문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,셉터는,플레이트와;상기 플레이트의 가장자리 상에 설치되며 상기 반도체 기판의 가장자리가 놓여지는, 그리고 상기 가이드블럭의 이동을 안내하는 가이드부가 형성된스페이서가지는것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,각각의 상기 가이드블럭은 상기 스페이서의 가이드를 따라 상기 서셉터의 반경방향으로직선이동되는것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
[청구항 4]
제 3항에 있어서,상기 가이드블럭 이동부는,수직으로 위치되며 구동부에 의해 일정각도 범위 내에서 회전되는 샤프트와;수평으로 위치되도록 상기 샤프트에 결합된 복수의 지지로드들과;일단이 상기 지지로드와 피벗(pivot)결합되고, 타단은 상기 가이드블럭에 결합되는 이동로드들을 가지되,상기 샤프트가 회전됨에 따라 상기 가이드블럭은 상기 가이드를 따라 이동하고 상기 이동로드는상기피벗을중심축회전하는것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,각각의 상기 이동로드는,상기 지지로드에 피벗 결합되는 수평부와;상기 수평부 상부로 상기 수평부에 수직하게 연결된 수직부와;수평방향으로 상기 수직부와 피벗 결합되며, 상기 가이드블럭에 결합되는결합부가지는것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 가이드블럭은 공정온도에 따라 진행위치가조절가능한것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
[청구항 7]
제 6항에 있어서,상기 가이드블럭 이동부는 상기 서셉터의 측벽에 형성된 홈에 삽입되어 상기 가이드블럭에 결합되는 이동로드를 가지고상기 이동로드와 상기 가이드블럭은 상기 가이드블럭에 형성된 삽입홀과 상기 이동로드에 형성된 삽입홀을 통해 삽입되는 볼트와 상기 볼트와 결합되는 너트에 의해 고정되며,상기 이동로드에 형성된 삽입홀은 상기 볼트의 직경보다 길게 형성하여, 상기 이동로드에 형성된 삽입홀에 삽입되는 상기 볼트의 위치를 조절함으로써상기가이드블럭의진행위치조절되는것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
[청구항 8]
제 5항에 있어서,상기 반도체 소자 제조 장치는 상기 가이드 블록이 설정된 위치로 복귀되도록 탄성력을 제공하는 탄성체를 더 구비하되,상기 탄성체는 상기 플레이트의 측면에 형성된 홈에 삽입되는, 그리고 일단이 상기 이동로드에 결합되고 타단이상기플레이트결합되는것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
[청구항 9]
제 3항에 있어서,상기 반도체 소자 제조 장치는,상기 반도체 기판이 상기 서셉터에 안정적으로 놓여져 있는지 여부를 검사하는검사부더포함하는것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 검사부는,상기 플레이트의 상부면까지 관통되도록 형성되며, 진공펌프와 연결된 진공라인과;상기 진공라인 내의 압력을 측정하는압력감지부가지는것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
[청구항 11]
제 1항에 있어서,상기 반도체 소자 제조 장치는 베이크 공정이 수행되는 설비에 사용되는장치인것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 소자 제조 장치에서 가이드블럭의 진행 위치를 조절하기 위해 사용되는 구성 요소들과 그 구체적인 조절 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가이드블럭의 진행 위치를 조절하는 구성 요소와 그 구체적인 조절 방식을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 가이드블럭의 위치 조절을 위한 구성 요소로 볼트와 너트를 확인하였다.
- 상기 이동로드와 상기 가이드블럭은 상기 가이드블럭에 형성된 삽입홀과 상기 이동로드에 형성된 삽입홀을 통해 삽입되는 볼트와 상기 볼트와 결합되는 너트에 의해 고정되며,상기 이동로드에 형성된 삽입홀은 상기 볼트의 직경보다 길게 형성하여, 상기 이동로드에 형성된 삽입홀에 삽입되는 상기 볼트의 위치를 조절함으로써상기가이드블럭의진행위치조절되는것을특징으로 하는반도체 소자 제조 장치
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3근거 선택
evidence_selection볼트, 너트, 그리고 이동로드의 삽입홀 간의 관계를 나타내는 구절을 선택하였다.
- 상기 이동로드와 상기 가이드블럭은 상기 가이드블럭에 형성된 삽입홀과 상기 이동로드에 형성된 삽입홀을 통해 삽입되는 볼트와 상기 볼트와 결합되는 너트에 의해 고정되며,상기 이동로드에 형성된 삽입홀은 상기 볼트의 직경보다 길게 형성하여, 상기 이동로드에 형성된 삽입홀에 삽입되는 상기 볼트의 위치를 조절함으로써상기가이드블럭의진행위치조절
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4논리 통합
logical_integration이동로드의 삽입홀이 볼트의 직경보다 길게 형성되어 있으므로, 볼트의 위치를 조절함으로써 가이드블럭의 위치를 조절할 수 있다는 논리를 도출한다.
- 상기 이동로드에 형성된 삽입홀은 상기 볼트의 직경보다 길게 형성하여, 상기 이동로드에 형성된 삽입홀에 삽입되는 상기 볼트의 위치를 조절함으로써상기가이드블럭의진행위치조절되는것을특징으로 하는
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5결론 도출
conclusion_formulation구성 요소는 볼트와 너트이며, 조절 방식은 이동로드의 삽입홀 내에서 볼트의 위치를 조절하는 방식임을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성 요소와 조절 방식을 포함하여 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
가이드블럭의 진행 위치를 조절하기 위해 사용되는 구성 요소는 볼트와 너트이다. 구체적인 조절 방식은 상기 이동로드에 형성된 삽입홀이 상기 볼트의 직경보다 길게 형성되어 있는 점을 이용하여, 상기 이동로드의 삽입홀에 삽입되는 볼트의 위치를 조절함으로써 가이드블럭의 진행 위치를 조절하는 방식이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
이 발명은 이동로드의 삽입홀을 볼트 직경보다 길게 설계하여, 볼트의 위치 이동을 통해 가이드블럭의 진행 위치를 정밀하게 조절할 수 있는 구조를 제공한다.