문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 베이스 플레이트에 결합되어 상기 서포터 링의 톱니형 돌기 및 상기 원통형 롤러를 외부와 밀폐시키며, 상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된커버더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 홀더.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 베이스 플레이트는 상기 커버가 결합되는 커버 홈을 더 포함하되, 상기 커버 홈은 상기 중공부 및 상기 원통형 롤러를 둘러싸는 환형으로상기베이스 플레이트의상부면형성된것을특징으로 하는웨이퍼 홀더.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 커버는 상기 서포터 링의 외주부를 둘러싸는 환형부 및 상기 환형부의 일부분이 확장되어 상기 원통형 롤러의 상부를 덮는 하우징이 형성된 상부 커버; 및 상기 상부 커버와 결합되어 상기 서포터 링의 하측면을 캐핑하는 환형의 하부 커버를 포함하되, 상기 커버가 결합된 서포터 링이상기가이드홈안착되는것을특징으로 하는웨이퍼 홀더.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 베이스 플레이트는 상기 가이드홈으로 부터 연장되어 상기 원통형 롤러의 주위를 감싸며 상기 상부 커버의 하우징이 결합되는 커버 홈을 더 포함하되, 상기 커버가 결합된 서포터링은 상기 가이드 홈에 안착되고 상기 상부 커버의 하우징은상기커버홈결합되는것을특징으로 하는웨이퍼 홀더.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼 가이드링의 받침대는, 웨이퍼의 가장자리를 지지하는 지지부;및 내주면으로 부터 상기 지지부로 향하여 경사진 슬라이딩부를구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 홀더.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 웨이퍼 홀더는, 원형의 중공부 및 상기 중공부의 가장자리를 따라 환형의 가이드 홈이 형성되어 있고, 상기 제 1 및 제 2 가이드 레일에 결합된 베이스 플레이트; 상기 가이드홈 외측에 인접하여 상기 제 1 및 제 2 가이드 레일과 평행하게 상기 베이스 플레이트에 수평으로 설치되며, 외주면에 나사선이 형성되고, 중심축에 샤프트 홀을 가지는 회전가능한 원통형 롤러; 및 상기 가이드 홈에 안착되어 상기 베이스 플레이트 상부로 외주면이 노출되고, 상기 외주면을 따라 상기 원통형 롤러의 나사선에 맞물리는 톱니형 돌기가 형성된 서포터 링포함하는웨이퍼 운반 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 웨이퍼 홀더는, 상기 서포터 링 상에 착탈이 가능하게 안착되며 내주면에 웨이퍼의 가장자리를 지지하는 다수의 받침대가 형성된웨이퍼 가이드링더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 운반 장치.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 베이스 플레이트에 결합되어 상기 서포터 링의 톱니형 돌기 및 상기 원통형 롤러를 외부와 밀폐시키며, 상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된커버더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 홀더.
[청구항 11]
제 8 항에 있어서,상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 연결되어 상기 원통형 롤러를 회전시키는 샤프트를 더 구비하되, 상기 원통형 롤러는 상기 웨이퍼 홀더가 구동될 때, 상기 샤프트를 따라직선운동하는것을특징으로 하는웨이퍼 운반 장치.
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 베이스 플레이트에 결합되어 상기 서포터 링의 톱니형 돌기 및 상기 원통형 롤러를 외부와 밀폐시키며, 상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된 커버; 및 상기 커버의 홀 및 상기 샤프트 홀에 연결되어 상기 원통형 롤러를 회전시키는 샤프트를 더 구비하되, 상기 원통형 롤러는 상기 웨이퍼 홀더가 구동될 때, 상기 샤프트를 따라직선운동하는것을특징으로 하는웨이퍼 운반 장치.
[청구항 13]
제 7 항에 있어서,상기 구동롤러 및 상기 피동롤러 사이에 각각 배치되어 상기 제 1 및 제 2 가이드 레일을 지지하는복수개의지지롤러더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 운반 장치.
[청구항 14]
제 7 항에 있어서,상기 제 1 가이드 레일 및 상기 제 2 가이드 레일은 상기 챔버 내에서 상기 웨이퍼 홀더를 제 1 지점에서 제 2 지점으로 이동하되, 상기 제1 지점의 상부에는 웨이퍼 투입구가 설치되고, 상기 제 2 지점의 하부에는웨이퍼측정장치설치되는것을특징으로 하는웨이퍼 운반 장치.
[청구항 15]
제 7 항에 있어서,상기 웨이퍼 가이드링의 받침대는, 웨이퍼의 가장자리를 지지하는 지지부;및 내주면으로 부터 상기 지지부로 향하여 경사진 슬라이딩부를구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 홀더.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 운반 장치에서 커버가 서포터 링의 톱니형 돌기와 원통형 롤러를 외부와 밀폐하기 위해 갖추어야 하는 구조적 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation웨이퍼 운반 장치에서 서포터 링의 톱니형 돌기와 원통형 롤러를 밀폐하기 위한 커버의 구조적 특징을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10(및 청구항 2, 12)에서 커버의 기능과 구조에 관한 정보를 확인한다.
- 상기 베이스 플레이트에 결합되어 상기 서포터 링의 톱니형 돌기 및 상기 원통형 롤러를 외부와 밀폐시키며, 상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된 커버
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 밀폐 기능과 관련된 커버의 결합 대상 및 구조적 특징(홀 형성)을 포함하는 구절을 선택한다.
- 상기 베이스 플레이트에 결합되어 상기 서포터 링의 톱니형 돌기 및 상기 원통형 롤러를 외부와 밀폐시키며, 상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된 커버
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4논리 통합
logical_integration커버는 베이스 플레이트에 결합되어 밀폐 기능을 수행하며, 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성되어 있다는 점을 결합한다.
- 상기 베이스 플레이트에 결합되어 상기 서포터 링의 톱니형 돌기 및 상기 원통형 롤러를 외부와 밀폐시키며, 상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된 커버
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5결론 도출
conclusion_formulation커버는 베이스 플레이트에 결합되어 밀폐를 수행하고, 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된 구조를 가진다.
- 상기 베이스 플레이트에 결합되어 상기 서포터 링의 톱니형 돌기 및 상기 원통형 롤러를 외부와 밀폐시키며, 상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된 커버
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 직접적인 답변을 작성한다.
- 상기 베이스 플레이트에 결합되어 상기 서포터 링의 톱니형 돌기 및 상기 원통형 롤러를 외부와 밀폐시키며, 상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된 커버
최종 답변 (final_answer)
상기 베이스 플레이트에 결합되어 상기 서포터 링의 톱니형 돌기 및 상기 원통형 롤러를 외부와 밀폐시키며, 상기 원통형 롤러의 샤프트 홀에 대응하는 홀이 형성된 커버
핵심 해석 (core_interpretation)
웨이퍼 운반 장치의 핵심 부품인 서포터 링과 원통형 롤러를 외부로부터 밀폐하기 위해, 베이스 플레이트에 결합되면서 롤러의 샤프트 홀과 대응하는 홀을 갖춘 커버 구조를 제공한다.