자외선을 이용하는 기판세정장치 document_id 1020030008474

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 접촉식게이지는 각각 상기 해당 터치패드를 향하는 탐침을 더욱 포함하여, 상기 탐침에 가해지는 압력을 수치표시하는압력식게이지인 기판세정장치 [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 무빙어셈블리는 모터와;상기 모터의 회전력을 상기 무빙플레이트의 이동으로 변환하는 볼스크류를 포함하며,상기 자외선소스는, 185nm 또는 254nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 172nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 유전체배리어방전램프와;상기 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 유전체배리어방전램프가 발하는 자외선을 상기 석영윈도우 방향으로 고르게 반사시키는 반사판포함하는기판세정장치 [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기 접촉식게이지는 각각 상기 해당 터치패드를 향하는 탐침을 더욱 포함하여, 상기 탐침에 가해지는 압력을 수치표시하는압력식게이지인 기판세정장치 [청구항 6] 청구항 4에 있어서,상기 무빙어셈블리는 모터와;상기 모터의 회전력을 상기 무빙플레이트의 이동으로 변환하는 볼스크류를 포함하며,상기 자외선소스는, 185nm 또는 254nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 172nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 유전체배리어방전램프와;상기 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 유전체배리어방전램프가 발하는 자외선을 상기 석영윈도우 방향으로 고르게 반사시키는 반사판포함하는기판세정장치 [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 기판세정장치는, 상기 제 2 영역에서 상기 기판을 지지하여 상기 기판 일면이 상기 석영윈도우와 나란히 대면되도록 하는 무빙플레이트를 포함하고, 상기 무빙어셈블리는, 상기 베이스플레이트를 관통하여 일단이 상기 무빙플레이트 배면에 각각 수직하게 연결되는 적어도 하나 이상의 샤프트와;구동수단과;상기 구동수단의 동작을 상기 적어도 하나 이상의 샤프트의 승강운동으로 변환하는 동력전환수단포함하는기판세정장치 [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 구동수단은 모터이고, 상기 동력전환수단은,상기 모터의 회전력으로 길이방향을 축으로 회전하며, 상기 적어도 하나 이상의 샤프트와 나란한 스크류로드와;상기 베이스플레이트 배면과 평행하게 상기 스크류로드에 관통된 상태로 상기 적어도 하나 이상의 샤프트와 연결되며, 상기 스크류로드의 회전방향에 따라 승강하는 가이드플레이트를 포함하는 볼스크류포함하는기판세정장치 [청구항 10] 청구항 9에 있어서,적어도 하나 이상의 접촉식게이지는 상기 가이드플레이트에 고정되고, 상기 적어도 하나 이상의 터치패드는 상기 베이스플레이트 배면고정되는기판세정장치 [청구항 11] 청구항 10에 있어서,상기 터치패드와 상기 접촉식게이지는 적어도 두 개 이상의 복수개 이고, 상기 각 접촉식게이지는 상기 가이드플레이트 가장자리를 따라 동일간격으로 이격되며,상기 각 터치패드는 상기 각각의 접촉식게이지와 대응되도록 베이스플레이트 배면고정되는기판세정장치 [청구항 12] 청구항 7 또는 11항 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,상기 접촉식게이지는 상기 터치패드를 향하는 탐침을 더욱 포함하여, 상기 탐침에 가해지는 압력을 수치표시하는압력식게이지인 기판세정장치 [청구항 13] 청구항 7에 있어서,상기 자외선발광소스는, 185nm 또는 254nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 172nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 유전체배리어방전램프와;상기 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 유전체배리어방전램프가 발하는 자외선을 상기 석영윈도우 방향으로 고르게 반사시키는 반사판더욱 포함하는기판세정장치 [청구항 15] 청구항 14에 있어서,상기 제 2 영역에서 상기 기판을 지지하여 상기 기판 일면이 상기 석영윈도우와 나란히 대면되도록 하는 무빙플레이트를 더욱 포함하여, 상기 무빙어셈블리는 상기 무빙플레이트이동시키는기판세정장치 [청구항 16] 청구항 15에 있어서,적어도 하나 이상의 접촉식게이지는 상기 측벽에 고정되고, 상기 적어도 하나 이상의 터치패드는 상기 무빙플레이트 가장자리고정되는기판세정장치 [청구항 17] 청구항 16에 있어서,상기 터치패드와 상기 접촉식게이지는 적어도 두 개 이상의 복수개 이고, 상기 각 접촉식게이지는 상기 측벽을 따라 동일높이에서 동일간격으로 이격되며,상기 각 터치패드는 상기 각각의 접촉식 게이지와 대응되도록 상기 무빙플레이트 가장자리고정되는기판세정장치 [청구항 18] 청구항 14 또는 17항 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,상기 접촉식게이지는 상기 터치패드를 향하는 탐침을 더욱 포함하여, 상기 탐침에 가해지는 압력을 수치표시하는압력식게이지인 기판세정장치 [청구항 19] 청구항 15에 있어서,상기 무빙어셈블리는, 상기 베이스플레이트를 관통하여 일단이 상기 무빙플레이트 배면에 각각 연결되는 적어도 하나 이상의 샤프트와;구동수단과;상기 구동수단의 동작을 상기 적어도 하나 이상의 샤프트의 승강운동으로 변환하는 동력전환수단포함하는기판세정장치 [청구항 20] 청구항 19에 있어서,상기 구동수단은 모터이고, 상기 동력전환수단은 상기 모터의 회전력으로 길이방향을 축으로 회전하는 스크류로드와, 상기 스크류로드에 관통된 상태로 상기 적어도 하나 이상의 샤프트에 연결되어, 상기 스크류로드의 회전방향에 따라 승강하는 가이드플레이트를 포함하는 볼스크류포함하는기판세정장치 [청구항 21] 청구항 14에 있어서,상기 자외선발광소스는, 185nm 또는 254nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 172nm 파장의 자외선을 발하는 적어도 하나 이상의 유전체배리어방전램프와;상기 적어도 하나 이상의 저압수은램프 또는 유전체배리어방전램프가 발하는 자외선을 상기 석영윈도우 방향으로 고르게 반사시키는 반사판더욱 포함하는기판세정장치