문맥 (context)
[청구항 1]
유저(user)로부터 진동조건을 입력받아 제1전기신호를 출력하는 조건입력부
상기 제1전기신호를 포함하는 두 개의 제어부입력신호를 입력받아 이를 상호 비교하여 보상된 출력신호인 제2전기신호를 출력하는 제어부
상기 제2전기신호를 입력받아 상기 진동조건에 대응되는 주파수 및 앰플리튜드(amplitude)를 가지는 제3전기신호를 출력하는 초음파 제네레이터
상기 제3전기신호를 입력받아 상기 제3전기신호에 대응되는 제1기계적 진동을 발생시키는 트랜스듀서 혼(transducer horn)
반도체 패키지의 와이어본딩에 사용되는 와이어(wire)를 지지하고, 하단부에 마련된 개구부를 통해 상기 와이어를 배출시키며, 상기 트랜스듀서 혼과 연결되어 상기 트랜스듀서 혼에서 발생되는 제1기계적 진동을 전달받아 상기 와이어로 제2기계적 진동을 전달하는 캐필러리(capillary)
상기 와이어가 부착될 반도체 패키지의 본딩패드 상으로 상기 캐필러리를 이동시키는 캐필러리 이송부; 및
상기 제2기계적 진동을 검출하고, 상기 제2기계적 진동을 상기 제어부입력신호 중에서 상기 제1전기신호를 제외한 나머지에 해당하는 제4전기신호로 변환하여 상기 제어부로 출력하는 진동센서
를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 와이어본딩 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 제1 및 제4전기신호를 입력받아 이를 상호 비교하는 비교기 및 상기 비교기로부터 출력된 전기신호를 입력받고 상기 제2기계적 진동이 상기 제1전기신호에 상응되도록 상기 제2전기신호를 상기 초음파 제네레이터로 출력하는제어신호발생기포함하는것을특징으로 하는반도체 제조공정의 와이어본딩 장치.
[청구항 3]
(가) 유저(user)로부터 진동조건을 입력받은 조건입력부에서 상기 진동조건에 대응하는 제1전기신호를 제어부로 출력하는 단계
(나) 상기 제어부가 상기 제1전기신호를 포함하는 두 개의 제어부입력신호를 입력받아 이를 상호 비교하여 보상된 출력신호인 제2전기신호를 초음파 제네레이터로 출력하는 단계
(다) 상기 초음파 제네레이터가 상기 제2전기신호를 입력받아 상기 진동조건에 대응되는 주파수 및 앰플리튜드(amplitude)를 가지는 제3전기신호를 트랜스듀서 혼으로 출력하는 단계
(라) 상기 트랜스듀서 혼이 상기 제3전기신호를 입력받아 상기 제3전기신호에 대응되는 제1기계적 진동을 발생시켜 반도체 패키지의 와이어본딩에 사용되는 와이어를 지지하는 캐필러리(capillary)로 전달하는 단계
(마) 상기 캐필러리가 상기 트랜스듀서 혼과 연결되어 상기 트랜스듀서 혼에 서 발생되는 제1기계적 진동을 전달받아 상기 와이어로 제2기계적 진동을 전달하는 단계
(바) 캐필러리 이송부에 의하여 상기 와이어가 부착될 반도체 패키지의 본딩패드 상으로 상기 캐필러리를 이동시키는 단계; 및
(사) 상기 제2기계적 진동을 검출하는 진동센서가 상기 제2기계적 진동을 상기 제어부입력신호 중에서 상기 제1전기신호를 제외한 나머지에 해당하는 제4전기신호로 변환하여 상기 제어부로 출력하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 와이어본딩 방법
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소의 기능과 역할을 분석하여 질문에 답하라. 근거를 종합하여 자연스러운 문장으로 설명하라.
질문 (question)
초음파 와이어본딩 장치에서 제2기계적 진동이 제1전기신호에 상응하도록 제2전기신호를 출력하기 위해 제어부가 수행하는 구체적인 구성과 동작 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제2기계적 진동이 제1전기신호에 상응하도록 제어부가 수행하는 구체적인 구성과 동작 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction제어부의 구성 요소인 비교기와 제어신호발생기, 그리고 입력되는 제1전기신호와 제4전기신호(제2기계적 진동의 변환값)를 추출한다.
- 제어부는, 상기 제1 및 제4전기신호를 입력받아 이를 상호 비교하는 비교기 및 상기 비교기로부터 출력된 전기신호를 입력받고 상기 제2기계적 진동이 상기 제1전기신호에 상응되도록 상기 제2전기신호를 상기 초음파 제네레이터로 출력하는 제어신호발생기 포함
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3근거 선택
evidence_selection제어부의 내부 구성(비교기, 제어신호발생기)과 동작 메커니즘(제1 및 제4전기신호 비교를 통한 제2전기신호 출력)을 설명하는 구절을 선택한다.
- 상기 제어부는, 상기 제1 및 제4전기신호를 입력받아 이를 상호 비교하는 비교기 및 상기 비교기로부터 출력된 전기신호를 입력받고 상기 제2기계적 진동이 상기 제1전기신호에 상응되도록 상기 제2전기신호를 상기 초음파 제네레이터로 출력하는 제어신호발생기 포함
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4논리 통합
logical_integration제어부는 비교기를 통해 제1전기신호와 제2기계적 진동이 변환된 제4전기신호를 비교하고, 그 결과에 따라 제어신호발생기가 보상된 제2전기신호를 출력함으로써 진동을 제어한다.
- 상기 제1 및 제4전기신호를 입력받아 이를 상호 비교하는 비교기 및 상기 비교기로부터 출력된 전기신호를 입력받고 상기 제2기계적 진동이 상기 제1전기신호에 상응되도록 상기 제2전기신호를 상기 초음파 제네레이터로 출력하는 제어신호발생기
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5결론 도출
conclusion_formulation제어부는 비교기와 제어신호발생기로 구성되며, 제1전기신호와 제4전기신호를 비교하여 제2기계적 진동이 제1전기신호에 상응하도록 제2전기신호를 출력하는 방식으로 동작한다.
- 상기 제어부는, 상기 제1 및 제4전기신호를 입력받아 이를 상호 비교하는 비교기 및 상기 비교기로부터 출력된 전기신호를 입력받고 상기 제2기계적 진동이 상기 제1전기신호에 상응되도록 상기 제2전기신호를 상기 초음파 제네레이터로 출력하는 제어신호발생기 포함
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6답변 생성
answer_generation질문에 대하여 제어부의 구성 요소와 동작 과정을 상세히 기술하여 답변을 생성한다.
- 상기 제어부는, 상기 제1 및 제4전기신호를 입력받아 이를 상호 비교하는 비교기 및 상기 비교기로부터 출력된 전기신호를 입력받고 상기 제2기계적 진동이 상기 제1전기신호에 상응되도록 상기 제2전기신호를 상기 초음파 제네레이터로 출력하는 제어신호발생기 포함
최종 답변 (final_answer)
제어부는 비교기와 제어신호발생기를 포함하는 구성으로 이루어져 있다. 동작 방식으로는, 제1전기신호와 제2기계적 진동을 변환한 제4전기신호를 비교기에서 상호 비교하고, 비교기로부터 출력된 전기신호를 제어신호발생기가 입력받아 제2기계적 진동이 제1전기신호에 상응되도록 보상된 제2전기신호를 초음파 제네레이터로 출력한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제2기계적 진동을 전기신호(제4전기신호)로 변환하여 기준 신호(제1전기신호)와 비교함으로써, 실제 발생한 진동을 목표 진동 조건에 맞게 피드백 제어하는 기술이다.