기판처리장치 및 기판처리방법 document_id 1020030013933

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,용매증기 공급관로에 상기적어도1개의기기설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,용매증기 공급관로에 설치된 상기 적어도 l개의 기기가 가변 트로틀밸브포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 복수의 용매증기 공급관로에 각각 설치된 복수의 개폐밸브에 있어서,상기 각 처리용기에의 용매증기의 공급 및 공급 정지의 절환을 실시하는 개폐밸브와,상기 복수의 개폐밸브 중의 하나의 개폐밸브가 열렸을 때에, 그때 이미 열린 상태로 되어 있는 개폐밸브가 설치되어 있는 용매증기 공급관로에 설치된 가변 트로틀밸브의 개방도를 조이도록 조정하는콘트롤러구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 5] 청구항 2에 있어서,처리가스 공급관로는 상기 각 용매증기 공급관로에 설치된 상기 적어도 1개의 기기의 하류측에서 상기 각 용매증기 공급관로에 접속되고, 상기 처리가스는 상기 각 용매증기 공급관로를 개입시켜 상기 각처리용기공급되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,배출관로에 상기적어도1개의기기설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 7] 청구항 6에 있어서,배출관로에 설치된 상기 적어도 l개의 기기가 가변 트로틀밸브인것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,배출관로에 설치된 상기 적어도 1개의 기기가 상기 가변 트로틀밸브와 병렬로 설치된릴리프밸브포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 9] 청구항 7에 있어서,배출관로에 설치된 상기 적어도 1개의 기기가 상기 가변 트로틀밸브와 직렬로 설치된개폐밸브더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 10] 청구항 7에 있어서,각각이 상기 각 처리용기내의 압력 혹은 상기 각 처리용기내의 압력에 대응해서 변화하는 압력을 검출하는 복수의 압력센서와, 상기 압력센서의 검출 결과에 기초해서 상기 각 처리용기내의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 각 가변 트로틀밸브의 개방도를 조절하는콘트롤러더구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 11] 청구항 9에 있어서,각각이 상기 각 처리용기내의 압력 혹은 상기 각 처리용기내의 압력에 대응해서 변화하는 압력을 검출하는 복수의 압력센서, 상기 압력센서의 검출 결과에 기초해서 상기 각 처리용기내의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 개폐밸브의 개폐를 제어하는콘트롤러더구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 12] 청구항 9에 있어서,상기 용매증기 공급관로에 각각 설치된 복수의 개폐밸브에 있어서,상기 처리용기에의 용매증기의 공급 및 공급 정지의 절환을 실시하는 개폐밸브와,상기 용매증기 공급관로의 개폐밸브가 열렸을 때에, 열려있는 개폐밸브가 설치되어 있는 용매증기 공급관로에 접속된 처리용기에 접속되어 있는 배출관로의 개폐밸브를 반복 개폐시키는 것에 의해, 대응하는 처리용기의 내압을 소정치로 제어하는콘트롤러더구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 13] 청구항 7에 있어서,상기 용매증기 공급관로에 각각 설치된 복수의 개폐밸브에 있어서,상기 처리용기에의 용매증기의 공급 및 공급 정지의 절환을 행하는 개폐밸브와,상기 복수의 개폐밸브가 열렸을 때에, 배출관로에 설치되어 있는 가변 트로틀밸브의 개방도를 조이는 것에 의해, 복수의 처리용기의 내압을 소정치로 조정하는콘트롤러더구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 14] 청구항 6에 있어서,용매증기 공급관로에 고정 트로틀설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 15] 청구항 1에 있어서,처리용기는 기판지지부재를 갖는 용기본체와, 상기 용기본체에 밀봉 결합해 상기 처리용기 내에 처리 공간을 형성함과 동시에 상기 기판을 지지할 수 있는 기판지지부재를 갖는 덮개를 구비하고, 상기 덮개가 상기 용기본체에 결합하고 있는 경우에, 상기 기판이 상기 기판지지부재상에 재치됨과 동시에 상기 덮개의 기판지지부재가 상기 기판으로부터 멀어지도록상기덮개형성되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 17] 청구항 16에 있어서,상기 제1 가변 트로틀과 직렬로 상기 제1 배출관로에 설치된 제1 배출측 개폐밸브와, 상기 제2 가변 트로틀과 직렬로 상기 제2 배출관로에 설치된 제2 배출측 개폐밸브를 더 구비하고, 상기 콘트롤러는 상기 제1 처리용기내의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 제1 배출측 개폐밸브의 개폐를 제어하고, 한편 상기 제2 처리용기내의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 제2 배출측 개폐밸브의 개폐를 제어하도록구성된것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 18] 청구항 16에 있어서,의 배기관로에 상기 제1 가변 트로틀과 병렬로 제1 릴리프 밸브가 설치되어 있고, 상기 제1 배기관로에 상기 제2 가변 트로틀과 병렬로제2릴리프밸브설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치.