전압 제어 발진기 document_id 1020030019813

[청구항 1] 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 제1 강유전체 박막과, 상기 제1 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 박막 형상의 한쌍의 전극을 포함하고, 상기 한쌍의 전극 간의 전압에 의해 공진 주파수를 변화시키고, 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 제1 박막 압전 공진자와, 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 제2 강유전체 박막과, 상기 제2 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 박막 형상의 한쌍의 전극을 포함하고, 상기 한쌍의 전극 간의 전압에 의해 공진 주파수를 변화시키고, 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 제2 박막 압전 공진자와, 상기 한쌍의 전극 사이에 전압을 인가하는 제어 전압 회로와, 상기 제1 및 제2 박막 압전 공진자에 접속되어 상기 제1 및 제2 박막 압전 공진자와 함께 발진 회로를 구성하는 증폭기 를 포함하고, 상기 제1 박막 압전 공진자와 상기 제2 박막 압전 공진자가 중첩하여 탄성적으로 결합되어 이루어진 것을 특징으로 하는 전압 제어 발진기 [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 전압 제어 발진기는, 상기 박막 압전 공진자가 복수, 조합된 평형회로인전압 제어 발진기. [청구항 4] 제1항에 있어서,제1 박막 압전 공진자와 제1 증폭기로 구성되는 제1 발진 루프와, 상기 제2 박막 압전 공진자와 제2 증폭기로 구성되며 상기 제1 발진 루프로부터 전기적으로 절연된 제2 발진 루프를 포함하고, 상기 제1 박막 압전 공진자와 상기 제2 박막 압전 공진자를 중첩시켜 탄성적결합하는전압 제어 발진기. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기제1 및 제2 박막 압전 공진자에 있어서 공진점 부근의 주파수발진하는전압 제어 발진기. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 탄성적 결합은 역상결합인전압 제어 발진기. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기제1 및 제2 박막 압전 공진자가 직렬 접속되어 직렬 회로를 구성하고, 증폭기가 상기 직렬 회로에 병렬 접속되며, 상기 제1및제2박막압전 공진자의반공진점부근의주파수발진하는것을특징으로 하는전압 제어 발진기. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기제1 및 제2 박막 압전 공진자는 적어도 한쪽 전극에 소정 용량의 캐패시터가 접속되어 직렬 회로 또는 병렬 회로를 구성하고 상기 회로의 공진 주파수가 상기 제1 및 제2 박막 압전 공진자의 상기 한쌍의 전극 사이에 인가되는전압에의해가변으로 되는전압 제어 발진기. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 제어 전압 회로가 직류 전압발생하는전압 제어 발진기. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기제1 및 제2 강유전체 박막은 티탄산 바륨 혹은 티탄산 지르콘산연을 주성분으로 하는에피텍셜 성장막인것을특징으로 하는전압 제어 발진기. [청구항 11] 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 제1 강유전체 박막과, 상기 제1 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 박막 형상의 제1 및 제2 전극으로 이루어진 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 제1 박막 압전 공진자와, 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 제2 강유전체 박막과, 상기 제2 강유전체 박막을 상기 제2 전극과 함께 협지하도록 형성된 박막 형상의 제3 전극을 포함하고, 상기 제1 박막 압전 공진자에 막 두께 방향으로 적층되어 상기 제2 전극을 공통 전극으로 하는 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 제2 박막 압전 공진자와, 상기 전극 간에 전압을 인가하는 제어 전압 회로와, 상기 제1 및 제2 박막 압전 공진자에 접속되어 발진 회로를 구성하는 증폭기 를 포함하는 것을 특징으로 하는 전압 제어 발진기 [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 제1 박막 압전 공진자와 상기 제2 박막 압전 공진자가 중첩하여 탄성적결합되어 이루어지는전압 제어 발진기. