적외선 검출기와 그를 이용한 적외선 화상 검출기 document_id 1020030058716

[청구항 2] 제1항에 있어서,베이스 부재의 표면에 오목부를 마련하고, 이 오목부 내에 상기 검지부를 상기 지지 다리를 거쳐서설치하여이루어지는것을특징으로 하는적외선 검출기. [청구항 3] 제1항에 있어서,열전도성 가동체부는 베이스 부재에 고정된 기둥과, 이 기둥으로부터 상기 검지부의 상부로 연장되어 일단부가 자유단부를 형성하고, 상기 베이스 부재와 상기 검지부 사이의 열 이동을 가능하게 하는편측빔으로한것을특징으로 하는적외선 검출기. [청구항 4] 제3항에 있어서,열전도성 가동체부는상기자유단부와상기기둥사이를전기전도성재료구성한것을특징으로 하는적외선 검출기. [청구항 5] 제4항에 있어서,열전도성 가동체부는 상기 자유단부와 상기 기둥 사이에 제어 전극을 상기 베이스 부재 상에 설치하여 상기 전기 전도성 재료로 구성한 부분과 상기 제어 전극 사이의 정전기의 흡입력으로 상기 검지부와 상기 베이스 부재를 열적으로 접속하고, 상기 검지부의 열을 상기 베이스 부재에 방열하도록구성한것을특징으로 하는적외선 검출기. [청구항 6] 제4항에 있어서,열전도성 가동체부는 상기 제어 전극을 상기 검지부 단부측에 설치하여 상기 전기 전도성 재료로 구성한 부분과 상기 제어 전극 사이의 정전기의 흡입력으로 상기 검지부와 상기 베이스 부재를 열적으로 접속하여 상기 검지부의 열을 상기 베이스 부재에 방열하도록구성한것을특징으로 하는적외선 검출기. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 검지부는 적외선을 흡수하는 적외선 흡수층과, 이 적외선 흡수층에 있어서 발생한 열을 전기 신호로 변환하는열전변환부더구비하여이루어지는것을특징으로 하는적외선 검출기. [청구항 8] 제7항에 있어서,적외선 흡수층은 상기 열전변환부 상에 적층하여구성하여이루어지는것을특징으로 하는적외선 검출기. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 검지부는 상기 적외선 흡수층과 상기 열전변환부를 열적으로 접속하고, 또한 상기 적외선 흡수층을 상기 열전변환부에 대해 전기적으로 지지하는지지부더구비하여이루어지는것을특징으로 하는적외선 검출기. [청구항 11] 제10항에 있어서,베이스 부재의 표면에 오목부를 마련하고, 이 오목부 내에 상기 검지부를 상기 지지 다리를 거쳐서설치하여이루어지는것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 12] 제10항에 있어서,열전도성 가동체부는 상기 베이스 부재에 고정된 기둥과, 상기 기둥으로부터 상기 검지부의 상부로 연장되어 일단부가 자유단부를 형성하고, 상기 베이스 부재와 상기 검지부 사이의 열이동을 가능하게 하는편측빔으로한것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 13] 제12항에 있어서,열전도성 가동체부는상기자유단부와상기기둥사이를전기전도성의재료구성한것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 14] 제13항에 있어서,열전도성 가동체부는 상기 자유단부와 상기 기둥 사이에 제어 전극을 상기 베이스 부재 상에 설치하여 상기 전기 전도성 재료로 구성한 부분과 상기 제어 전극 사이의 정전기의 흡입력으로 상기 검지부와 상기 베이스 부재를 열적으로 접속하고, 상기 검지부의 열을 상기 베이스 부재에 방열하도록구성한것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 15] 제13항에 있어서,열전도성 가동체부는 상기 제어 전극을 상기 검지부 단부측에 설치하여 상기 전기 전도성 재료로 구성한 부분과 상기 제어 전극 사이의 정전기의 흡입력으로 상기 검지부와 상기 베이스 부재를 열적으로 접속하고, 상기 검지부의 열을 상기 베이스 부재에 방열하도록구성한것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 16] 제10항에 있어서,상기 검지부는 적외선을 흡수하는 적외선 흡수층과, 이 적외선 흡수층에 있어서 발생한 열을 전기 신호로 변환하는열전변환부더구비하여이루어지는것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 17] 제16항에 있어서,적외선 흡수층은 상기 열전변환부 상에 적층하여구성하여이루어지는것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 검지부는 상기 적외선 흡수층과 상기 열전변환부를 열적으로 접속하고, 또한 상기 적외선 흡수층을 상기 열전변환부에 대해 기계적으로 지지하는지지부더구비하여이루어지는것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 기계적 스위칭 소자는, 상기 베이스 부재의 표면에 배치된 가동부 배선에 전기적으로 접속되며 또한 상기 베이스 부재에 고정단이 고정되고, 상기 고정단측으로부터 상기 검지부의 상부로 자유단이 연재되는 외팔보 구조의 도전성 가동부와, 상기 베이스 부재의 표면에 배치된 제어 전극 배선에 전기적으로 접속되며 또한 상기 베이스 부재의 표면에서 상기 고정단과 자유단의 사이에 배치된 제어 전극을 구비하고, 상기 가동부 배선을 통해 상기 가동부에 공급되는 전압과 상기 제어 전극 배선을 통해 상기 제어 전극에 공급되는 전압을 조정함으로써, 정전 인력으로 상기 자유단을 상기 검지부에접촉근접시키는것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 21] 제19항에 있어서,상기 기계적 스위칭 소자는, 상기 베이스 부재의 표면에 배치된 가동부 배선에 전기적으로 접속되며 또한 상기 베이스 부재에 고정단이 고정되고, 상기 고정단측으로부터 상기 검지부의 상부로 자유단이 연재되는 외팔보 구조의 도전성 가동부와, 상기 베이스 부재의 표면에 배치된 제어 전극 배선에 전기적으로 접속되며 또한 상기 검지부의 표면에 배치된 제어 전극을 구비하고, 상기 가동부 배선을 통해 상기 가동부에 공급되는 전압과 상기 제어 전극 배선을 통해 상기 제어 전극에 공급되는 전압을 조정함으로써, 정전 인력으로 상기 자유단을 상기 검지부에접촉근접시키는것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 22] 제19항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,상기 검지부는, 상기 적외선을 흡수하는 적외선 흡수층과, 상기 적외선 흡수층에서 발생한 열을 상기 전기 신호로 변환시키는 열전 변환부와, 상기 적외선 흡수층과 상기 열전 변환부를 열적으로 접속하며 또한 상기 적외선 흡수층을 상기 열전 변환부에 대하여 기계적으로 지지하는지지부구비하는것을특징으로 하는적외선 화상 검출기. [청구항 23] 제19항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,상기 검지부는, 상기 도전성 가동부의 상방에 배치되어 상기 적외선을 흡수하는 적외선 흡수층과, 상기 도전성 가동부의 하방에 배치되어 상기 적외선 흡수층에서 발생한 열을 상기 전기 신호로 변환시키는 열전 변환부와, 상기 적외선 흡수층과 상기 열전 변환부를 열적으로 접속하며 또한 상기 적외선 흡수층을 상기 열전 변환부에 대하여 기계적으로 지지하는지지부구비하는것을특징으로 하는적외선 화상 검출기.