멀티존 저항가열기 document_id 1020027004111

[청구항 1] 처리반응기 내의 처리가스에서 기판을 가열하는 가열기로서, 외부면과 상기 외부면에 대향하는 내부면을 가지는 제 1 석영플레이트와, 내부면을 가지는 제 2 석영 플레이트로서, 상기 제 2 석영 플레이트의 내부면에 실질적으로 인접한 상기 제 1 석영플레이트의 내부면을 가지는 상기 제 1 석영플레이트에 인접하여 일반적으로 평행하게 위치되는 제 2 석영플레이트와, 제 1 가열기 요소와, 상기 제 1 가열기 요소를 그 안에 수용하는 상기 제 1 가열기 요소의 구성과 동등한 구성의 상기 제 1 및 제 2 석영 플레이트의 내부면의 하나 이상에 형성된 제 1 채널과, (a) 상기 제 1 및 제 2 석영 플레이트 사이와, (b) 제 1 채널 주위에 기밀챔버를 형성하기 위하여, 상기 제 1 및 제 2 석영플레이트를 그 사이에 고정된 상기 제 1 가열기 요소와 함께 밀봉하는 제 1 시일과, 상기 가열기의 외부에 존재하는 처리가스의 성분 및 압력에 관계없이 상기 제 1 채널로의 소정의 성분과 압력의 가스를 출입시키는 제 1 보호 가스덕트를 포함하여 구성되는 가열기 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,및 제 2 석영플레이트에 출입된가스산소인것을특징으로 하는가열기. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 석영플레이트는 제 1 리프트 핀구멍을 더욱 구비하며, 상기 제 2 석영플레이트는 제 1 석영플레이트의 상기 제 1 리프트 핀구멍에 상응하는 위치에 제 2 리프트 핀 구멍을 더욱 구비하며, 상기 가열기는, 제 1 및 제 2 리프트 핀구멍을 통과하는 리프트 핀과, 상기 제 1 및 제 2 석영플레이트 사이에 출입된 가스가 제 1 및 제 2 리프트 핀구멍을 빠져나가지 않도록 상기 제 1 및 제 2 리프트 핀구멍을 상호 밀봉하는 제 2 시일을 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 가열기 요소는 칸탈합금을 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 칸탈합금은 알루미늄, 코발트, 크롬 및 철을 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 가열기 요소는 텅스텐 합금을 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 가열기 요소는 몰리브덴, 백금, 및 탄화규소로 구성되는 군으로부터 선택된 재료를 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,제 1 가열기 요소의 과열을 피하기 위하여 제 1 채널 내로 주입된 냉각가스를 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 가열기 요소는 화학적으로 에치된 칸탈합금 및 화학적으로 에치된 몰리브덴으로 구성된 군으로부터 선택된 재료를 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 가열기 요소를 전력원에 결합하기 위하여 상기 제 1 보호 가스덕트를 통하여 연장된 전기도체를 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 석영플레이트의 하나의 내부면은 그 테두리로부터 연장된 종속플랜지를 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 석영플레이트의 다른 하나의 내부면은 그 테두리를 따라 형성된 홈을 가지며, 상기 홈은 그 사이의 기밀 밀봉의 형성에 도움이 되도록상기종속플랜지맞춤하는것을특징으로 하는가열기. