문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 리테이너링의 내측에 상기 리테이너링에 대하여 유동상태로 배설되는 링형상 부재를 추가로 가지고,상기 시이트제는 그 주연부가 상기 링형상 부재설치되는웨이퍼 연마장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 링형상 부재가 상기 리테이너링과 계합함으로서 상기 웨이퍼 지지헤드로부터의 탈락방지있는웨이퍼 연마장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 시이트제에는 복수의 관통구멍형성되어 있는웨이퍼 연마장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 유체층은 공기 및 물의 어느 한쪽의층인웨이퍼 연마장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 리테이너링의 내측에서 또한 상기 시이트제의 상측에 배설되는 백플레이트를 추가로 가지고,상기 백플레이트의 외주부와 상기 리테이너링의 내주부에 의해 형성되는 간극으로부터 상기 공기 및 물의 어느한쪽누설되도록있는웨이퍼 연마장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 백플레이트의 하부면이 오목형상있는웨이퍼 연마장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 리테이너링의 상부에 감합부가 형성되고, 상기 웨이퍼 지지헤드는 홀더를 포함하고, 상기 홀더의 하부에는 피감합부가 형성되고,상기 리테이너링의 감합부가 상기 홀더의 피감합부에 감합됨으로서 상기 리테이너링이 상기 홀더에 부착되고,상기 시이트제는 그 주연부가상기리테이너링의감합부와상기홀더의피감합부사이지지되어서설치되는웨이퍼 연마장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 리테이너링의 감합부 및 상기 홀더의 피감합부는 테이퍼 부분가진웨이퍼 연마장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 리테이너링의 감합부 및 상기 홀더의 피감합부는 테이퍼 부분가진웨이퍼 연마장치.
[청구항 12]
제8항에 있어서,상기 시이트제에 복수의 관통구멍형성되어 있는웨이퍼 연마장치.
[청구항 13]
제8항에 있어서,상기 유체층은 공기 및 물의 어느 한쪽의층인웨이퍼 연마장치.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 리테이너링의 내측에서 또한 상기 시이트제의 상측에 배설되는 백플레이트를 추가로 가지고,상기 백플레이트의 외주부와 상기 리테이너링의 내주부에 의해 형성되는 간극으로부터 상기 공기 및 물의 어느한쪽누설되도록있는웨이퍼 연마장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 백플레이트의 하부면이 오목형상있는웨이퍼 연마장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 연마장치에서 리테이너링의 감합부와 홀더의 피감합부가 결합됨에 따라 시이트제가 설치되는 방식은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation리테이너링의 감합부와 홀더의 피감합부가 결합될 때, 시이트제가 설치되는 구체적인 위치와 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 리테이너링의 감합부와 홀더의 피감합부의 결합 관계 및 시이트제의 설치 위치에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 리테이너링의 감합부가 상기 홀더의 피감합부에 감합됨으로서 상기 리테이너링이 상기 홀더에 부착되고,상기 시이트제는 그 주연부가상기리테이너링의감합부와상기홀더의피감합부사이지지되어서설치되는
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3근거 선택
evidence_selection시이트제의 설치 방식을 직접적으로 설명하는 청구항 8의 구절을 선택한다.
- 상기 시이트제는 그 주연부가상기리테이너링의감합부와상기홀더의피감합부사이지지되어서설치되는
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4논리 통합
logical_integration리테이너링의 감합부와 홀더의 피감합부가 결합(감합)되면 그 사이에 공간적 접점이 형성되며, 시이트제의 주연부가 이 결합 부위 사이에서 지지되는 구조임을 연결한다.
- 상기 리테이너링의 감합부가 상기 홀더의 피감합부에 감합됨으로서 상기 리테이너링이 상기 홀더에 부착되고,상기 시이트제는 그 주연부가상기리테이너링의감합부와상기홀더의피감합부사이지지되어서설치되는
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5결론 도출
conclusion_formulation시이트제는 그 주연부가 리테이너링의 감합부와 홀더의 피감합부 사이에서 지지되는 방식으로 설치된다.
- 상기 시이트제는 그 주연부가상기리테이너링의감합부와상기홀더의피감합부사이지지되어서설치되는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대하여 시이트제의 주연부가 리테이너링의 감합부와 홀더의 피감합부 사이에서 지지되어 설치된다고 답변을 생성한다.
- 상기 시이트제는 그 주연부가상기리테이너링의감합부와상기홀더의피감합부사이지지되어서설치되는
최종 답변 (final_answer)
시이트제의 주연부가 리테이너링의 감합부와 홀더의 피감합부 사이에서 지지되어 설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
리테이너링과 홀더의 결합부(감합부와 피감합부) 사이에 시이트제의 주연부를 위치시켜 지지함으로써 시이트제를 안정적으로 설치하는 구조에 관한 것이다.