이온 빔의 질량 분리 필터와 그 질량 분리 방법 및 이를사용하는 이온 소스 document_id 1020030013800

[청구항 2] 제1항에 있어서,입사하는 이온의 방향과 출사하는 이온의 방향은빔축방향인것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 3] 제1항에 있어서,제2 자계의 강도는 제1 자계의 강도와 거의 동일하고, 제1 자계에 의한 이온의 변위량과 동일한 거리만큼 편향시키는자속밀도갖는것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기제1,제2자석영구자석인것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기제1, 제2 자석은 냉각수가 흐르는금속관내장된것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 콜리메이터 벽은, 제1,제2 만곡 경로를 형성하도록, 대향 배치된 적어도 한 쌍의 만곡벽과 한쌍의측부벽포함하는것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기제1,2 자석은 상기 한 쌍의 측부벽의 양외측에 설치되고, 또 각각 다른 자극성면이 대향하도록배치된것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 제1 만곡 경로와 제2 만곡 경로는, 빔의 궤도를 따라 형성된 연속된빔 경로구성하는것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 연속된 빔 경로는 직선적으로 병렬배치되고, 각 빔 경로를 구성하는 상기 콜리메이터 벽이, 각각 서로 이웃하는빔 경로의한쪽의만곡벽구성하는것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 10] 제1항 또는 제6항에 있어서,상기 콜리메이터 벽nan은그래파이트지는것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 11] 제1항에 있어서,콜리메이터 벽은 얇은금속판지는것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 12] 제1항에 있어서,콜리메이터 벽의 두께는 콜리메이터 벽 사이의 공간의 10%미만값인것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 13] 제1항에 있어서,콜리메이터 벽은 대향 배치된자석간의벽면의일측설치되는것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 14] 제1항에 있어서,콜리메이터 벽은 2개의 결합된 원호로 구성된 s자 형상이고, 상기 2개의 원호는 2개의 결합점에서 서로 접하고 있으며, 상기 콜리메이터 벽의 말단에서 서로 평행이고 또 빔축에 대해서평행인것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 15] 제1항에 있어서,콜리메이터 벽에 의해 형성된 빔 경로는 s자 형상이고 자계에 대해비평행인것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 16] 제1항에 있어서,제1 자계에 의해 편향되고, 제2 자계에 의해 역편향된 빔의 궤도는 질량 분리 필터로의 빔의 입사 개구 위치에 대해 빔의 출사 개구 위치를 시프트하도록 구성되고, 상기 2개의 입사 개구 위치와 출사 개구 위치는, 편향을 받지 않았던 직진 빔이 직접 출사되지 않도록 이온 빔의 축방향으로부터 볼때오버랩않는것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 17] 제1항에 있어서,제1 자계에 의해 편향되고, 제2 자계에 의해 역편향된 빔의 궤도는 질량 분리 필터로의 빔의 입사 개구 위치에 대해 빔의 출사 개구 위치를 시프트하도록 구성되고, 상기 2개의 입사 개구 위치와 출사 개구 위치는 직진 빔의 통과를 가능하게 하기 위해, 이온 빔의 축방향으로부터 볼때오버랩되는것을특징으로 하는이온 빔의 질량 분리 필터. [청구항 22] 제21항에 있어서,질량 분리 필터는 이온 소스의 인출 전극, 가속 전극,및접지전극중하나삽입되는것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 23] 제21항에 있어서,이온 빔은 홀쭉한 단면을 갖는리본빔인것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 24] 제21항에 있어서,질량 분리 필터는 플라즈마 전극과 인출 전극의 사이에평행배치되는것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 25] 제21항에 있어서,플라즈마 전극은 플라즈마 안을 관통하는 자계를 감소시키기 위해, 자기 쉴드(shield)용전자기연철지는것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 26] 제21항에 있어서,플라즈마 전극으로부터 질량 분리 필터의 입사면까지의 거리는 제1,제2자석간의갭적어도2배인것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 27] 제21항에 있어서,콜리메이터 벽은 2개의 결합된 원호로 구성된 s자 형상이고, 상기 2개의 원호는 2개의 결합점에서 서로 접하고 있으며, 상기 콜리메이터 벽의 말단에서 서로 평행이고 또 빔축에 대해서평행인것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 원호의 곡률반경은 이온의 질량을 m, 이온의 가속 에너지를 e(ev), 궤도반경을 r(cm), 자속밀도를 b(gauss)라 할때주어지는것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 29] 제21항에 있어서,콜리메이터 벽은 플라즈마 전극의 개구 간격과 동일한피치갖는것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 30] 제21항에 있어서,제1 만곡경로와 제2 만곡 경로는 빔의 궤도를 따라 형성된 연속된 빔 경로이고, 그 배치 간격을 플라즈마 전극의 개구의 간격과 동일한피치로한것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 31] 제21항에 있어서,콜리메이터 벽은 소정의 간격으로 배치된 직선모양의 상기 제1, 제2 자석의 조(組) 사이에, 플라즈마 전극의 개구의 줄의 방향에 맞추어, 같은 간격으로일렬배치되는것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 32] 제21항에 있어서,인출 전극에 공급되는 인출 전압은 필터 내에 존재하는 불필요한 이온의 양에 대해서 필요한 이온의 양이 최대가 되도록자동적조정되는것을특징으로 하는이온 소스. [청구항 33] 제32항에 있어서,상기 인출 전압은 이온 빔을 균일하게 하기 위해 시간적으로 변화하는 작은 교류 성분이 가해진직류전압인것을특징으로 하는이온 소스.