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,제 3 석영플레이트와, 상기 가열기에 상기 제 3 석영플레이트를 밀봉하는 제 2 시일과, 상기 제 3 석영플레이트와 가열기 사이에서 웨이퍼를 가열기에 조임고정하기 위한 두 개 이상의 전극을 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,제 1 전도가스를 제 1 압력에서 전달하는 제 1 전도가스 덕트와, 가열기에 위치한 기판으로의 전도를 증가시키기 위하여, 제 1 전도가스 덕트로부터의 제 1 전도가스를 수용하는 제 1 전도가스 구멍과 제 1 전도가스를 통과시키는 제 1 영역에서의 일련의 제 1 전도가스구멍을 포함하는 제 3 석영플레이트와, 제 1 전도가스가 제 1 보호가스 덕트로 흘러 들어가지 않도록 제 3 석영플레이트를 가열기에 밀봉하는 제 2 시일을 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,제 2 압력의 제 2 전도가스를 전도하는 제 2 전도가스 덕트와, 제 2 전도가스 덕트로부터의 제 2 전도가스를 수용하는 제 2 전도가스 구멍과 기판으로 제 2 전도가스를 통과시키는 제 2 영역에서의 일련의 제 2 전도가스구멍을 포함하는 제 4 석영플레이트와, 제 1 및 제 2 전도가스의 제 1 및 제 2 압력이 독립적으로 되게 하도록 제 3 및 제 4 석영플레이트를 함께 동심으로 밀봉하는 제 3 시일을 더욱 포함하여 구성되며, 상기 제 1 및 제 2 영역은실질적중첩되지않는것을특징으로 하는가열기. [청구항 15] 제 1 항에 있어서,제 1 석영플레이트는 제 1 영역에서 일련의 제 1 전도가스구멍을 더욱 구비하며, 제 2 석영플레이트는 제 1 영역에서 일련의 제 2 전도가스구멍을 더욱 구비하며, 상기 가열기는, 제 1 전도가스가 일련의 제 1 전도가스 채널을 통과하도록 일련의 제 1 전도가스 채널을 형성하기 위하여 일련의 제 2 전도가스구멍의 상응하는 구멍에 일련의 제 1 전도가스구멍을 밀봉하는 제 2 시일을 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,제 1 석영플레이트는 제 2 영역에서 일련의 제 3 전도가스구멍을 더욱 구비하며, 제 2 석영플레이트는 제 2 영역에서 일련의 제 4 전도가스 구멍을 더욱 구비하며, 상기 가열기는, 제 2 전도가스가 제 1 보호 가스덕트 및 일련의 제 1 전도가스채널의 어느 하나로 통과함이 없이, 제 2 전도가스가 일련의 제 2 전도가스 채널을 통과하도록 일련의 제 2 전도가스 채널을 형성하기 위하여 일련의 제 4 전도가스구멍의 상응하는 구멍에 일련의 제 3 전도가스구멍을 밀봉하는 제 3 시일을 더욱 포함하여 구성되며, 상기 제 1 및 제 2 영역은실질적중첩되지않는것을특징으로 하는가열기. [청구항 17] 제 13 항에 있어서,제 2 압력에서 제 2 전도가스를 전달하는 제 2 전도가스덕트를 더욱 포함하여 구성되며, 상기 제 3 석영플레이트는, 기판으로의 전도를 증가시키기 위하여, 제 2 전도가스 구멍과 제 2 전도가스를 통과시키는 제 2 영역에서의 일련의 제 2 전도가스구멍으로부터의 제 2 전도가스를 수용하는 제 2 전도가스 덕트구멍을 더욱 포함하여 구성되며, 상기 제 1 및 제 2 영역은실질적중첩되지않는것을특징으로 하는가열기. [청구항 18] 제 1 항에 있어서,제 1 압력에서 제 1 냉각된 냉각제를 전달하는 제 1 냉각제 진입덕트와, 제 1 냉각제가 가열기 내의 열을 흡수한 후에, 제 1 냉각제를 전달하는 제 1 냉각제 출구덕트와, 제 1 냉각제 진입덕트에 연결된 제 1 진입구멍과, 제 1 냉각제 출구덕트에 연결된 제 1 출구구멍을 포함하는 제 3 석영플레이트와, 제 1 냉각제가 제 1 보호가스덕트로 흘러 들어가지 않도록 제 3 석영플레이트를 가열기에 밀봉하는 제 2 시일을 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,제 2 압력에서 제 2 냉각된 냉각제를 전달하는 제 2 냉각제 진입덕트와, 제 2 냉각제가 가열기 내의 열을 흡수한 후에, 제 2 냉각제를 전달하는 제 2 냉각제 출구덕트와, 제 2 냉각제 진입덕트에 연결된 제 2 진입구멍과, 제 2 냉각제 출구덕트에 연결된 제 2 출구구멍을 포함하는 제 4 석영플레이트와, 제 2 냉각제가 제 1 보호가스덕트로 흘러 들어가지 않도록 제 4 석영플레이트를 가열기에 밀봉하는 제 3 시일을 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 20] 처리반응기 내의 처리가스에서 기판을 가열하는 멀티존 가열기로서, 