문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,트릭형 투영광학계는6개이상의미러포함하는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,트릭형 투영광학계는 화상면으로부터 광경로를 따라서 상기 제 2미러와 제 4미러 사이에중간화상형성하는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,트릭형 투영광학계는 화상면으로부터 광경로를 따라서 상기 제 3미러에중간화상형성하는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 5]
제 1항에 있어서,상기 화상면으로부터 광경로를 따라서 상기 제 4미러는최대유효직경가지는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,각각의 미러에서 광축으로부터 본 광경로를 따라서 화상면으로부터 상기 제 4미러에서 상기 제 1미러까지의 주광선의 변위 높이방향은, 화상면으로부터 광경로를 따라서 물체면에서 상기 제 4미러까지의주광선의변위높이방향역방향인것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 7]
제 1항에 있어서,트릭형 투영광학계의 미러 전체는, euv광을 반사하는 다층막을 가지는비구면미러인것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 8]
제 1항에 있어서,트릭형 투영광학계는 화상면 위에 캐터옵트릭형마스크배치하는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 9]
제 1항에 있어서,트릭형 투영광학계는 물체면측을 비텔레센트릭하게형성하는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,물체면으로부터 방출된 광은 물체면으로부터 광경로를 따라서 5°내지 10°의 입사각으로제1미러입사되는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 11]
제 1항에 있어서,화상면의 측의 노광영역은 0.8mm이상의슬릿폭가지는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 12]
제 1항에 있어서,트릭형 투영광학계는, 화상면으로부터 물체면까지의 순서로, 제 2미러와, 제 4미러와, 제 3미러 및 제 1미러를 포함하고, 상기 제 3미러와 제 4미러 사이에중간화상형성하는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 15]
제 14항에 있어서,트릭형 투영광학계는 상기 패턴으로부터 반사된광을화상면위투영하는것을특징으로 하는노광장치.
[청구항 17]
제 16항에 있어서,트릭형 투영광학계는 화상면의 측에서 0.25이상의개구수가지는것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
[청구항 18]
제 16항에 있어서,6개의 미러의 각각의 유효직경nan은이하인것을특징으로 하는캐터옵트릭형 투영광학계.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 근거를 종합하여 자연스러운 문장으로 설명하라.
질문 (question)
캐터옵트릭형 투영광학계에서 화상면으로부터 물체면까지의 미러 배치 순서와 제3미러와 제4미러 사이의 중간화상 형성 여부는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation캐터옵트릭형 투영광학계의 미러 배치 순서(화상면에서 물체면 방향)와 제3미러와 제4미러 사이의 중간화상 형성 여부를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 미러의 배치 순서와 중간화상 형성 여부에 관한 정보를 추출한다.
- 화상면으로부터 물체면까지의 순서로, 제 2미러와, 제 4미러와, 제 3미러 및 제 1미러를 포함하고, 상기 제 3미러와 제 4미러 사이에 중간화상 형성하는 것
-
3근거 선택
evidence_selection미러 순서와 중간화상 위치를 명시한 청구항 12의 구절을 핵심 근거로 선택한다.
- 화상면으로부터 물체면까지의 순서로, 제 2미러와, 제 4미러와, 제 3미러 및 제 1미러를 포함하고, 상기 제 3미러와 제 4미러 사이에 중간화상 형성하는 것
-
4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 화상면에서 물체면으로의 순서는 제2미러, 제4미러, 제3미러, 제1미러이며, 제3미러와 제4미러 사이에 중간화상이 형성됨을 확인한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 미러 배치 순서와 중간화상 형성 여부를 정리한다.
-
6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
캐터옵트릭형 투영광학계에서 화상면으로부터 물체면까지의 미러 배치 순서는 제 2미러, 제 4미러, 제 3미러, 제 1미러 순이며, 제 3미러와 제 4미러 사이에 중간화상이 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 특정 미러 배치 순서(제2, 제4, 제3, 제1미러)를 통해 제3미러와 제4미러 사이에 중간화상을 형성하는 캐터옵트릭형 투영광학계의 구조를 정의한다.