문맥 (context)
[청구항 1]
케미컬 정량공급장치에 있어서,
케미컬이 일정량 저장된 정량탱크와,
상기 정량탱크에 저장된 케미컬을 일정량 펌핑하는 정량펌프와,
외부의 제어신호에 의해 상기 정량펌프로부터 펌핑되는 케미컬을 차단하거나 통과하도록 동작하는 에어밸브와,
상기 에어밸브로부터 통과된 케미컬을 통과시키고 공급 케미컬의 역류를 방지하도록 하는 체크밸브와,
상기 체크밸브를 통해 공급되는 케미컬을 초순수와 혼합하여 프로세스를 수행하기 위한 베쓰와,
상기 체크밸브와 베쓰 사이에 연결되어 상기 베쓰로 공급되는 케미컬의 유량을 측정하는 적산유량계와,
외부로부터 런 진행 명령이 입력될 시 상기 정량펌프로 케미컬 공급 제어신호 및 에어밸브 개폐제어신호를 출력하고, 상기 적산유량계로부터 측정된 유량을 입력받아 미리 설정된 양보다 적게 공급될 시 인터록이 발생되도록 제어하여 롯 투입을 정지시키는 콘트롤러를 포함함을 특징으로 하는 케미컬 정량공급장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 적산유량계로부터 측정한 케미컬의 유량을 표시하는모니터더포함함을특징으로 하는케미컬 정량공급장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 콘트롤러는, 웨이퍼 1롯 처리시간동안 공급되는 케미컬의 누적량이나 미리 설정한 시간동안의 누적량을 상기 적산유량계로부터 입력받아 정해진 유량과 비교하여정량공급여부판단함을특징으로 하는케미컬 정량공급장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
케미컬 정량공급장치에서 콘트롤러가 롯 투입을 정지시키기 위해 인터록을 발생시키는 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation케미컬 정량공급장치에서 콘트롤러가 롯 투입을 정지시키기 위해 인터록을 발생시키는 구체적인 조건을 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 콘트롤러의 기능과 인터록 발생 조건에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 적산유량계로부터 측정된 유량을 입력받아 미리 설정된 양보다 적게 공급될 시 인터록이 발생되도록 제어하여 롯 투입을 정지시키는 콘트롤러
-
3근거 선택
evidence_selection인터록 발생 조건과 직접적으로 관련된 구절을 선택한다.
- 적산유량계로부터 측정된 유량을 입력받아 미리 설정된 양보다 적게 공급될 시
-
4논리 통합
logical_integration적산유량계로 측정된 유량이 미리 설정된 양보다 적을 때 인터록이 발생하고, 이로 인해 롯 투입이 정지된다는 논리 구조를 확인한다.
- 적산유량계로부터 측정된 유량을 입력받아 미리 설정된 양보다 적게 공급될 시 인터록이 발생되도록 제어하여 롯 투입을 정지시키는 콘트롤러
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '적산유량계로부터 측정된 유량이 미리 설정된 양보다 적게 공급될 시'를 도출한다.
- 적산유량계로부터 측정된 유량을 입력받아 미리 설정된 양보다 적게 공급될 시
-
6답변 생성
answer_generation추출된 근거를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 적산유량계로부터 측정된 유량을 입력받아 미리 설정된 양보다 적게 공급될 시
최종 답변 (final_answer)
적산유량계로부터 측정된 유량을 입력받아 미리 설정된 양보다 적게 공급될 시
핵심 해석 (core_interpretation)
적산유량계를 통해 측정된 케미컬의 공급량이 설정값 미만일 경우 인터록을 발생시켜 롯 투입을 차단함으로써 정량 공급의 신뢰성을 확보하는 기술이다.