도금장치 및 도금방법 document_id 1020030010262

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 은염화은 전극을 상하로 움직여서, 상기 은염화은 전극을 상기 분석컵의 내부와 외부 사이에서 이동시키는상하기구더구비하는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 분석컵의 바닥면에 배액구가 형성되어 있고, 상기 분석컵의 바닥면에, 상기 배액구를 향하는내리막경사형성되어있는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 복수의 시약공급노즐 중, 적어도 1개가 개구지름 1mm 이하인개구갖는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 분석부는, 도금액 및 분석에 사용하는 시약을 상기 도금컵에 공급하기 위한 복수의 시린지 펌프를 더 구비하며, 이 시린지 펌프는 상기 미량성분관리 컨트롤러에 접속된 시리얼버스를 통해제어되는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 분석부는, 분석에 사용하는 시약을 수용하는 시약 수용기와, 거의 밀폐된 상태로 할 수 있는 버퍼컵과, 이 버퍼컵 내부의 액체의 액면높이에 관한 정보를 얻을 수 있고, 상기 미량성분관리 컨트롤러에 접속된 액면센서와, 상기 시약 수용기 내부의 바닥부 근방과 상기 버퍼컵 사이에 설치된 제1송액배관과, 상기 버퍼컵 내부의 바닥부 근방과 상기 분석컵 사이에 설치된 제2송액배관과, 상기 버퍼컵 내부를 배기하는 배기기구를 구비하고, 상기 미량성분관리 컨트롤러는, 상기 액면센서의 출력신호에 기초하여 상기 버퍼컵 내부에서 상기 제2송액배관의 개구위치보다 높은 제1레벨의 높이위치에 액체가 존재하지 않는 것으로 판단된 것에 응답하여, 상기 버퍼컵 내부를 배기하도록상기배기기구제어하는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 미량성분관리 컨트롤러에, 경보음 발생장치 및 디스플레이가 접속되어 있고, 상기 액면센서는, 상기 제1레벨의 높이에서의 상기 버퍼컵 내부의 액체 유무를 감지하는 하한센서, 및 이 제1레벨보다 높은 위치에 있는 제2레벨의 높이에서의 상기 버퍼컵 내부의 액체 유무를 감지하는 상한센서를 포함하며, 상기 미량성분관리 컨트롤러는, 상기 배기기구에 의해 소정시간 상기 버퍼컵 내부가 배기된 후, 상기 상한센서에 의해 상기 버퍼컵 내부의 상기 제2레벨에 액체가 감지되지 않은 경우에, 상기 경보음 발생장치에 경보음을 발생시키고, 상기 디스플레이에 상기 시약 수용기가 비어 있는 것을 표시시키도록제어하는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 분석부는, 상기 분석컵에 근접하여 배치되어 거의 밀폐된 상태로 할 수 있는 샘플링 용기와, 상기 기판처리부와 상기 샘플링 용기 사이에 설치된 샘플링관과, 상기 샘플링 용기와 상기 분석컵 사이에 설치된 도금액 이송관과, 상기 샘플링 용기에 연통되게 접속되어, 이 샘플링 용기 내부를 배기하는배기기구구비하고있는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 샘플링관은, 상기 샘플링 용기 내부의 상부에서 개구되어 있고, 상기 미량성분 관리부는, 상기 샘플링 용기 내부에 급기하는급기기구더구비하고있는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 미량성분관리 컨트롤러는, 기억장치를 구비하고 있고, 상기 미량성분관리 컨트롤러에, 디스플레이 및 조작자가 정보를 입력하는 입력장치가 접속되어 있고, 상기 미량성분관리 컨트롤러는, 상기 분석부에서 분석된 상기 도금을 억제하는 첨가제, 도금을 촉진하는 첨가제, 및 염소의 분석치를, 분석된 연월일 및 시간과 관련지어 상기 기억장치에 기억할 수 있고, 조작자의 상기 입력장치를 사이에 둔 지시에 응답하여, 상기 기억장치에 기억된 상기 도금을 억제하는 첨가제, 도금을 촉진하는 첨가제, 및 염소의 분석치를 상기 디스플레이에 시계열(時系列)로 표시하도록제어하는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 미량성분관리 컨트롤러에, 디스플레이가 접속되어 있고, 상기 미량성분관리 컨트롤러가, 상기 디스플레이에 상기 분석컵에 적하된 적정분석용 시약의 양과, 상기 참조전극과 상기 은염화은 전극 사이의 전위차와의 관계를 나타내는 그래프를 표시할 수있는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 미량성분관리 컨트롤러와 상기 시스템 컨트롤러는, 시리얼 라인을 통해 접속되어 있고, 상기 시스템 컨트롤러는, 상기 기판처리부에서 사용되는 도금액의 총량에 관한 정보를 취득할 수 있으며, 상기 미량성분관리 컨트롤러는, 상기 시리얼 라인을 통해 상기 시스템 컨트롤러로부터 상기 도금액의 총량에 관한 정보를 취득할 수 있고, 더욱이, 이 도금액의 총량에 관한 정보와, 상기 분석부에 의한 상기 도금을 촉진하는 첨가제, 도금을 억제하는 첨가제, 및 염소의 분석치로부터, 상기 기판처리부 내부의 도금액이 상기 도금을 억제하는 첨가제, 도금을 촉진하는 첨가제, 및 염소에 관하여 소정 농도가 되도록, 상기 도금액에 보충해야 할 상기 도금을 억제하는 첨가제를 포함하는 보충액, 상기 도금을 촉진하는 첨가제를 포함하는 보충액, 및 염소를 포함하는 보충액의 양을 구하는 것가능한것을특징으로 하는도금장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 미량성분 관리부는, 거의 밀폐된 상태로 할 수 있는 조합용기와, 이 조합용기 내부의 바닥부 근방과 상기 기판처리부 사이에 설치된 보충관과, 상기 조합용기 내부를 가압 및 감압하는 가압감압기구와, 상기 미량성분관리 컨트롤러에 의해서 요구된 보충량의 상기 도금을 촉진하는 첨가제를 포함하는 보충액, 도금을 억제하는 첨가제를 보충하는 보충액, 및 염소를 포함하는 보충액을, 상기 조합용기에 공급하는 보충액 공급기구를 포함하는보충부더구비하고있는것을특징으로 하는도금장치. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 미량성분 관리부는, 배기구가 형성된 미량성분 관리부 인클로져에 수용되어 있고, 상기 배기구에는, 상기 미량성분 관리부 인클로져의 내부를 배기하기 위한 배기관을 접속할 수 있으며, 상기 미량성분 관리부는, 상기 배기관에 설치되어 배기압을 측정하는배기압 센서더포함하는것을특징으로 하는도금장치.