기판처리장치 document_id 1020030026550

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 주 반송기구를 사용하여 기판을 특정위치로부터 다른 위치로 반송하는 공정을 1 반송공정으로 한 경우에, 상기 각 처리블록의 주 반송기구는, 대략 동수(同數)의반송공정부담하고있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,처리블록의 주 반송기구는, 기판의 수수를 하기 위한 기판을 설치하는 기판처리부를 개재하여,서로기판의수수하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 기판설치부는, 어떤 처리블록으로부터 기판을 불출(拂出)하기 위한 불출용 기판설치부와, 어떤 처리블록으로 기판을 되돌리기 위한복귀용기판설치부의적어도2개의기판설치부구성되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 불출용 기판설치부와 복귀용 기판설치부는, 상하로 근접하여설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 제 3항에 있어서,상기 처리블록의 사이에는 격벽이 설치되어 있으며, 상기 기판설치부는 상기 격벽을 부분적으로 관통하여설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 7] 제 3항에 있어서,상기 기판설치부에, 기판의 유무를 검출하는센서설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 처리블록은, 주 반송기구를 끼워서 약액처리부와 열처리부가 대향하여배치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 9] 제 8항에 있어서,상기 약액처리부가 복수개 있고, 이들이 상하로 적층배치 되어 있으며, 또한, 상기 열처리부가 복수개 있으며, 이들이 상하로적층배치있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 10] 제 9항에 있어서,상기 열처리부는, 상하로 적층배치된 것이 복수열에 걸쳐병설되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 11] 제 1항에 있어서,상기 열처리부는, 기판을 설치하여 가열처리하는 가열 플레이트(plate)와, 상기 가열 플레이트로부터 떨어진 위쪽 위치 또는 아래쪽 위치에 기판을 설치해 두는 기판 가(假) 설치부와, 상기 가열 플레이트와 기판 가 설치부의 사이에서 기판을 반송하는 열처리부용의 로컬(local) 반송기구를 구비한 기판 가 설치부 구비의 열처리부를포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 13] 제 11항에 있어서,상기 주 반송장치는, 상기 기판 가 설치부에 대하여기판의수수하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 14] 제 11항에 있어서,상기 기판가 설치부 구비 열처리부의 적어도 가열 플레이트는 상자로 덮여있고, 상기 상자 내의 가열 플레이트에 대하여 상기 로컬 반송기구가 기판을 수수하기 위해 상기 상자에 설치된 개구부는, 상기 주 반송기구가 배치된 쪽과는 반대쪽으로위치있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 16] 제 15항에 있어서,적어도 상기인덱서블록(indexer block)과 상기 반사방지막용 처리블록 사이는, 기판 수수용의 개구부위를 제외하고 격벽으로 구획되며, 또한, 반사방지막용 처리블록 내의 기압이 인덱서블록내의기압설정되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 17] 제 15항에 있어서,상기 현상처리블록의 열처리부는, 기판을 재치하여 가열처리를 하는 가열 플레이트와, 상기 가열 플레이트로부터 떨어진 위쪽 위치 또는 아래쪽 위치에 기판을 설치하여 두는 기판 가(假)설치부와, 상기 가열 플레이트와 기판 가설치부의 사이에서 기판을 반송하는 열처리부용의 로컬 반송기구를 구비한 기판 가설치부 구비의 열처리부를 포함하고, 상기 인터페이스 블록은 또한, 포토레지스트가 