문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 카본나노튜브의 하부측의 제1층 및 카본나노튜브의 상부측의 제2층을 구비하는 매몰층을 더 구비하고, 상기 카본나노튜브는 제1층 및 제2층의 사이에 매몰되어 있는 것을 특징으로 하는게이트에의해둘러싸인카본나노튜브 전계효과트랜지스터.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 매몰층에는 상기 채널에 대응하는 우물이 형성되어 있고, 상기 우물의 내벽 및 우물에서 노출된 카본나노튜브의 표면에 상기 게이트 절연층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는게이트에의해둘러싸인카본나노튜브 전계효과트랜지스터.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 매몰층의 양측에는 상기 카본나노튜브가 노출되는 측면을 가지며, 상기 매몰층의 측면에 상기 카본나노튜브의 양단에 연결되는 소스 및 드레인이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는게이트에의해둘러싸인카본나노튜브 전계효과트랜지스터.
[청구항 5]
제 3 항에 있어서,상기 매몰층의 양측에는 상기 카본나노튜브가 노출되는 측면을 가지며, 상기 매몰층의 측면에 상기 카본나노튜브의 양단에 연결되는 소스 및 드레인이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는게이트에의해둘러싸인카본나노튜브 전계효과트랜지스터.
[청구항 6]
제 4 항에 있어서,상기 매몰층의 측면은 경사지게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는게이트에의해둘러싸인카본나노튜브 전계효과트랜지스터.
[청구항 7]
제 4 항에 있어서,상기 매몰층의 측면에 상기 카본나노튜브를 성장시키는데 사용된 촉매층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는게이트에의해둘러싸인카본나노튜브 전계효과트랜지스터.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 매몰층의 측면에 상기 카본나노튜브를 성장시키는데 사용된 촉매층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는게이트에의해둘러싸인카본나노튜브 전계효과트랜지스터.
[청구항 9]
제 2 항에 있어서,상기 매몰층은 bsg(borosilicate glass)로 형성된 것을 특징으로 하는게이트에의해둘러싸인카본나노튜브 전계효과트랜지스터.
[청구항 10]
제 3 항에 있어서,상기 매몰층의 우물은 상기 기판의 표면에 까지 연장되어 있는 것을 특징으로 하는게이트에의해둘러싸인카본나노튜브 전계효과트랜지스터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
매몰층 내에 형성된 우물의 내벽과 노출된 카본나노튜브의 표면에는 어떠한 층이 형성되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation매몰층 내 우물의 내벽과 노출된 카본나노튜브 표면에 형성된 층이 무엇인지 확인하는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 우물의 내벽 및 노출된 카본나노튜브의 표면에 형성된 층에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 우물의 내벽 및 우물에서 노출된 카본나노튜브의 표면에 상기 게이트 절연층이 형성되어 있는
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 대상(우물 내벽, 노출된 카본나노튜브 표면)과 직접적으로 대응하는 구절을 선택한다.
- 상기 우물의 내벽 및 우물에서 노출된 카본나노튜브의 표면에 상기 게이트 절연층이 형성되어 있는
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4논리 통합
logical_integration추출된 근거를 바탕으로 우물의 내벽과 카본나노튜브 표면에 공통적으로 '게이트 절연층'이 형성되어 있음을 연결한다.
- 상기 우물의 내벽 및 우물에서 노출된 카본나노튜브의 표면에 상기 게이트 절연층이 형성되어 있는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '게이트 절연층'을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 우물의 내벽 및 우물에서 노출된 카본나노튜브의 표면에 상기 게이트 절연층이 형성되어 있는
최종 답변 (final_answer)
게이트 절연층
핵심 해석 (core_interpretation)
매몰층 내 형성된 우물의 내벽과 노출된 카본나노튜브 표면에 게이트 절연층을 형성하여 소자 구조를 구성하는 기술에 관한 것이다.