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반도체 제조 설비용 베이크 오븐 document_id 1020030070370

출원번호
1020030070370
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 일측벽에 챔버 개폐문이 설치된 오븐 본체 상기 본체 내부에서 회전가능하게 설치되며 그 상면에 케리어박스를 로딩시키는 회전로딩판 상기 회전로딩판 중앙부에 설치되는 회전축 상기 회전축 하부에 설치되어 동력을 발생시키는 모터; 및 상기 오븐 본체의 회전동작을 제어하는 동작제어기를 포함하는 것을 특징으로하는 반도체 제조 설비용 베이크 오븐 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 회전 로딩판 상면의 중앙부에서 방사형태로 배치되고 상기 케리어박스가 로딩될 각 영역을 구분시키는영역구분부재더포함하는것을특징으로하는반도체 제조설비용 베이크 오븐. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 로딩판 상면 외주부에 설치되고 상기 케리어박스의 유닛별 번호를 표시하는영역인식표더포함하는것을특징으로하는반도체 제조설비용 베이크 오븐. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 모터는양방향 회전이루어지는것을특징으로하는반도체 제조설비용 베이크 오븐. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 동작제어기는 상기 모터와 유선(有線연결됨을특징으로 하는반도체 제조설비용 베이크 오븐. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 동작제어기는 상기 회전로딩판의 회전방향을 선택하는방향설정버튼마련된것을특징으로 하는반도체 제조설비용 베이크 오븐. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 동작제어기는 상기 회전 로딩판의 회전 위치를 나타내는위치표시부마련되는것을특징으로하는반도체 제조설비용 베이크오븐.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
반도체 제조 설비용 베이크 오븐에서 케리어박스가 로딩될 각 영역을 구분하기 위해 회전로딩판 상면에 추가로 설치되는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    회전로딩판 상면에 설치되어 케리어박스가 로딩될 각 영역을 구분하는 구성요소를 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 2에서 회전 로딩판 상면의 중앙부에서 방사형태로 배치되어 영역을 구분하는 구성요소에 대한 언급을 확인한다.

    • 상기 회전 로딩판 상면의 중앙부에서 방사형태로 배치되고 상기 케리어박스가 로딩될 각 영역을 구분시키는 영역구분부재
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 '영역을 구분하기 위해 추가로 설치되는 구성요소'와 직접적으로 일치하는 '영역구분부재'를 선택한다.

    • 상기 케리어박스가 로딩될 각 영역을 구분시키는 영역구분부재
  4. 4논리 통합logical_integration

    청구항 2의 내용을 바탕으로, 회전로딩판 상면에 방사형으로 배치되어 영역을 구분하는 부재의 명칭이 영역구분부재임을 도출한다.

    • 상기 회전 로딩판 상면의 중앙부에서 방사형태로 배치되고 상기 케리어박스가 로딩될 각 영역을 구분시키는 영역구분부재
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 답변으로 '영역구분부재'를 확정한다.

    • 영역구분부재
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 핵심 용어인 영역구분부재를 최종 답변으로 생성한다.

    • 영역구분부재
최종 답변 (final_answer)
영역구분부재
핵심 해석 (core_interpretation)
회전로딩판 상면에 방사형으로 배치된 영역구분부재를 통해 케리어박스가 로딩될 위치를 구획하여 관리할 수 있는 기술적 특징을 포함한다.