도포된 기판의 원주 테두리부를 노광하는 엣지(edge) 노광부와, 상기 기판 가설치부 구비의 열처리부 및 상기 엣지 노광부에 대하여 기판을 수수하는 제 4의주반송기구구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 18] 제 17항에 있어서,상기 열처리부용의 로컬 반송기구는, 상기 가열 플레이트로부터 기판 가 설치부로 기판을 반송하는 과정에서 기판을 냉각하는냉각수단구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 19] 제 17항에 있어서,상기인덱서용 블록의 인덱서용 반송기구와 상기 반사 반사방지막용 처리블록의 제 1의 주 반송기구와는, 기판의 수수를 하기 위한 기판을 설치하는 기판설치부를 개재하여, 서로 기판의 수수를 하고, 마찬가지로, 상기 제 1의 주 반송기구와 상기 레지스트막용 처리블록의 제 2의 주 반송기구, 상기 제 2의 주 반송기구와 상기 현상처리블록의 제 3의 주 반송기구, 상기 제 3의 주 반송기구와 상기 제 4의 주 반송기구, 및 상기 제 4의 주 반송기구와 상기 인터페이스 블록의 인터페이스용 반송기구의 각각은, 기판의 수수를 하기 위하여 기판을 설치하는 기판설치부를 개재하여,서로기판의수수행하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 20] 제 19항에 있어서,상기 인터페이스 블록은, 노광기(露光機)가 기판을 받아들일 수 없을 때, 노광처리(露光處理)전의 기판을 수납하는 이송용 버퍼(buffer)와, 노광처리후의 기판을 현상처리할 수 없을 때 현상처리전의 기판을 수납하는 복귀 버퍼(buffer)를 구비하고,상기 인터페이스용 반송기구는, 노광기가 기판을 받아들일 수 없을 때에, 노광처리전의 기판을 상기 이송용 버퍼에 수납하고, 상기 제 4의 주 반송기구는, 노광처리후의 기판을 현상처리할 수 없을 때, 현상처리전의 기판을, 상기 현상처리블록의 기판 가(假) 설치부 구비의 열처리부에서 열처리한 후에,상기복귀버퍼수납하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 22] 제 21항에 있어서,기판을 다단으로 수용하는 복수개의 카세트(cassette)를 설치하는 카세트 설치대와, 각 카세트로부터 미처리한 기판을 차례로 꺼냄과 동시에, 각 카세트에 처리가 끝난 기판을 차례로 수납하는 인덱서용 반송기구를 구비한 인덱서 블록이 인덱서용의 피 제어유닛을 구성하고, 마찬가지로, 기판표면에 반사방지막을 도포형성하는 반사방지막용 도포처리부와, 반사방지막의 도포형성에 관련하여 기판을 열처리하는 반사방지막용 열처리부와, 상기 반사방지막용 도포처리부 및 반사방지막용 열처리부에 대하여 기판의 수수를 하는 제 1의 주 반송기구를 구비한 반사방지막용 처리블록이 반사방지막용의 피 제어유닛을 구성하고, 반사방지막이 도포형성된 기판에 포토레지스트막을 도포형성하는 레지스트 막용 도포처리부와, 포토레지스트막의 도포형성에 관련하여 기판을 열처리하는 레지스트막용 열처리부에 대하여 기판의 수수를 하는 제 2의 주 반송기구를 구비한 레지스트막용 처리블록이 레지스트막용의 피 제어유닛을 구성하고, 포토레지스트막이 도포형성되며, 더욱이 노광된 기판에 현상처리를 하는 현상처리부와, 현상처리에 관련하여 기판을 열처리하는 현상용 열처리부와, 상기 현상처리부 및 현상용 열처리부에 대하여 기판의 수수를 하는 제 3의 주 반송기구를 구비한 현상처리블록이 현상용의 피 제어유닛을 구성하고, 노광된 기판을 현상전에 가열처리하는 노광후 가열용의 열처리부와, 상기 노광후 가열용의 열처리부에 대하여 기판을 수수하는 제 4의 주 반송기구를 포함하여 노광후 가열용의 피 제어유닛을 구성하고, 본 기판처리장치와는 별체(別體)의 외부장치인 노광장치에 대하여 기판의 수수를 하는 인터페이스용 반송기구를 포함하여 인터페이스(interface)용의피제어유닛구성한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 23] 제 22항에 있어서,기판을 검사하는 기판검사부와, 상기 기판검사부에 대하여 기판을 수수하는 기판검사용의 주 반송기구를 포함하여 구성되는기판검사용의피제어유닛다시구비한것을특징으로 하는기판처리장치.