문맥 (context)
[청구항 2]
미세 패턴을 마련한 평면 기판상의 미세 패턴 결함부에 보수 페이스트를 충전하여 소성한 후에, 미세 패턴의 규정 단면에서 삐져 나온 여분의 미세 패턴 규정 단면 과잉 재료를 정형 가공하는 미세 패턴 결함 수정 장치에 있어서,
상기 보수 페이스트를 충전하는 보수 페이스트 충전 기구와,
상기 보수 페이스트를 건조 및 소성하는 페이스트 소성 기구와,
상기 미세 패턴 규정 단면 과잉 재료를 기계적으로 절삭 정형하는 기계적 절삭 정형 기구와,
미세 패턴을 마련한 평면에 수직한 방향으로 이동하는 수직 방향 이동 기구와,
상기 보수 페이스트 충전 기구 및 상기 페이스트 소성 기구 및 상기 기계적 절삭 정형 기구를 탑재한 헤드부와 상기 미세 패턴을 마련한 평면 기판을 상기 미세 패턴을 마련한 평면 기판에 평행한 평면 방향으로 상대적으로 이동시켜서 위치 결정하는 수평방향 위치 결정 기구를 구비하고,
상기 헤드부에 탑재되는 각 기구를 상기 수직 방향 이동 기구에 연동시키는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 미세 패턴 결함 수정 장치
[청구항 4]
미세 패턴을 마련한 평면 기판상의 미세 패턴 결함부에 보수 페이스트를 충전하여 소성한 후에, 미세 패턴의 규정 단면으로부터는 삐져 나온 여분의 미세 패턴 규정 단면 과잉 재료를 정형 가공하는 미세 패턴 결함 수정 장치에 있어서,
상기 보수 페이스트를 충전하는 보수 페이스트 충전 기구와,
상기 보수 페이스트를 건조 및 소성하는 보수 페이스트 소성 기구와,
상기 미세 패턴 규정 단면 과잉 재료를 기계적으로 절삭 정형하는 기계적 절삭 정형 기구와,
상기 미세 패턴 규정 단면 과잉 재료 절삭 정형시에 발생한 절삭분을 배출하는 절삭분 배출 기구와,
미세 패턴 결함부를 관찰하는 미세 패턴 결함 관찰 기구와,
미세 패턴을 마련한 평면에 수직한 방향으로 이동하는 수직 방향 이동 기구와,
상기 보수 페이스트 충전 기구 및 상기 페이스트 소성 기구 및 상기 기계적 절삭 정형 기구 및 절삭분 배출 기구 및 미세 패턴 결함 관찰 기구를 탑재한 헤드부와 상기 미세 패턴을 마련한 평면 기판을 상기 미세 패턴을 마련한 평면 기판에 평행한 평면 방향으로 상대적으로 이동시켜서 위치 결정하는 수평 방향 위치 결정 기구를 구비하고,
상기 헤드부에 탑재되는 각 기구를 상기 수직 방향 이동 기구에 연동시키는 것을 특징으로 하는 평면 기판의 미세 패턴 결함 수정 장치
[청구항 10]
제 2항 또는 제 4항에 있어서,수직 방향 이동 기구에 부착되고 기계적 절삭 정형 기구를 부착한 절삭 기준 부재와,상기 기계적 절삭 정형 기구의 선단에 부착한 미세 패턴 상면 규정 단면 과잉 재료 가공 공구와,미세 패턴 상면에 접촉시킨 미세 패턴 상면 규정 단면 과잉 재료 가공 공구의 가압력을 복수의 미세 패턴 상면이 분산하여 받아내는 절삭 기준 부재의 하단면구비한것을특징으로 하는평면 기판의 미세 패턴 결함 수정 장치.
[청구항 11]
제 2항 또는 제 4항에 있어서,수직 방향 이동 기구에 부착되고 기계적 절삭 정형 기구를 부착한 절삭 기준 부재와,상기 기계적 절삭 정형 기구의 선단에 부착한 미세 패턴 상면 규정 단면 과잉 재료 가공 공구와,미세 패턴 상면에 접촉시킨 미세 패턴 상면 규정 단면 과잉 재료 가공 공구의 가압력을 복수의 미세 패턴 상면이 분산하여 받아내는 절삭 기준 부재의 하단면과,기계적 절삭 정형 기구의 규정치 이상의 가압력을 흡수하는가압력조정기구구비한것을특징으로 하는미세 패턴 결함 수정 장치.
