이온 소스에서 생성된 플라즈마내의 이온 검출용 프로브조립체 document_id 1020037005832

[청구항 1] 플라즈마내의 이온의 유무를 판단하는 시스템에 있어서, 내부에 이온이 존재하는 플라즈마를 생성하기 위한 크기 및 칫수로 되어 있는 플라즈마 챔버(14)를 구비한 이온 소스(12), 및 이온 소스에 연결되어서 상기 플라즈마의 상기 이온을 검출하는 프로브 조립체(30)를 포함하는, 플라즈마내의 이온의 유무를 판단하는 시스템 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 프로브 조립체(30)는 플라즈마 챔버(14)내에 연장되어서 상기 플라즈마로부터 상기 이온을 추출하는프로브소자포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 3] 제2항에 있어서,프로브 소자(32)는, 플라즈마 챔버(14)내에 배치된 원뿔형의 팁(tip)(34)을 구비한 프로브 본체(36), 및상기 프로브 본체(36)에 장착되어서, 전압이 인가되면, 여기서 전계를 생성하기에 적합한집속소자포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 프로브 조립체(30)는, 상기 플라즈마로부터 하나 이상의 상기 이온을 추출하는 프로브 소자(32), 및상기 프로브 소자(32)에 의해서 상기 플라즈마로부터 추출된 상기 하나 이상의 이온을 필터링하는, 상기 프로브 소자(32)에 연결된필터포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 5] 제4항에 있어서,필터(40)는 윈(wien) 필터와 exb필터중최소한하나포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 6] 제4항에 있어서,필터(40)는 자계를 필터(40)내에 집중시키는복수의강철스트립포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 7] 제6항에 있어서,복수의 강철 스트립(46)에는 상이한 전압으로 바이어스가 인가되어서 통로(38)내에 전위 기울기와 균일한전계중하나생성하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 8] 제4항에 있어서,필터내에 전계를 생성하여 이온 속도에 따라서 하나 이상의 이온을 분리하는 수단(62)을 추가포함하는시스템. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 프로브 소자(32)에 연결되어서 상기 플라즈마 챔버 (14)로부터 상기 이온의 추출을 용이하게 하는 소정의 압력 조건을 생성하는 진공 소스를 추가포함하는시스템. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 프로브 조립체(30)는, 프로브 본체(36)의 일부가 상기 플라즈마 챔버(14)내로 연장되기에 적합한 프로브 본체(36)를 구비한 프로브 소자(32), 및 상기 프로브 본체(36)에 연결되어서 본체 내부에 전계를 생성하는일군의전극포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 프로브 조립체(30)는, 상기 플라즈마로부터 하나 이상의 이온을 추출하는 프로브 소자(32), 상기 이온을 필터링하는 필터(40), 및 상기 하나 이상의 이온을 검출하는제어기포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 12] 이온 소스(12)와 함께 사용하여 이온 소스(12)의 플라즈마 챔버(14)내의 플라즈마에서의 이온을 검출하기에 적합한 프로브 조립체(30)로서, 이온 소스(12)의 플라즈마 챔버(14)내에 최소한 부분적으로 연장되기에 적합한 프로브 본체(36), 상기 프로브 본체(36)에 연결되어서 프로브 본체(36)내에 소정의 전계를 생성하는 집속 소자(60), 및 상기 플라즈마 챔버(14)로부터 추출되어서 상기 프로브 본체(36)를 통과하는 상기 이온을 필터링하는, 상기 프로브 본체(36)에 연결된 필터(40)를 포함하는 프 로브 조립체(30) [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 프로브 본체(36)는 이온이 통과할 수 있는 크기 및 칫수로 되어 있는 통로(38)를 포함하고, 또한, 상기 프로브 본체(36)는 플라즈마 챔버(14)내에 연장되는원뿔형단부구비한것을특징으로 하는프로브 조립체 (30). [청구항 14] 제12항에 있어서,일군의 전극(62)이 상기 프로브 본체(36)에 연결되어서 프로브 본체(36) 내부에전계생성하는것을특징으로 하는프로브 조립체(30). [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 전극(62)은, 상기 플라즈마 챔버(14)로부터의 상기 이온을 위한 전계를 프로브 본체(36) 내부에 생성하는4극집속소자포함하는것을특징으로 하는프로브 조립체(30). [청구항 16] 제12항에 있어서,상기 필터는 exb필터포함하는것을특징으로 하는프로브 조립체(30).