문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 테이퍼면의 평균 표면조도는 1.6㎛이하인것을특징으로 하는열처리 서셉터.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 경사면의 평균 표면조도는 1.6㎛이하인것을특징으로 하는열처리 서셉터.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 테이퍼면의 평균 표면조도는 1.6㎛이하인것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,다수개의 램프 각각은, 크세논 플래쉬 램프(xenon flash lamp)이고, 상기 유지부재는 유지된 기판을 예열하는예비히터더구비하는것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 적치면에 대한 상기 제1테이퍼면의 구배는 5°이상미만인것을특징으로 하는열처리 서셉터.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 제1테이퍼면의 평균 표면조도는 1.6㎛이하인것을특징으로 하는열처리 서셉터.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 적치면에 대한 상기 제2테이퍼면의 구배는 45°이상미만인것을특징으로 하는열처리 서셉터.
[청구항 13]
제12항에 있어서,다수개의 램프 각각은 크세논 플래쉬 램프이고, 상기 유지부재는 유지된 기판을 예열하는예비히터더구비하는것을특징으로 하는열처리 장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 기판이 열팽창될 때 상기 기판의 표면만 팽창하여휘어지는것을특징으로 하는열처리 서셉터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열처리 장치에서 다수개의 램프가 크세논 플래쉬 램프(xenon flash lamp)로 구성될 때, 유지부재가 추가로 구비하는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation열처리 장치의 램프가 크세논 플래쉬 램프일 때, 유지부재가 추가로 갖는 구성 요소를 찾는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7번과 13번에서 램프가 크세논 플래쉬 램프인 경우의 유지부재 구성을 확인한다.
- 다수개의 램프 각각은, 크세논 플래쉬 램프(xenon flash lamp)이고, 상기 유지부재는 유지된 기판을 예열하는예비히터더구비하는것을특징으로 하는열처리 장치
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3근거 선택
evidence_selection유지부재가 추가로 구비하는 구성 요소인 '예비히터'에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 유지부재는 유지된 기판을 예열하는예비히터더구비하는것
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4논리 통합
logical_integration램프가 크세논 플래쉬 램프라는 조건과 유지부재가 예비히터를 더 구비한다는 기술적 특징을 결합한다.
- 상기 유지부재는 유지된 기판을 예열하는예비히터더구비하는것
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5결론 도출
conclusion_formulation유지부재가 추가로 구비하는 구성 요소는 기판을 예열하는 예비히터임을 도출한다.
- 상기 유지부재는 유지된 기판을 예열하는예비히터더구비하는것
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 예비히터를 제시한다.
- 예비히터
최종 답변 (final_answer)
예비히터
핵심 해석 (core_interpretation)
크세논 플래쉬 램프를 사용하는 열처리 장치에서, 유지부재에 기판 예열을 위한 예비히터를 추가로 구성하여 열처리 효율을 높이는 기술적 특징을 나타낸다.