[청구항 12]
제 2항 또는 제 4항에 있어서,수직 방향 이동 기구에 부착되고 기계적 절삭 정형 기구를 부착한 절삭 기준 부재와,상기 기계적 절삭 정형 기구의 선단에 부착한 미세 패턴 상면 규정 단면 과잉 재료 가공 공구와,미세 패턴 상면에 접촉시킨 미세 패턴 상면 규정 단면 과잉 재료 가공 공구의 가압력을 복수의 미세 패턴 상면이 분산하여 받아내는 절삭 기준 부재의 하단면과,상기 기계적 절삭 정형 기구의 규정치 이상의 가압력을 흡수하는 가압력 조정 기구와,절삭 기준 부재에 슬라이드하는 기계적 절삭 정형 기구의 안내 부재와,상기 미세 패턴 상면 규정 단면 과잉 재료 가공 공구의 선단면의 규정치 이상의 가압력을 흡수하는절삭공구안내부재의가압력조정기구구비한것을특징으로 하는평면 기판의 미세 패턴 결함 수정 장치.
[청구항 13]
제 2항 또는 제 4항에 있어서,기계적 절삭 정형 기구가 표면에 연마 입자를 부착시킨 연마 테이프와, 사용 전의 연마 테이프를 보존하는 공급 릴과, 사용 후의 연마 테이프를 권취하는 권취 릴과, 공급 릴과 권취 릴의 중간에 있고 연마 테이프를 삐져 나온 페이스트에 꽉누르는 테이프 지지 부재로 이루어지는 연마 테이프 유닛을 왕복 운동시켜서 삐져 나온페이스트를절삭정형하는것을특징으로 하는평면 기판의 미세 패턴 결함 수정 장치.
[청구항 14]
제 2항 또는 제 4항에 있어서,기계적 절삭 정형 기구가 절삭 가공 공구를 선단에 부착하고 절삭 가공 공구를 고속으로 진동시켜서 절삭 가공하는 진동 가공기를 사용하여 삐져 나온페이스트를절삭정형하는것을특징으로 하는평면 기판의 미세 패턴 결함 수정 장치.
[청구항 15]
제 2항 또는 제 4항에 있어서,페이스트를 절삭 정형한 때에 생기는 절삭분을 흡인 배출하는부압발생기와절삭분배출구구비한것을특징으로 하는평면 기판의 미세 패턴 결함 수정 장치.
[청구항 16]
제 2항 또는 제 4항에 있어서,기계적 절삭 정형 기구가 절삭날을 갖는 회전 공구와 회전 공구를 유지하여 회전하는 회전 구동부를 구비한 기구이고, 회전 공구의 절삭날을 미세 패턴 부착 결함부 또는 삐져 나온 페이스트에 접촉시켜서결함제거하는것을특징으로 하는평면 기판의 미세 패턴 결함 수정 장치.
[청구항 17]
제 2항 또는 제 4항에 있어서,기계적 절삭 정형 기구가 연삭면을 갖는 회전 공구와 회전 공구를 유지하고 회전하는 회전 구동부를 구비한 기구이고, 회전 공구의 연삭면을 미세 패턴 형성 재료 부착 결함부 또는 삐져 나온 페이스트에 접촉시켜서결함제거하는것을특징으로 하는기판의 미세 패턴 결함 수정 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 2항 및 4항의 미세 패턴 결함 수정 장치에서 헤드부에 탑재되어 수직 방향 이동 기구와 연동되는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 2항과 4항의 헤드부에 탑재되어 수직 방향 이동 기구와 연동되는 구성 요소들을 찾아 목록으로 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2항에서 헤드부에 탑재된 기구들을 확인한다.
- 상기 보수 페이스트 충전 기구 및 상기 페이스트 소성 기구 및 상기 기계적 절삭 정형 기구를 탑재한 헤드부
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3근거 선택
evidence_selection청구항 4항에서 헤드부에 탑재된 기구들을 확인한다.
- 상기 보수 페이스트 충전 기구 및 상기 페이스트 소성 기구 및 상기 기계적 절삭 정형 기구 및 절삭분 배출 기구 및 미세 패턴 결함 관찰 기구를 탑재한 헤드부
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4논리 통합
logical_integration청구항 2항의 구성 요소와 청구항 4항의 구성 요소를 통합하여 중복을 제거하고 전체 목록을 구성한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation두 청구항에 명시된 헤드부 탑재 기구들을 모두 포함하여 답변을 작성한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소들을 리스트 형식으로 정리하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
보수 페이스트 충전 기구, 페이스트 소성 기구, 기계적 절삭 정형 기구, 절삭분 배출 기구, 미세 패턴 결함 관찰 기구
핵심 해석 (core_interpretation)
미세 패턴 결함 수정 장치의 헤드부에 탑재되어 수직 방향 이동 기구와 연동되어 작동하는 핵심 기능 기구들의 구성을 정의하고 있다.