반도체 처리장치 document_id 1020030062706

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 영상촬영장치(910)의 하부에 배치되어진 웨이퍼프레임 탑재부(411)가 웨이퍼프레임 작업테이블(410)에 회전가능하게 설치되고, 웨이퍼프레임 탑재부(411)를 회동시키는웨이퍼프레임탑재부회전장치구비되어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 웨이퍼프레임 클램핑기구(430)는, 공압실린더(431)와, 공압실린더(431)에 의해 z축방향으로 이동되는 푸셔(432), 웨이퍼프레임 탑재부(411)에 회전가능하게 고정되어 푸셔(432)에 의해 강제회동되는 회동편(433) 및, 회동편(433)을 일방향으로 탄발지지하는스프링이루어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 반도체 제1이송장치(500)는, 웨이퍼프레임(10)의 테이프(12)로부터 떼어내어진 반도체(21)를 흡착하여 이를 z축방향으로 들어올리는 반도체 픽업기구(510)와 ; 반도체 픽업기구(510)를 y축방향으로 이동시키는 y축방향 구동기구(520) 및; y축방향 구동기구(520)를 x축방향으로 이동시키는 x축방향구동기구이루어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 반도체 제1이송장치(500)에 웨이퍼프레임 픽업기구(820)가 설치되어, 분리작업 완료된 반도체 분리장치(400)의 웨이퍼프레임(10)이 반도체 제1이송장치(500)에 의해 x축방향으로 이동되는 웨이퍼프레임 픽업기구(820)에 의해서웨이퍼프레임공급장치반송되는것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 반도체 제1이송장치(500)의 하부에 배치되어, 반도체 제1이송장치(500)에 의해 이송되어진 반도체(21)가 임시 안착되는 반도체 임시 안착수단(600,600')과 ; 반도체 임시 안착수단(600,600')의 상부에 배치되어, 반도체 임시 안착수단(600,600')에 안착되어진 반도체(21)를 적재방향으로 이송하는반도체제2이송장치보강되어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 반도체 임시 안착수단(600,600')은, 반도체 제1이송장치(500)에 의해 이송되어진 반도체(21)가 임시 안착되는 안착블럭(610)과, 안착블럭(610)을 y축방향으로 이동시키는 y축방향 구동기구(620)로 이루어지고, 반도체 임시 안착수단(600,600')의 상부에 반도체(21)의 윗면 촬영을 위한영상촬영장치설치되어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 반도체 임시 안착수단이 한 쌍(600,600')으로 구비되어 x축방향을 따라 순차적으로 배치되고, 영상촬영장치(920)를 x축방향으로 이동시키는 x축방향구동기구설치되어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 반도체 제2이송장치(700)는, 임시 안착수단(600)에 안착되어진 반도체(21)를 흡착하여 이를 z축방향으로 들어올리는 반도체 픽업기구(710)와, 반도체 픽업기구(710)를 x축방향으로 구동하는 x축방향 구동기구(730)로 이루어지고,튜브타입의반도체적재장치구비되어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 반도체 제2이송장치(700)에 반도체 픽업기구(710)를 y축방향으로 구동하는 y축방향 구동기구(720)가 보강 구비되어, y축방향 구동기구(720)가 x축방향 구동기구(730)에 의해 x축방향으로 구동되고,트레이타입의반도체적재장치구비되어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 반도체 제2이송장치(700)의 y축방향 구동기구(720)와 x축방향 구동기구(730)는, 구동모터(721 ; 731)와, 구동모터(731 ; 731)에 의해 회동되는 스크류축(722 ; 732) 및, 스크류축(722 ; 732)에 맞물리는 너트(723a ; 733a)를 갖추고서 스크류축(722 ; 732)을 따라 직선 이동되는 이동블럭(723 ; 733)으로 이루어지되, x축방향 구동기구(730)의 이동블럭(733)의 양쪽선단이 x축방향으로 평행하게 배치되어진 한 쌍의 가이드레일(61,64)에 각각 이동가능하게지지되는것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 12] 제4항과 제9항 또는 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반도체 픽업기구(510 ; 710)는, 반도체(21)를 낱개별로 흡착하는 다수의 흡착기구(511)와, 흡착기구(511)를 개별적으로 z축방향으로 직선 왕복이동시키는 제1구동기구(512), y축방향 구동기구(520 ; 720)의 이동블럭(523 ; 723)에 고정되어 제1구동기구(512)를 z축방향으로 직선 왕복이동시키는 제2구동기구(513)로 이루어지고 ; z축방향 제1구동기구(512)는, 공압실린더(512a)와, 공압실린더(512a)의 피스톤로드(512a')에 고정되는 이동블럭(512b)로 이루어지며 ; z축방향 제2구동기구(513)는, 구동모터(513a)와, 구동모터(513a)에 의해 회동되는 스크류축(513b) 및, 스크류축(513b)에 맞물리는 너트(513c')를 갖추고서 스크류축(513b)을 따라 직선 이동되는 이동블럭(513c)으로 이루어져서 ; 상기 흡착기구(511)는 제1구동기구(512)에 의해 반도체(21) 흡착여부가 선택되어지며, 상기 제2구동기구(513)에 의해 상·하사점 으로의속도조절되는것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 반도체 픽업기구(510 ; 710)를 y축방향으로 구동하는 y축방향 구동기구(520 ; 720)는, 구동모터(521 ; 721)와, 구동모터(521 ; 721)에 의해 회동되는 스크류축(522 ; 722) 및, 스크류축(522 ; 722)에 맞물리는 너트(523a ; 723a)를 갖추고서 스크류축(522 ; 722)을 따라 직선 이동되는 이동블럭(523 ; 723)으로 이루어지되 ; 반도체 픽업기구(510 ; 710)의 흡착기구(511)가 z축방향으로 이동시 y축방향으로 이동되도록, 반도체 픽업기구(510 ; 710)의 제1·2구동기구(512,513)와 y축방향 구동기구(520 ; 720)가작동제어되는것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 14] 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반도체 제1이송장치(500)나 반도체 제2이송장치(700)의 하부에 반도체(21)의 저면촬영을 위한 영상촬영장치(930)와, 불량 반도체를 수거하는 수거부보강되어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 영상촬영장치(930)는 반도체 픽업기구(710)가 정위치된 상태에서 이에 부착되어진 반도체(21)를 검사할 수 있도록 수평이동가능하게설치되어진것을특징으로 하는반도체 처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 영상촬영장치(930)에수거부설치되어진것을특징으로 하는반도체 처리장치.