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반도체 장치 및 그 제조방법 document_id 1020030005475

출원번호
1020030005475
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 49] 제 47항에 있어서,상기 결정성 반도체막은 제 1 방향으로 연장된 제 1 채널형성영역을 구비하고,상기 도전막은 상기 제 1 채널형성영역 위에 위치하며,상기 개구부는상기제1방향연장되는것을특징으로 하는반도체장치. [청구항 50] 제 49항에 있어서,상기 결정성 반도체막은 상기 제 1 방향으로 연장된 제 2 채널형성영역을 더 구비하고,상기 제 1 채널형성영역은 상기 제 2 채널형성영역으로부터 분리되어 있으며,상기 도전막은 상기 제 2 채널형성영역을 지나연장되는것을특징으로 하는반도체장치. [청구항 51] 제 50항에 있어서,상기 제 2 절연막nan은상기제1채널형성영역과상기제 2 채널형성영역사이위치하는것을특징으로 하는반도체장치. [청구항 52] 제 48항에 있어서,상기 결정성 반도체막은 제 1 방향으로 연장된 제 1 채널형성영역을 구비하고,상기 도전막은 상기 제 1 채널형성영역 위에 위치하며,상기 개구부는상기제1방향연장되는것을특징으로 하는반도체장치. [청구항 53] 제 52항에 있어서,상기 결정성 반도체막은 상기 제 1 방향으로 연장된 제 2 채널형성영역을 더 구비하고,상기 제 1 채널형성영역은 상기 제 2 채널형성영역으로부터 분리되어 있으며,상기 도전막은 상기 제 2 채널형성영역을 지나연장되는것을특징으로 하는반도체장치. [청구항 54] 제 52항에 있어서,상기 제 2 절연막nan은상기절연표면및상기제1채널형성영역있는것을특징으로 하는반도체장치. [청구항 55] 제 53항에 있어서,상기 제 2 절연막은 상기 절연표면,상기제1채널형성영역및상기제 2 채널형성영역있는것을특징으로 하는반도체장치. [청구항 56] 제 50항에 있어서,상기 결정성 반도체막은 소스 영역 및 드레인 영역을 더 구비하고,상기 제 1 채널형성영역 및 상기 제 2 채널형성영역은상기소스영역및상기드레인 영역접속되는것을특징으로 하는반도체장치. [청구항 57] 제 53항에 있어서,상기 결정성 반도체막은 소스 영역 및 드레인 영역을 더 구비하고,상기 제 1 채널형성영역 및 상기 제 2 채널형성영역은상기소스영역및상기드레인 영역접속되는것을특징으로 하는반도체장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소 사이의 연결 및 상호작용을 분석하여 질문에 답하라. 근거를 종합하여 자연스러운 문장으로 설명하라.
질문 (question)
제 50항의 반도체 장치에서 제 1 채널형성영역과 제 2 채널형성영역의 관계 및 도전막의 배치 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    제 50항을 바탕으로 제 1 채널형성영역과 제 2 채널형성영역의 관계 및 도전막의 배치 특징을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 50항에서 채널형성영역 간의 관계와 도전막의 연장 위치에 관한 정보를 추출한다.

    • 상기 제 1 채널형성영역은 상기 제 2 채널형성영역으로부터 분리되어 있으며, 상기 도전막은 상기 제 2 채널형성영역을 지나 연장되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에 직접적으로 대응하는 '분리된 관계'와 '도전막의 연장 특징' 구절을 선택한다.

    • 상기 제 1 채널형성영역은 상기 제 2 채널형성영역으로부터 분리되어 있으며, 상기 도전막은 상기 제 2 채널형성영역을 지나 연장되는 것
  4. 4논리 통합logical_integration

    제 1 채널형성영역과 제 2 채널형성영역은 서로 분리된 상태이며, 도전막은 제 2 채널형성영역을 통과하여 연장되는 구조임을 결합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    두 채널형성영역의 분리 관계와 도전막이 제 2 채널형성영역을 지나 연장된다는 점을 정리하여 결론을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
제 50항의 반도체 장치에서 제 1 채널형성영역은 제 2 채널형성영역으로부터 분리되어 있으며, 도전막은 제 2 채널형성영역을 지나 연장되는 배치 특징을 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제 1 채널형성영역과 제 2 채널형성영역을 분리 배치하고, 도전막이 제 2 채널형성영역을 지나 연장되도록 구성된 반도체 장치의 구조를 정의한다.