문맥 (context)
[청구항 1]
단위 셀이 일정 간격을 가지고 비트라인 방향으로 배치된 제1열
상기 제1열과 인접하며, 단위 셀이 일정 간격을 가지고 비트라인 방향으로 배치된 제2열; 및
상기 제1열 및 상기 제2열과 각각 일정 영역 오버랩되도록 상부에 배치되며, 상기 제1열과 상기 제2열을 이루는 상기 단위 셀들의 캐패시터가 서로 공유하는 플레이트 전극
을 포함하는 강유전체 메모리소자
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 플레이트 전극은, 워드라인 방향으로 서로 인접하며 상기 플레이트 전극의 서로 공유하는 두 단위 셀 각각의 적어도 1/2씩의폭오버랩되는것을특징으로 하는강유전체 메모리소자.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 플레이트 전극 상부에서 상기 플레이트 전극과 전기적으로 접속된캐패시터콘택더포함하는것을특징으로 하는강유전체 메모리소자.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 캐패시터는, 스토리지노드 전극과 그 상부의 강유전체막 및 상기 플레이트 전극을 포함하며, 상기 제1 또는 제2열의 상기 비트라인 방향으로 인접한캐패시터끼리상기강유전체막서로공유하는것을특징으로 하는강유전체 메모라소자.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 강유전체막은, srbi2ta2o9(sbt), srbi2(ta1-x, nbx)2o9(sbtn), bi4ti3o12(bit), (bi1-x, lax)ti3o12(blt) 또는 (pb, zr)tio3(pzt) 중 어느하나포함하는것을특징으로 하는강유전체 메모리소자.
[청구항 6]
제 3 항에 있어서,상기 캐패시터 콘택은, tin 및 ti계열포함하는것을특징으로 하는강유전체 메모리소자.
[청구항 7]
서로 인접하며, 단위 셀이 일정 간격을 가지고 비트라인 방향으로 배치된 복수의 제1 내지 제n열; 및
상기 제1열 내지 상기 제n열과 각각 일정 영역 오버랩되도록 상부에 배치되며, 상기 제1열 내지 상기 제n열을 이루는 상기 단위 셀들의 캐패시터가 서로 공유하는 플레이트 전극
을 포함하는 강유전체 메모리소자
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 플레이트 전극 상부에서 상기 플레이트 전극과 전기적으로 접속된캐패시터콘택더포함하는것을특징으로 하는강유전체 메모리소자.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 캐패시터는, 스토리지노드 전극과 그 상부의 강유전체막 및 상기 플레이트 전극을 포함하며, 제1 내지 제n열 중 어느 하나의 열에서 비트라인 방향으로 인접한캐패시터끼리상기강유전체막서로공유하는것을특징으로 하는강유전체 메모라소자.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 강유전체막은, srbi2ta2o9(sbt), srbi2(ta1-x, nbx)2o9(sbtn), bi4ti3o12(bit), (bi1-x, lax)ti3o12(blt) 또는 (pb, zr)tio3(pzt) 중 어느하나포함하는것을특징으로 하는강유전체 메모리소자.
[청구항 11]
제 8 항에 있어서,상기 캐패시터 콘택은, tin 및 ti계열포함하는것을특징으로 하는강유전체 메모리소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
강유전체 메모리소자에서 플레이트 전극이 제1열과 제2열의 단위 셀 캐패시터와 맺는 관계 및 플레이트 전극의 배치 특징을 청구항 1과 청구항 2를 바탕으로 설명하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1과 2를 바탕으로 플레이트 전극이 제1열 및 제2열의 단위 셀 캐패시터와 맺는 관계와 배치 특징을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 플레이트 전극은 제1열 및 제2열과 일정 영역 오버랩되며, 두 열의 단위 셀 캐패시터를 서로 공유한다는 정보를 추출한다.
- 상기 제1열 및 상기 제2열과 각각 일정 영역 오버랩되도록 상부에 배치되며, 상기 제1열과 상기 제2열을 이루는 상기 단위 셀들의 캐패시터가 서로 공유하는 플레이트 전극
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3근거 선택
evidence_selection청구항 2에서 플레이트 전극이 워드라인 방향으로 인접하며, 두 단위 셀 각각의 적어도 1/2씩의 폭이 오버랩된다는 구체적 배치 특징을 선택한다.
- 상기 플레이트 전극은, 워드라인 방향으로 서로 인접하며 상기 플레이트 전극의 서로 공유하는 두 단위 셀 각각의 적어도 1/2씩의폭오버랩되는것을특징으로 하는
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4논리 통합
logical_integration플레이트 전극은 제1열과 제2열의 캐패시터를 공유하는 관계에 있으며, 배치 측면에서는 워드라인 방향으로 인접하여 각 단위 셀 폭의 절반 이상씩을 오버랩하며 배치된다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 관계(캐패시터 공유 및 오버랩)와 배치 특징(워드라인 방향 인접 및 1/2 폭 오버랩)을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
플레이트 전극은 제1열 및 제2열과 각각 일정 영역 오버랩되도록 상부에 배치되며, 제1열과 제2열을 이루는 단위 셀들의 캐패시터를 서로 공유하는 관계를 가진다. 배치 특징으로는, 플레이트 전극이 워드라인 방향으로 서로 인접하면서, 서로 공유하는 두 단위 셀 각각의 폭에 대하여 적어도 1/2씩 오버랩되도록 배치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 플레이트 전극이 인접한 두 열(제1열, 제2열)의 단위 셀 캐패시터를 공유하도록 설계되어, 플레이트 전극이 각 단위 셀의 폭을 일정 비율(1/2 이상)로 오버랩하며 배치되는 구조를 특징으로 한다.