문맥 (context)
[청구항 1]
적어도 어느 정도의 조광에 대해 광투과성이고, 상기 조광을 수용하는 후면 및 이에 대향하는 전면을 가지는 다이아몬드층; 및
상기 다이아몬드층의 상기 전면 상에 배치되고 상기 다이아몬드층에 인접한 조광 영역 및 상기 조광 영역에 대향하는 방출 영역을 구비하고, 상기 조광에 노출시 전자빔을 방출하는 광전자방출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전음극 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 조광에 광투과성이고, 상기 조광을 수용하는 후면 및 이에 대향하는 전면을 가지는 기판을 더 포함하고, 상기 다이아몬드층은상기기판의상기전면상배치되는것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 다이아몬드층은 단결정 다이아몬드 또는 다결정 다이아몬드로 이루어진막인것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 다이아몬드층은 단결정 다이아몬드로 이루어진 막이고,상기 기판 내에 상기 조광 영역에 인접하게 한정된 노치를 더 포함하여, 상기 조광이 상기 기판을 통하여 먼저 통과하지 아니하며, 상기 다이아몬드막이상기조광직접노출되는것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,평탄하게 공동 배치된복수의상기조광영역및방출 영역더포함하는것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 광전자방출기의 두께는 1 nm 내지 1 ㎛의범위인것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 다이아몬드층의 두께는 0.1 ㎛내지범위인것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 광방출기는금으로이루어지는것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 광전자방출기는 약 15 nm의두께가지는것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 10]
제 1 항에 있어서,상기 방출 영역은 0.1 ㎛ 내지 5 ㎛의직경가지는것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 광전자방출기는 레이저빔인상기조광민감한것을특징으로 하는광전음극 장치.
[청구항 27]
조광 소스;
상기 조광 소스에 의해 조광되는 부분적으로 불투명한 마스크를 지지하는 지지체
상기 마스크를 통과하는 조광을 포커싱하기 위해 배치된 광학 렌즈
포커싱된 조광을 수용하고, 그 조광을 전자 흐름으로 전환시키기 우해 배치된 광전음극 장치
빔 형태로 전자 흐름을 포커싱하기 위해 배치된 전자 렌즈; 및
전자빔이 기판의 표면 상에 입사하도록, 배치된 기판을 지지하는 지지체를 포함하며,
상기 광전음극 장치는,
하나 이상의 조광에 대해서 광투과성이고, 상기 조광을 수용하는 후면 및 이에 대향하는 전면을 가지는 다이아몬드층; 및
상기 다이아몬드층에 인접한 조광 영역 및 상기 조광 영역에 대향하는 방출 영역을 가지고, 상기 광전자방출기가 상기 조광에 노출시 전자빔을 방출하며, 상기 다이아몬드층의 상기 전면 상에 광전자방출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생기
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판을 포함하는 광전음극 장치에서, 조광이 기판을 통과하지 않고 다이아몬드 막에 직접 노출되도록 하기 위해 기판에 추가되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판을 포함하는 광전음극 장치에서 조광이 기판을 통과하지 않고 다이아몬드 막에 직접 노출되도록 하는 구성 요소를 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 기판 내에 포함되어 조광의 경로를 제어하는 구성 요소에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 기판 내에 상기 조광 영역에 인접하게 한정된 노치를 더 포함하여
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3근거 선택
evidence_selection조광이 기판을 통과하지 않고 다이아몬드 막에 직접 노출되게 하는 직접적인 근거 구절을 선택한다.
- 상기 기판 내에 상기 조광 영역에 인접하게 한정된 노치를 더 포함하여, 상기 조광이 상기 기판을 통하여 먼저 통과하지 아니하며, 상기 다이아몬드막이상기조광직접노출되는것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration기판 내의 '노치'가 조광이 기판을 통과하는 것을 방지하고 다이아몬드 막에 직접 노출되도록 하는 역할을 수행함을 확인한다.
- 상기 기판 내에 상기 조광 영역에 인접하게 한정된 노치를 더 포함하여, 상기 조광이 상기 기판을 통하여 먼저 통과하지 아니하며
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 구성 요소는 '노치'임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 답변인 '노치'를 최종 답변으로 생성한다.
- 노치
최종 답변 (final_answer)
노치
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 내에 조광 영역에 인접한 노치를 형성함으로써, 조광이 기판을 거치지 않고 다이아몬드 막에 직접 도달하도록 설계하여 광전음극의 효율을 높이는 기술이다.