ＭＥＭＳ스위치 및 그 제조방법 document_id 1020030092062

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 스위칭부는, 상기 디바이스 기판 상에 고정되는 입력단자와; 상기 입력단자에 이웃하여 설치되는 복수의 출력단자와; 상기 입/출력 단자에 대응되게 상기 가동부에 마련되어, 상기 가동부의 이동상태에 따라 상기 복수의 출력단자 중 어느 하나를 상기 입력단자와 연결시키는스위칭단자포함하는것을특징으로 하는mems 스위치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 입력단자는 한 쌍이 상기 가동부를 사이에 두고 y축 상에 대칭되게 설치되며, 상기 출력단자는 상기 각 입력단자를 사이에 두고 두 개씩 상기 y축 방향으로 서로 대칭되게 설치되며, 상기 스위칭부는 한 쌍의 상기 y축 상에서 서로 대칭되며, 상기 입/출력단자배치되는것을특징으로 하는mems 스위치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 스위칭단자는상기가동부와전기적단락된것을특징으로 하는mems 스위치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 스위칭단자는, 상기 가동부에 연결 지지되는 몸체로부터 상기 각 입/출력단자에 대응되게 돌출 형성되어 이동시 선택적으로 접촉되는 제1, 제2및제3접촉부가지는것을특징으로 하는mems 스위치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 콤(comb) 드라이버는,상기 가동부를 x축 상에서 이동시켜서 상기 입력단자에 연결될 출력단자에 대응되게 상기 스위칭단자를 대응시키는 한 쌍의 제1 및 제 2콤 드라이버와;상기 가동부를 y축 상에서 이동시켜서 상기 선택된 출력단자와 입력단자를 상기 스위칭단자로 접속시키는 제한 쌍의 제3및제4콤드라이버포함하는것을특징으로 하는마이크로 스위치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기제1 및 제2콤 드라이버는, 상기 가동부를 사이에 두고 상기 x축 상에 서로 대칭되게 상기 디바이스 기판에 고정되며, 빗살모양의 핑거들을 가지는 고정부와; 상기 고정부에 대응되도록 상기 가동부에 연결되며, 빗살모양의 핑거들을 가지는이동부포함하는것을특징으로 하는mems 스위치. [청구항 8] 제6항 또는 제7항에 있어서,상기제3 및 제4콤 드라이버는, 상기 y축 상에서 상기 가동부를 사이데 두고 서로 대칭되게 상기 디바이스 기판에 고정되며, 빗살모양의 핑거들을 가지는 고정부와; 상기 제3 및 제4콤 드라이버의 고정부에 대응되도록 상기 가동부에 연결되며, 빗살모양의 핑거들을 가지는이동부포함하는것을특징으로 하는mems 스위치. [청구항 9] 제2항에 있어서,상기 가동부는, 상기 x/y 좌표의 중심에 배치되는 지지부재와; 상기 지지부재로부터 상기 x축 방향으로 서로 대칭되게 연장되며, 상기 콤 드라이버의 이동부를 지지하는 복수의 제1연결부재와; 상기 지지부재로부터 상기 y축 방향으로 서로 대칭되게 연장되며, 상기 콤 드라이버의 이동부를 지지하는 복수의 제2연결부재와; 상기 지지부재로부터 상기 y축 방향으로 서로 대칭되게 연장되며, 상기 스위칭단자를 연결 지지하는 한 쌍의 패드 연결부재; 및 상기 지지부재와 상기 기판을 연결하는탄성부재포함하는것을특징으로 하는mems 스위치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 탄성부재는 상기 지지부재로부터 상기 x/y 좌표축을 기준으로 45도 각도 방향으로 서로 대칭되게 연장된4개의탄성부재포함하는것을특징으로 하는마이크로 스위치.