문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 기판 상부에 형성된 층간절연막
상기 층간절연막 내에 매립된 플러그
상기 플러그를 오픈시키는 콘케이브형 홈을 갖는 몰드산화막
상기 콘케이브형 홈의 측벽에 구비된 mps 측벽
상기 콘케이브형 홈의 바닥 및 상기 mps 측벽 상에 형성된 금속막질의 스토리지노드
상기 스토리지노드 및 상기 몰드산화막 상에 형성된 유전막; 및
상기 유전막 상에 형성된 금속막질의 플레이트노드
를 포함하는 캐패시터
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기mps 측벽은,상기 콘케이브형 홈의 측벽에 직접 접하는 골격부; 및상기 골격부 표면에 형성된 mps그레인포함하는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 골격부는 도우프드 폴리실리콘막이고, 상기 mps 그레인은언도폴리실리콘막인것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 스토리지노드는티타늄나이트라이드막인것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 플러그는티타늄나이트라이드막인것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 6]
층간절연막;
상기 층간절연막 내에 매립된 플러그
상기 플러그 상부에 형성된 실린더 형태의 금속막질의 스토리지노드
상기 스토리지노드의 외주면에 형성된 mps 측벽
상기 스토리지노드 및 mps 측벽 상에 형성된 유전막; 및
상기 유전막 상에 형성된 금속막질의 플레이트노드
를 포함하는 캐패시터
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기mps 측벽은,상기 스토리지노드의 외주면을 에워싸는 골격부; 및상기 스토리지노드와 상기 골격부 사이에 형성된 mps그레인포함하는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 골격부는 도우프드 폴리실리콘막이고, 상기 mps 그레인은언도폴리실리콘막인것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 9]
제6항에 있어서,상기 스토리지노드는티타늄나이트라이드막인것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 10]
제6항에 있어서,상기 플러그는티타늄나이트라이드막인것을특징으로 하는캐패시터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1 및 청구항 2에 기재된 캐패시터에서 mps 측벽을 구성하는 골격부와 mps 그레인의 관계 및 각각의 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1 및 2를 바탕으로 mps 측벽을 구성하는 골격부와 mps 그레인의 관계 및 각각의 구성 요소를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 mps 측벽이 골격부와 mps 그레인을 포함한다는 점과 골격부 표면에 mps 그레인이 형성된다는 정보를 추출한다.
- 상기mps 측벽은,상기 콘케이브형 홈의 측벽에 직접 접하는 골격부
- 상기 골격부 표면에 형성된 mps그레인포함하는것을특징으로 하는캐패시터
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3근거 선택
evidence_selectionmps 측벽의 구성 요소인 골격부와 mps 그레인의 정의 및 위치 관계를 명시한 청구항 2의 구절을 선택한다.
- 상기mps 측벽은,상기 콘케이브형 홈의 측벽에 직접 접하는 골격부
- 상기 골격부 표면에 형성된 mps그레인포함하는것을특징으로 하는캐패시터
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4논리 통합
logical_integrationmps 측벽은 골격부와 mps 그레인으로 이루어진 계층적 구조이며, 골격부는 홈의 측벽에 접하고 mps 그레인은 골격부 표면에 형성되는 관계임을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulationmps 측벽의 구성 요소는 골격부와 mps 그레인이며, 골격부는 콘케이브형 홈의 측벽에 직접 접하고 mps 그레인은 골격부 표면에 형성되는 관계이다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성 요소와 관계를 명확히 기술하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
mps 측벽의 구성 요소는 골격부와 mps 그레인이다. 이들의 관계는 골격부가 콘케이브형 홈의 측벽에 직접 접하며, mps 그레인은 상기 골격부의 표면에 형성되는 구조이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
mps 측벽은 콘케이브형 홈의 측벽에 접하는 골격부와 그 표면에 형성된 mps 그레인으로 구성된 계층적 구조를 가진다.