문맥 (context)
[청구항 1]
웨이퍼가 안착되는 연마 패드가 구비되어 있는 평탄화 설비를 세정하는 장치에 있어서
상기 연마 패드의 상부에 위치되어 회전 가능하게 형성된 아암
상기 연마 패드 상에 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 하단부에 길이방향으로 부착된 제1 노즐들; 및
상기 연마 패드의 중심부까지 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 외측단에 부착된 제2 노즐
을 포함함을 특징으로 하는 세정장치
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 아암의 하단부는 상기 연마 패드의 에지방향으로 연장되고,상기연마패드의표면형성됨을특징으로 하는세정장치.
[청구항 3]
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 아암의 하단부는 상기 연마 패드의 에지부까지 유체를 분사하는노즐포함함을특징으로 하는세정장치.
[청구항 4]
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 아암의 하단부 사이즈는 350㎜로구비됨을특징으로 하는세정장치.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 아암의 상단부 사이즈는 370㎜로구비됨을특징으로 하는세정장치.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 아암은 상기 제1 및 제2 노즐까지 유체를 전달하는통로포함함을특징으로 하는세정장치.
[청구항 7]
제 1항에 있어서,상기 제2 노즐은 하방향과 일정각도가유지되게형성됨을특징으로 하는세정장치.
[청구항 8]
제 1항에 있어서,상기 유체는탈이온수사용함을특징으로 하는세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
세정장치의 아암에 부착된 제1 노즐과 제2 노즐은 각각 어떠한 위치에서 유체를 분사하도록 구성되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation세정장치의 아암에 부착된 제1 노즐과 제2 노즐의 각각의 유체 분사 위치를 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제1 노즐과 제2 노즐의 부착 위치 및 분사 목적에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 연마 패드 상에 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 하단부에 길이방향으로 부착된 제1 노즐들; 및 상기 연마 패드의 중심부까지 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 외측단에 부착된 제2 노즐
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3근거 선택
evidence_selection제1 노즐은 아암의 하단부에 부착되어 연마 패드 상에 유체를 분사하며, 제2 노즐은 아암의 외측단에 부착되어 연마 패드의 중심부까지 유체를 분사한다는 구절을 선택한다.
- 상기 연마 패드 상에 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 하단부에 길이방향으로 부착된 제1 노즐들; 및 상기 연마 패드의 중심부까지 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 외측단에 부착된 제2 노즐
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4논리 통합
logical_integration제1 노즐은 아암 하단부에서 연마 패드 상으로, 제2 노즐은 아암 외측단에서 연마 패드 중심부로 유체를 분사하도록 구성됨을 통합한다.
- 상기 연마 패드 상에 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 하단부에 길이방향으로 부착된 제1 노즐들; 및 상기 연마 패드의 중심부까지 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 외측단에 부착된 제2 노즐
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5결론 도출
conclusion_formulation제1 노즐은 연마 패드 상에 유체를 분사하고, 제2 노즐은 연마 패드의 중심부까지 유체를 분사한다.
- 상기 연마 패드 상에 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 하단부에 길이방향으로 부착된 제1 노즐들; 및 상기 연마 패드의 중심부까지 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 외측단에 부착된 제2 노즐
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 직접적인 답변을 작성한다.
- 상기 연마 패드 상에 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 하단부에 길이방향으로 부착된 제1 노즐들; 및 상기 연마 패드의 중심부까지 유체를 분사하기 위해 상기 아암의 외측단에 부착된 제2 노즐
최종 답변 (final_answer)
제1 노즐은 연마 패드 상에 유체를 분사하기 위해 아암의 하단부에 길이방향으로 부착되어 있으며, 제2 노즐은 연마 패드의 중심부까지 유체를 분사하기 위해 아암의 외측단에 부착되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 아암의 하단부에 위치한 제1 노즐과 외측단에 위치한 제2 노즐을 통해 연마 패드의 표면 및 중심부까지 효율적으로 유체를 분사하는 세정장치에 관한 것이다.