이드홀을 따라 하방으로 이동시 상기 상부플랜지의 하측을 지지함으로써 상기 하부플랜지가 상측으로 회전하여 상기 기판홀더로부터 상기 기판을 분리시키기 위해 상기 지지브라켓의 바닥판에 형성되는 지지돌기로 이루어져, 상기 기판홀더의 상면 양측에 각각 설치되는 복수의 기판고정클램프와 상기 기판홀더의 상측에 수직방향으로 왕복이동하는 수직이동축 하단에 결합되는 이동플레이트와, 상기 이동플레이트의 하면에 각각 설치되어 상기 수직이동축의 하강에 의해 상기 클램프의 상부플랜지 각각을 하측으로 가압하여 상기 기판홀더로부터 상기 기판을 분리시키는 복수의 가압핀으로 이루지는 클램프가압부 를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 기판 고정장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 기판고정클램프는,상기 기판홀더의 상면 전후측 및 좌우측에각각하나씩설치되는것을특징으로 하는반도체 소자 제조용 기판 고정장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 기판고정클램프의 탄성부재는,하측이 상기 지지브라켓의 바닥판에 고정되며, 상측이 상기 클램프의 상부플랜지 하측에 형성되는 삽입홈에 삽입되는 "∪"자형상스프링인것을특징으로 하는반도체 소자 제조용 기판 고정장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 클램프가압부의 가압핀은,하단에 상기 클램프의 상부플랜지를 가압시 롤링되는롤러설치되는것을특징으로 하는반도체 소자 제조용 기판 고정장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 클램프가압부의 가압핀은,상기 클램프의 상부플랜지를 가압시 상기 클램프의 회전중심으로부터 벗어나 상기 상부플랜지 끝단을 가압하도록 상기 이동플레이트에 일정 각도내에서 회전하도록 설치되며, 상기 가압핀이 상기 상부플랜지로부터 떨어지면 원위치로 복원되도록 상기 가압핀과 상기 이동플레이트에 복원스프링설치되는 것을특징으로 반도체 소자 제조용 기판 고정장치.