문맥 (context)
[청구항 2]
게이트 도어로 연결되는 공정 챔버
상기 공정 챔버에 평행한 수직 상태로 내장되어, 쉐도우 마스크 및 기판을 각각 장착하는 쉐도우 마스크 트레이 및 기판 트레이
상기 쉐도우 마스크 트레이 및 기판 트레이를 각각 평행한 상태로 직선 이동시키는 쉐도우 마스크 트레이 운반 수단 및 기판 트레이 운반 수단
상기 쉐도우 마스크 트레이 운반 수단 및 기판 트레이 운반 수단에 의하여 이동되는 쉐도우 마스크 및 기판을 각각 정렬하는 쉐도우 마스크/기판 정렬 수단
상기 쉐도우 마스크/기판 정렬 수단에 의하여 정렬된 쉐도우 마스크와 기판을 상호 합착시키도록 쉐도우 마스크 트레이와 기판 트레이를 상호 대향 방향으로 이동시키는 쉐도우 마스크 트레이 홀더 및 기판 트레이 홀더; 및
상기 쉐도우 마스크 트레이 홀더 및 기판 트레이 홀더에 의하여 상호 합착된 쉐도우 마스크/기판의 쉐도우 마스크 측에서 수직 승강 작동되면서 성막 공정을 진행하는 증착원을 포함하는 유기 발광 소자의 수직 증착 장치
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 쉐도우 마스크 트레이 운반 수단은, 상기 쉐도우 마스크 트레이의 하측에 구비되는 구동부; 상기 구동부에 의하여 진행되는 쉐도우 마스크 트레이의 자세를 안정시키고 쉐도우 마스크 트레이가 승강 가능하도록 쉐도우 마스크 트레이 상방 양측을 지지하는 상측 가이드; 및 상기 상측 가이드로 지지되어 공정 챔버 내에서 소정의 위치에 정지되는 쉐도우 마스크 트레이를 승강시키도록 쉐도우 마스크 트레이의 하측에 구비되는승강부를포함하는유기 발광 소자의 수직 증착 장치.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 기판 트레이 운반 수단은, 상기 기판 트레이의 하측에 구비되는 구동부; 상기 구동부에 의하여 진행되는 기판 트레이의 자세를 안정시키고 기판 트레이가 승강 가능하도록 기판 트레이 상방 양측을 지지하는 상측 가이드; 및 상기 상측 가이드로 지지되어 공정 챔버 내에서 소정의 위치에 정지되는 기판 트레이를 승강시키도록 기판 트레이의 하측에 구비되는승강부를포함하는유기 발광 소자의 수직 증착 장치.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 기판 트레이 홀더는, 쉐도우 마스크/기판 합착 시 기판 측에서 쉐도우 마스크 측으로 자력을 제공하는 보조 합착 기구더 포함하는유기 발광 소자의 수직 증착 장치.
[청구항 6]
제 2 항에 있어서,상기 증착원은, 선형 도가니에 내장되어 열을 발생시키는 가열원;상기 가열원의 열이 기판 및 쉐도우 마스크로 복사되는 것을 방지하기 위하여 가열원의 외곽에 구비되는 제1 방열/냉각부;유기물 증발류를 기판 및 쉐도우 마스크 방향으로 전환시키는 유도로;상기 유도로의 열이 쉐도우 마스크로 복사 전달되는 것을 방지하기 위하여 유도로의 외곽에 구비되는 제2 방열/냉각부; 및상기 유도로의 선단에 구비되어 유기물 증발류를 기판에 균일하게 방사하는 노즐을 포함하고, 상기 증착원을 수직 방향으로 승강시키면서 기판 전체를 성막하도록 상기 제1 방열/냉각부에 구비되는 구동부더욱 포함하는유기 발광 소자의 수직 증착 장치.
[청구항 7]
제 2 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 증착원은, 성막 공정이 진행되지 않는 동안 증착원을 머물게 하여, 예정된 성막율을 유지시키는 증착원용 버퍼 챔버더 구비하는유기 발광 소자의 수직 증착 장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 증착원 및 상기 증착원용 버퍼 챔버는,각각 성막된 막 두께를 측정하여 기 지정된 성막 조건이 달성되도록 증착원을 조절하는 막 두께 측정기내장하고 있는유기 발광 소자의 수직 증착 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 막 두께 측정기는, 상기 증착원에 구비되며, 유기물의 증발 정도를 관측하면서 상기 증착원과 이동되며 공증착 시 개별 물질의 증착율 비율을 실시간으로 제어하는이동식증착율측정기인것을포함하는유기 발광 소자의 수직 증착 장치.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 막 두께 측정기는, 상기 증착원용 버퍼 챔버 내에 구비되며, 선형 도가니에서 나오는 전체 증발율이 성막 공정에 적합한 지의 여부를 판단 및 제어하기 위한고정식증착률측정기인것을포함하는유기 발광 소자의 수직 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
유기 발광 소자의 수직 증착 장치에서 증착원이 성막 공정을 진행할 때, 가열원의 열이 기판 및 쉐도우 마스크로 복사되는 것을 방지하기 위해 구성되는 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가열원의 열이 기판 및 쉐도우 마스크로 복사되는 것을 방지하기 위해 구성된 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 증착원의 구성 요소 중 열 복사 방지와 관련된 내용을 추출한다.
- 가열원의 열이 기판 및 쉐도우 마스크로 복사되는 것을 방지하기 위하여 가열원의 외곽에 구비되는 제1 방열/냉각부
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '가열원의 열 복사 방지'에 직접적으로 대응하는 구절을 선택한다.
- 가열원의 외곽에 구비되는 제1 방열/냉각부
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4논리 통합
logical_integration추출된 '제1 방열/냉각부'가 가열원의 열 복사를 방지하는 역할을 수행함을 확인한다.
- 가열원의 열이 기판 및 쉐도우 마스크로 복사되는 것을 방지하기 위하여 가열원의 외곽에 구비되는 제1 방열/냉각부
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5결론 도출
conclusion_formulation가열원의 열 복사를 방지하는 요소는 제1 방열/냉각부임을 결론짓는다.
- 가열원의 외곽에 구비되는 제1 방열/냉각부
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 제1 방열/냉각부를 제시한다.
- 제1 방열/냉각부
최종 답변 (final_answer)
제1 방열/냉각부
핵심 해석 (core_interpretation)
증착원의 가열원에서 발생하는 열이 기판 및 쉐도우 마스크로 복사되어 영향을 주는 것을 막기 위해 가열원 외곽에 제1 방열/냉각부를 구성한다.