전자 부품 세정 방법 및 장치 document_id 1020030088972

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 초음파 공진기는 상기 탱크 내측의 상기 세정 유체내침지되는세정 장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 초음파 공진기는 상기 탱크 외면장착되는세정 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 세정 유체 공급 시스템에 의해 생성된 상기 세정 유체의 연속 유동은 상기 세정 유체의 상단면을 상기 탱크의 림 보다 높은 수준으로 유지하고, 그에 의해, 상기 세정 유체가 상기 탱크 외측으로연속적넘쳐흐르는세정 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 탱크에 인접 배열된 외부 탱크를 포함하고, 상기 외부 탱크는 상기 탱크로부터 넘쳐흐르는세정유체수집하도록구성되는세정 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 전자 부품은 상기 세정 유체의 상기 상단면에 대면하는 표면에 대향한 상기 지지면의 표면상지지되는세정 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 지지 플랫폼은 상기 탱크의 림상장착되는세정 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 전자 부품이 그 위에 지지되는 상기 지지 플랫폼의 표면에 세정 유체를 분산시키기 위해 상기 세정 유체와 교류하는 지지 플랫폼내에 유체 입구포함하는세정 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 전자 부품이 그 위에 지지되는 상기 지지 플랫폼의 표면으로부터 멀어지는 방향으로 세정 유체를 배수하기 위해 상기 지지 플랫폼내에 유체 출구포함하는세정 장치. [청구항 10] 제 8 항에 있어서,상기 세정 유체 공급 시스템은 상기 지지 플랫폼의 표면상의 상기 전자 부품과 접촉하는 세정 유체의 실질적으로 균일한 양을 유지하도록 상기 탱크에 세정 유체의 적절한유동공급하도록적용되는세정 장치. [청구항 11] 제 6 항에 있어서,상기 지지 플랫폼의 표면상에 상기 전자 부품을 배치하도록 동작하는 전달 장치포함하는세정 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 전자 부품과 접촉하는 상기 세정 유체의 상단면에 대해 측방향으로 상기 전자 부품을 반복적으로 이동시키기 위한 이동 메카니즘포함하는세정 장치. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,상기 전자 부품은 상기 세정 유체의 상기 상단면에 대면하는 상기 지지 플랫폼의 표면상지지되는세정 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 세정 유체의 상기 상단면에 대면하는 상기 지지 플랫폼의 상기 표면상에 상기 전자 부품을 유지하기 위한 진공 흡입 장치포함하는세정 장치. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 전자 부품에 접촉하도록 상기 세정 유체의 상기 상단면에 형성된 세정 유체 분무층포함하는세정 장치. [청구항 16] 제 1 항에 있어서,상기 초음파 트랜스듀서에 의해 공급되는 초음파 에너지의 주파수는 20 내지인세정 장치. [청구항 17] 제 1 항에 있어서,상기 탱크는스테인레스강적절한금속으로 이루어지는세정 장치. [청구항 18] 제 1 항에 있어서,상기 플랫폼은 경질 아노다이징을 구비한 알루미늄,스테인레스강적절한금속으로 이루어지는세정 장치.