처리가스에 노출된 외부면을 가지며, 상기 외부면에 대향하는 내부면을 또한 가지는 제 1 석영플레이트와, 내부면을 가지는 제 2 석영 플레이트로서, 상기 제 2 석영 플레이트의 내부면에 실질적으로 인접한 상기 제 1 석영플레이트의 내부면을 가지는 상기 제 1 석영플레이트에 인접하여 일반적으로 평행하게 위치되는 제 2 석영플레이트와, 제 1 존 내의 제 1 가열기 요소와, 상기 제 1 가열기 요소를 그 안에 수용하는 상기 제 1 가열기 요소의 구성과 동등한 구성의 상기 제 1 및 제 2 석영 플레이트의 내부면의 하나 이상에 형성된 제 1 채널과, 상기 제 1 및 제 2 석영플레이트 사이에 기밀챔버를 형성하기 위하여, 상기 제 1 및 제 2 석영플레이트를 그 사이에 고정된 상기 제 1 가열기 요소와 함께 밀봉하는 제 1 시일과, 상기 가열기의 외부에 존재하는 처리가스의 성분 및 압력에 관계없이 상기 제 1 채널로 제 1 소정의 성분과 압력의 가스를 출입시키는 제 1 보호 가스덕트와, 제 2 존 내의 제 2 가열기 요소와, 상기 제 2 가열기 요소를 그 안에 수용하는 상기 제 2 가열기 요소의 구성과 동등한 구성의 상기 제 1 및 제 2 석영 플레이트의 내부면의 하나 이상에 형성된 제 2 채널과, 상기 제 1 및 제 2 석영플레이트를 함께 밀봉하여 그 사이에 고정된 상기 제 2 가열기 요소를 제 1 가열기 요소로부터 분리하며, 상기 제 2 채널 주위에 기밀 밀봉을 제공하는 제 2 시일과, 상기 가열기의 외부에 존재하는 처리가스의 성분 및 압력에 관계없이 상기 제 2 채널로 제 2 소정의 성분과 압력의 가스를 출입시키는 제 2 보호 가스덕트를 포함하여 구성되는 멀티존 가열기 [청구항 21] 제 20 항에 있어서,제 2 덕트로 출입된가스산소인것을특징으로 하는멀티존 가열기. [청구항 22] 제 20 항에 있어서,상기 제 2 가열기 요소는 칸탈합금을 포함하여구성되는것을특징으로 하는멀티존 가열기. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 칸탈합금은 알루미늄, 코발트, 크롬, 및 철을 포함하여구성되는것을특징으로 하는멀티존 가열기. [청구항 24] 제 20 항에 있어서,상기 제 2 가열기 요소는 백금, 탄화규소 및 텅스텐 합금으로 구성된 군으로부터 선택된 재료를 포함하여구성되는것을특징으로 하는멀티존 가열기. [청구항 25] 제 1 항에 있어서,및 제 2 석영플레이트의 하나 이상의 면은 평활도를 향상시키는광택플레이트인것을특징으로 하는가열기. [청구항 26] 제 1 항에 있어서,및 제 2 석영플레이트의 하나 이상은 증착과 에칭을 사용하여형성된것을특징으로 하는가열기. [청구항 27] 제 20 항에 있어서,상기 제 2 가열기 요소는 화학적으로 에치된 칸탈합금을 포함하여구성되는것을특징으로 하는멀티존 가열기. [청구항 28] 제 20 항에 있어서,상기 제 2 가열기 요소를 전력원에 결합하기 위하여 상기 제 2 보호 가스덕트를 통하여 연장된 전기도체를 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는멀티존 가열기. [청구항 29] 제 20 항에 있어서,제 3 석영플레이트와, 제 3 석영플레이트를 가열기에 밀봉하는 제 3 시일과, 제 3 석영플레이트와 가열기 사이에서 가열기에 웨이퍼를 조임고정하는 두 개 이상의 전극을 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는멀티존 가열기. [청구항 30] 제 12 항에 있어서,개 이상의 전극 중두 개의 전극 사이의 전기용량을 측정하는 전기용량 측정장치를 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 31] 제 29 항에 있어서,개 이상의 전극 중두 개의 전극 사이의 전기용량을 측정하는 전기용량 측정장치를 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는멀티존 가열기. [청구항 32] 제 12 항에 있어서,개 이상의 전극 중 인접한 두 개의 전극 사이의 전기용량을 측정하는 전기용량 측정장치를 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 