문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 나노다공성 유전필름은 알콕시실란, 알킬알콕시실란, 실세스퀴녹산, 하이드로젼실록산, 하이드로유기실록산, 하이드로젼실세스퀴녹산, 아세톡시실란, 할로겐화된 실란 및 이들의 배합으로 구성되는 그룹으로 부터 선택된 최소 하나의 화합물을 포함하는 스핀-온-글래스 물질로 제조됨을 특징으로 하는 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 3]
제 1항에 있어서 상기 코팅 조성물은 저유기 실록산, 고유기 실록산, 하이드리도유기실록산, 폴리(아릴렌 에테르), 플루오르화된 폴리(아릴렌) 에테르, 폴리이미드, 폴리카르보실란 및 이들의 배합으로 구성되는 그룹으로 부터 선택된 화합물을 포함하는 방법으로 제조된 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,나노다공성 실리카 유전 필름이 경화되기 전에, 상기 코팅조성물이 형성된 나노다공성 실리카 유전 필름에 적용되고 그 후, 상기 나노다공성 유전 필름 및 코팅 조성물이 동시에 경화됨을 특징으로 하는 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 5]
제 2항에 있어서,상기 나노다공성 실리카 유전 필름은 알콕시실란을 포함하는 스핀-온-글래스 물질로 부터 제조됨을 특징으로 하는 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 6]
제 5항에 있어서,상기 나노다공성 실리카 유전 필름은 테트라에톡시실란을 포함하는 스핀-온-글래스 물질로 부터 제조됨을 특징으로 하는 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 7]
제 3항에 있어서,상기 코팅 조성물은 [h-sio1.5]n[r-sio1.5]m, 화학식 2[h0.4-1.0sio1.5-1.8]n[r0.4-1.0sio1.5-1.8]m. 화학식 3[h0-1.0-sio1.5-2.0]n[r-sio1.5]m, 화학식 4[h-sio1.5]x[r-sio1.5]y[sio2]z, 화학식 5및 이들의 배합으로 구성되는 그룹으로 부터 선택된 최소 하나의 저유기 화합물을 포함하며, 상기 식에서 n과 m의 합은 약 8-5000범위이며; x, y 및 z의 합은 약 8-5000 범위이며; 그리고 m 및 y는 탄소 함유 치환체가 약 40몰%미만의 양으로 존재하도록 선택됨을 특징으로 하는 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 8]
제 7항에 있어서,상기r은 유기기이며, 직쇄 알킬기, 분지된 알킬기, 시클로알킬기, 아릴기 및 이들의 혼합물로 구성되는 그룹으로 부터 독립적으로 선택됨을 특징으로 하는 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 9]
제 3항에 있어서,상기 코팅 조성물은 [hsio1.5]n[rsio1.5]m, 화학식 6[h0.4-1.0sio1.5-1.8]n[r0.4-1.0sio1.5-1.8]m. 화학식 7[h0-1.0sio1.5-2.0]n[rsio1.5]m, 화학식 8[hsio1.5]x[rsio1.5]y[sio2]z, 화학식 9및 이들의 결합으로 구성되는 그룹으로 부터 선택된 최소 하나의 화합물을 포함하며, 상기 식에서 n과 m의 합은 약 8-5000범위이며; m은 탄소 함유 치환체가 약 40몰%이상의 양으로 존재하도록 선택되며; x, y 및 z의 합은 약 8-5000 범위이며; y는 탄소 함유 치환체가 약 40몰%이상의 양으로 존재하도록 선택됨을 특징으로 하는 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기r은 유기기이며, 직쇄 알킬기, 분지된 알킬기, 시클로알킬기, 아릴기 및 이들의 혼합물로 구성되는 그룹으로 부터 독립적으로 선택됨을 특징으로 하는 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 11]
제 3항에 있어서,상기 코팅 조성물은 다음 화학식을 갖는 최소 하나의 화합물을 포함함을 특징으로 하는 방법으로 제조된 표면-코팅된 나노다공성 실리카 유전 필름. (hsio1.5)a(hsio(or))b(sio2)c, (화학식 10)(단 식중, r은 h와 탄소 원자갖는알킬기의 혼합물이며; a+b+c=1; 0.5<a<0.99<; 0.01<b<0.5; 그리고 0<c<0.5 임.)
