문맥 (context)
[청구항 1]
챔버;
챔버 내부에 설치되고, 상부면에 웨이퍼가 놓여지는 서셉터
상기 서셉터 와 연결되는 벨로우즈
상기 벨로우즈의 하단부와 연결되어 상기 벨로우즈를 지지하고 중심부가 관통되는 샤프트
상기 샤프트를 감싸고, 측면 하단에는 홈이 형성된 벨로우즈 고정 바
상기 벨로우즈 고정바와 이격되고, 상기 서셉터를 이동시키기 위한 리드 스크류
상기 리드 스크류와 결합되어, 상기 리드 스크류의 이동에 따라 상기 샤프트 및 벨로우즈 고정바의 위치를 이동시키는 결합 부재; 및
상기 서셉터로부터 벨로우즈 고정바까지 이어지는 열전대 라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가공 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 벨로우즈 고정바에 형성된 홈은 상기 샤프트가 장착되는부위연장된것을특징으로 하는웨이퍼 가공 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 샤프트는 일단부가 상기 벨로우즈 고정바에 형성된홈의상부연장된것을특징으로 하는웨이퍼 가공 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 열전대 라인은 상기 서셉터로부터 벨로우즈 내부, 샤프트의 관통부, 고정바, 고정바와 리드 스크류 사이의 외부 공간을 통과하여연결된것을특징으로 하는웨이퍼 가공 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 가공 장치에서 리드 스크류의 이동에 따라 위치가 함께 이동되는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리드 스크류의 이동에 따라 위치가 함께 이동되는 구성 요소들을 찾아 목록 형태로 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 리드 스크류와 결합되어 이동을 전달하는 구성 요소와 그에 따라 이동되는 대상을 확인한다.
- 상기 리드 스크류와 결합되어, 상기 리드 스크류의 이동에 따라 상기 샤프트 및 벨로우즈 고정바의 위치를 이동시키는 결합 부재
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3근거 선택
evidence_selection리드 스크류의 이동에 따라 위치가 이동된다고 명시된 구성 요소인 '샤프트'와 '벨로우즈 고정바'를 선택한다.
- 상기 리드 스크류의 이동에 따라 상기 샤프트 및 벨로우즈 고정바의 위치를 이동시키는
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4논리 통합
logical_integration결합 부재가 리드 스크류와 결합되어 샤프트와 벨로우즈 고정바를 함께 이동시킨다는 인과 관계를 파악한다.
- 상기 리드 스크류와 결합되어, 상기 리드 스크류의 이동에 따라 상기 샤프트 및 벨로우즈 고정바의 위치를 이동시키는 결합 부재
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 이동되는 구성 요소는 샤프트와 벨로우즈 고정바임을 결론짓는다.
- 상기 샤프트 및 벨로우즈 고정바의 위치를 이동시키는
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소들을 리스트 형식으로 정리하여 최종 답변을 작성한다.
- 상기 샤프트 및 벨로우즈 고정바
최종 답변 (final_answer)
샤프트, 벨로우즈 고정바
핵심 해석 (core_interpretation)
리드 스크류와 결합 부재를 이용하여 샤프트와 벨로우즈 고정바의 위치를 제어함으로써 서셉터의 이동을 구현하는 기술적 구성에 관한 것이다.