33] 제 29 항에 있어서,개 이상의 전극 중 인접한 두 개의 전극 사이의 전기용량을 측정하는 전기용량 측정장치를 더욱 포함하여구성되는것을특징으로 하는멀티존 가열기. [청구항 36] 처리반응기 내의 처리가스에서 기판을 가열하는 가열기로서, 외부면과 상기 외부면에 대향하는 내부면을 가지는 제 1 알루미나플레이트와, 내부면을 가지는 제 2 알루미나 플레이트로서, 상기 제 2 알루미나 플레이트의 내부면에 실질적으로 인접한 상기 제 1 알루미나플레이트의 내부면을 가지는 상기 제 1 알루미나플레이트에 인접하여 일반적으로 평행하게 위치되는 제 2 알루미나플레이트와, 제 1 가열기 요소와, 상기 제 1 가열기 요소를 그 안에 수용하는 상기 제 1 가열기 요소의 구성과 동등한 구성의 상기 제 1 및 제 2 알루미나 플레이트의 내부면의 하나 이상에 형성된 제 1 채널과, (a) 상기 제 1 및 제 2 알루미나 플레이트 사이와, (b) 제 1 채널 주위에 기밀챔버를 형성하기 위하여, 상기 제 1 및 제 2 알루미나 플레이트를 그 사이에 고정된 상기 제 1 가열기 요소와 함께 밀봉하는 제 1 시일과, 상기 가열기의 외부에 존재하는 처리가스의 성분 및 압력에 관계없이 상기 제 1 채널로의 소정의 성분과 압력의 가스를 출입시키는 제 1 보호 가스덕트를 포함하여 구성되는 가열기 [청구항 37] 처리반응기 내의 처리가스에서 기판을 가열하는 가열기로서, 외부면과 상기 외부면에 대향하는 내부면을 가지는 제 1 석영플레이트와, 상부면과 하부면을 가지는 특정 석영 스페이서로서, 상기 스페이서는 상기 제 1 석영플레이트의 내부면에 근접하여 일반적으로 평행하게 배치되며, 상기 스페이서는 제 1 석영플레이트에 용융접합될 때 채널을 형성하는 개구를 함유하는 스페이서와, 상부면과 하부면을 가지는 제 2 석영 플레이트로서, 상기 스페이서의 하부면에 근접하여 일반적으로 평행하게 배치되는 제 2 석영플레이트와, 상기 채널의 형상과 동등한 형상의 제 1 가열기 요소와, 제 1 채널 주위에 기밀챔버를 형성하기 위하여, 상기 제 1 석영플레이트, 상기 스페이서 및 상기 제 2 석영플레이트를 그 사이에 고정된 상기 제 1 가열기요소와 함께 밀봉하는 제 1 시일을 포함하여 구성되는 가열기 [청구항 38] 제 37 항에 있어서,상기 스페이서의 개구는레이저 커팅형성된것을특징으로 하는가열기. [청구항 39] 제 37 항에 있어서,상기 스페이서의 개구는 워터제트로써 커팅함형성된것을특징으로 하는가열기. [청구항 40] 제 37 항에 있어서,상기 스페이서의 개구는 그라인딩에 의해형성되는것을특징으로 하는가열기. [청구항 41] 처리반응기 내의 처리가스에서 기판을 가열하는 가열기로서, 외부면과 상기 외부면에 대향하는 내부면을 가지는 제 1 석영플레이트와, 내부면을 가지는 제 2 석영 플레이트로서, 상기 제 2 석영 플레이트의 내부면에 실질적으로 인접한 상기 제 1 석영플레이트의 내부면을 가지는 상기 제 1 석영플레이트에 인접하여 일반적으로 평행하게 위치되는 제 2 석영플레이트와, 제 1 가열기 요소와, 상기 제 1 가열기 요소를 그 안에 수용하기 위하여, 상기 제 1 및 제 2 석영 플레이트의 내부면의 하나 이상에 형성된 제 1 채널로서, 상기 제 1 채널은 제 1 가열기요소와 유사한 형상이지만 그 보다 실질적으로 큰 제 1 채널과, (a) 상기 제 1 및 제 2 석영 플레이트 사이와, (b) 제 1 채널 주위에 기밀챔버를 형성하기 위하여, 상기 제 1 및 제 2 석영플레이트를 그 사이에 고정된 상기 제 1 가열기 요소와 함께 밀봉하는 제 1 시일을 포함하여 구성되는 가열기 [청구항 44] 피처리 기판상에 제 1 작동을 용이하게 하는 제 1 처리층과, 피처리 기판상에 제 2 작동을 용이하게 하는 제 2 처리층과, 제 1 및 제 2 작동 중 하나 이상의 작동 중에 제 1 및 제 2 처리층을 분리시키는 승강장치를 포함하여 구성되는 다층 기판홀더 [청구항 45] 제 44 항에 있어서,제 1 처리층은 가열요소를 포함하여 구성되며, 제 2 처리층은 냉각요소를 포함하여구성되는것을특징으로 하는다층 기판홀더. [청구항 46] 제 44 항에 있어서,승강장치는기계적승강장치인것을특징으로 하는다층 기판홀더.