[청구항 12]
제 11항에 있어서,상기a 및 b는 0임을 특징으로 하는 방법으로 제조된 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
[청구항 13]
제 3항에 있어서,상기 코팅 조성물은 -[si(r1)(r2)(h)]x-, -[si(r3)(r4)]y-, -[si(r5)(r7)(o-r6)]z-, -[si(r8)(r9)(r10)]w-으로 구성되는 그룹으로 부터 선택된 최소 하나의 폴리카르보실란을 포함하는 방법으로 제조된 표면-코팅된 나노다공성 실리카 유전 필름. (단, 상기 식중, r1, r7 및 r10은 각각 독립적으로 알킬렌, 시클로알킬렌 및 아릴렌기로 구성되는 그룹으로 부터 선택되며, 치환되거나 치환되지않을 수 있으며,r2, r3, r4, r5 및 r6는 각각 독립적으로 h 또는 유기기로 구성되는 그룹으로 부터 선택되며, r6은 오가노실리콘(organosilicon), 실라닐, 실록실 및 오르가노(organo)기로 구성되는 그룹으로 부터선택되며; 그리고 10<x+y+z+w<100,000이며; x, y 및 w는 집합적으로 또는 독립적으로 0일 수 있다.)
[청구항 14]
제 3항에 있어서,퓨리에 변환 적외선 스펙트로스코피로 측정되는 2150㎝-1에서의 si-h 결합, 범위 약 1.5-6 kpsi의 스터드 인장강도(stud pull strength) 및 공극구조의 개방된 상태를 유지하는 특성을 나타내는 표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
표면코팅된나노다공성 실리카 유전 필름 제조 시, 코팅 조성물이 나노다공성 실리카 유전 필름에 적용된 후 경화되는 시점과 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation코팅 조성물이 나노다공성 실리카 유전 필름에 적용된 후 경화되는 시점과 방식에 대한 정보를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 코팅 조성물의 적용 시점과 경화 방식에 관한 기술적 내용을 확인한다.
- 나노다공성 실리카 유전 필름이 경화되기 전에, 상기 코팅조성물이 형성된 나노다공성 실리카 유전 필름에 적용되고 그 후, 상기 나노다공성 유전 필름 및 코팅 조성물이 동시에 경화됨
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 '경화 전 적용' 및 '동시 경화' 구절을 선택한다.
- 나노다공성 실리카 유전 필름이 경화되기 전에, 상기 코팅조성물이 형성된 나노다공성 실리카 유전 필름에 적용되고 그 후, 상기 나노다공성 유전 필름 및 코팅 조성물이 동시에 경화됨
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4논리 통합
logical_integration코팅 조성물은 필름이 경화되기 전에 적용되며, 이후 필름과 조성물이 함께 경화된다는 논리적 순서를 도출한다.
- 나노다공성 실리카 유전 필름이 경화되기 전에, 상기 코팅조성물이 형성된 나노다공성 실리카 유전 필름에 적용되고 그 후, 상기 나노다공성 유전 필름 및 코팅 조성물이 동시에 경화됨
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5결론 도출
conclusion_formulation코팅 조성물은 나노다공성 실리카 유전 필름이 경화되기 전에 적용되며, 그 후 필름과 조성물이 동시에 경화된다.
- 나노다공성 실리카 유전 필름이 경화되기 전에, 상기 코팅조성물이 형성된 나노다공성 실리카 유전 필름에 적용되고 그 후, 상기 나노다공성 유전 필름 및 코팅 조성물이 동시에 경화됨
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 나노다공성 실리카 유전 필름이 경화되기 전에, 상기 코팅조성물이 형성된 나노다공성 실리카 유전 필름에 적용되고 그 후, 상기 나노다공성 유전 필름 및 코팅 조성물이 동시에 경화됨
최종 답변 (final_answer)
나노다공성 실리카 유전 필름이 경화되기 전에 코팅 조성물이 적용되며, 그 후 나노다공성 유전 필름 및 코팅 조성물이 동시에 경화된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 코팅 조성물을 나노다공성 실리카 유전 필름이 경화되기 전 단계에서 적용하고, 이후 필름과 조성물을 동시에 경화시키는 공정 특성을 포함한다.