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기제1 및 제2 강유전체 박막, 상기 제1 전극 내지 제3 전극을 포함하는 두께가 발진 파장의 1/4 파장의 기본 공진 주파수있는전압 제어 발진기. [청구항 14] 기판과, 상기 기판 상에 형성되며, 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 제1 강유전체 박막과, 상기 제1 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 박막 형상의 제1 및 제2 전극으로 이루어진 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 제1 박막 압전 공진자와, 상기 기판 상에 상기 제1 박막 압전 공진자에 인접하고, 상기 강유전체막을 상기 제1 박막 압전 공진자와 공유하여 형성되고, 상기 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 박막 형상의 제3 및 제4 전극으로 이루어진 제2 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 제2 박막 압전 공진자와, 상기 전극 간에 전압을 인가하는 제어 전압 회로와, 상기 제1 및 제2 박막 압전 공진자에 접속되어 발진 회로를 구성하는 증폭기 를 포함하는 것을 특징으로 하는 전압 제어 발진기 [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 제1 박막 압전 공진자와 상기 제2 박막 압전 공진자가 중첩되어 탄성적결합되어 이루어지는전압 제어 발진기. [청구항 16] 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 제1 강유전체 박막과, 상기 제1 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 박막 형상의 한쌍의 전극을 포함하고, 상기 한쌍의 전극 사이의 전압에 의해 공진 주파수를 변화시키고 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 제1 박막 압전 공진자와, 상기 한쌍의 전극 간에 전압을 인가하는 전압 제어 회로와, 상기 제1 박막 압전 공진자에 접속되며 이 공진자와 함께 발진 회로를 구성하는 증폭기를 포함하는 제1 전압 제어 발진기와, 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 제2 강유전체 박막과, 상기 제2 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 박막 형상의 한쌍의 전극을 포함하고, 상기 한쌍의 전극 사이의 전압에 의해 공진 주파수를 변화시키고 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 제2 박막 압전 공진자와, 상기 한쌍의 전극 간에 전압을 인가하는 전압 제어 회로와, 상기 제2 박막 압전 공진자에 접속되며 이 공진자와 함께 발진 회로를 구성하는 증폭기를 포함하는 제2 전압 제어 발진기와, 상기 제1 및 제2 전압 제어 발진기를 다른 주파수로 발진하는 수단과, 상기 제1 및 제2 전압 제어 발진기에 접속되어 상기 제1 및 제2 전압 제어 발진기의 출력 주파수의 차를 출력하는 승산기를 포함하는 전압 제어 발진기 [청구항 17] 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 강유전체 박막과, 상기 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 전극으로 구성되는 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 박막 압전 공진자와, 상기 박막 압전 공진자와 직렬 또는 병렬 회로를 구성하고, 상기 박막 압전 공진자에 선택 회로와 함께 접속된 복수의 캐패시터 를 포함하고, 상기 복수의 캐패시터 중의 어느 것을 상기 선택 회로로 전환하여 상기 캐패시터 중 적어도 적어도 1개와의 조합에 의해 공진 주파수가 제어되도록 구성된 것을 특징으로 하는 전압 제어 발진기 [청구항 18] 고유의 용량을 갖는 캐패시터와, 이 캐패시터와 직렬 또는 병렬 회로를 구성하고, 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 강유전체 박막과, 상기 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 전극으로 구성되는 두께 세로 모드의 탄성 진동으로 공진하는 복수의 박막 압전 공진자 를 포함하고, 상기 캐패시터에 선택 회로와 함께 상기 복수의 박막 전압 공진자를 접속하고, 상기 복수의 박막 압전 공진자 중의 어느 것을 상기 선택 회로로 전환하여 상기 박막 압전 공진자의 적어도 1개와의 조합에 의해 공진 주파수가 제어되도록 구성된 것을 특징으로 하는 전압 제어 발진기 [청구항 19] 기판과, 상기 기판 상에 형성되며, 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정하고, 또한 두께 10㎛ 이하의 페로브스카이트형 단결정의 강유전체 박막과, 상기 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 박막 형상의 제1 및 제2 전극으로 이루어진 박막 압전 공진자와, 상기 기판 상에 상기 박막 압전 공진자에 인접하고, 상기 강유전체 박막을 상기 박막 압전 공진자와 상기 기판을 공유하여 형성되며, 상기 강유전체 박막을 사이에 협지하도록 형성된 박막 형상의 전극으로 이루어지고 상기 강유전체 박막을 압전 액추에이터로 하는 스위칭 소자와, 상기 제1 및 제2 전극 간에 전압을 인가하는 제어 전압 회로와, 제1 및 제2 박막 압전 공진자에 접속되어 발진 회로를 구성하는 증폭기 를 포함하는 것을 특징으로 하는 전압 제어 발진기