피처리체의 반송 시스템, 반송 방법, 및 반도체 제조 장치 document_id 1020037008715

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 반도체 제조 장치는, 피처리체의 전기적 특성을 검사하는검사장치인것을특징으로 하는피처리체의 반송 시스템. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 검사 장치는, 상기 피처리체를 한 장씩 수수하는 제 1 교환 기구를 갖고, 또한, 상기 자동 반송 장치는, 상기 피처리체를 캐리어 단위로 탑재하는 탑재부와 이 탑재부와 상기 검사 장치 사이에서 상기 피처리체를 한 장씩 수수하는제2교환기구갖는것을특징으로 하는피처리체의 반송 시스템. [청구항 4] 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 검사 장치 및 상기 자동 반송 장치는, 각각 서로 광통신을 행하는 광통신 수단을 갖고, 상기 광통신 수단을 거쳐상기피처리체수수하는것을특징으로 하는피처리체의 반송 시스템. [청구항 5] 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 자동 반송 장치는, 상기 피처리체의 종류를 식별하는식별수단갖는것을특징으로 하는피처리체의 반송 시스템. [청구항 6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 자동 반송 장치는, 상기 피처리체를 수수할 때에 상기 피처리체의 위치 정렬을 실행할수단갖는것을특징으로 하는피처리체의 반송 시스템. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,자동 반송차와 상기 로드 포트와의 사이에서 상기 피처리체를 반송할때의통신수단갖는것을특징으로 하는반도체 제조 장치. [청구항 21] 제 19 항 또는 제 20 항에 있어서,상기 피처리체를 한장씩반출하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치. [청구항 22] 제 19 항 내지 제 21 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 로드 포트는센터링기구갖는것을특징으로 하는반도체 제조 장치. [청구항 23] 제 19 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 로드 포트는 구경(口徑)을 달리하는 복수 종류의 피처리체를 유지하는수단갖는것을특징으로 하는반도체 제조 장치. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,상기 센터링 플레이트는, 구경을 달리하는복수의결합면을복수단갖는것을특징으로 하는센터링 장치. [청구항 26] 제 24 항 또는 제 25 항에 있어서,상기 구동 장치는,상기 각 센터링 플레이트로부터 각각 수하(垂下)하는 축에 연결된 링크 기구와, 이 링크 기구에 연결된실린더기구갖는것을특징으로 하는센터링 장치. [청구항 27] 제 24 항 내지 제 26 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 피처리체를 자동 반송 장치nan와의사이교환하는것을특징으로 하는센터링 장치. [청구항 29] 제 28 항에 있어서,상기 제 1 교환 기구는, 상기 피처리체를 지지하는 승강 가능한 유지체와,이 유지체 상에 상기 피처리체를 진공 흡착하는 제 1 진공 흡착 기구를 갖고,상기 제 2 교환 기구는,상기 피처리체를 한 장씩 반송하는 암과, 이 암 상에 상기 피처리체를 진공 흡착하는제2진공흡착기구갖는것을특징으로 하는피처리체의 반송 시스템. [청구항 30] 제 29 항에 있어서,상기 광 결합 병렬i/o 통신 인터페이스는, 상기 제 1, 제 2 진공 흡착 기구를 제어하기 위한 광 신호를 송수신하는신호포트갖는것을특징으로 하는피처리체의 반송 시스템. [청구항 40] 제 39 항에 있어서,동체가자동반송차인것을특징으로 하는피처리체의 진공 유지 장치. [청구항 41] 제 39 항 또는 제 40 항에 있어서,상기 암을 복수갖는 것을특징으로 하는피처리체의 진공 유지 장치. [청구항 42] 제 39 항 내지 제 41 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연결관을 개폐하는 제 1 개폐 밸브를, 상기 기체압 조정 수단과, 상기 기체압 조정 수단으로부터 공급되는 압력 기체를 분출시키는분출수단사이마련한것을특징으로 하는피처리체의 진공 유지 장치. [청구항 43] 제 39 항 내지 제 42 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연결관을 개폐하는 제 2 개폐 밸브를, 상기 암과, 상기 기체압 조정 수단으로부터 공급되는 압력 기체를 분출시키는분출수단사이마련한것을특징으로 하는피처리체의 진공 유지 장치. [청구항 44] 제 43 항에 있어서,상기 암과 상기 제 2 개폐 밸브 사이에서, 상기 배기로 내의 압력을 검출하는압력수단마련한것을특징으로 하는피처리체의 진공 유지 장치. [청구항 45] 제 44 항에 있어서,상기 압력 검출 수단은, 상기 암 상에 있어서의 상기 피처리체의 유무를 검출하는 제 1 압력 수단과, 상기 배기로 내의 압력 누설을 검출하는 제 2 압력 검출 수단을 갖고,상기 제 2 개폐 밸브는, 상기 제 2 압력 검출 수단의 검출 결과에근거개폐하는것을특징으로 하는피처리체의 진공 유지 장치. [청구항 46] 제 39 항 내지 제 45 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기체압 조정 수단과 상기 분출 수단의 사이에 상기 연결관 내의 압력을 검출하는 제 3 압력 검출 수단을 마련하고,이 제 3 압력 검출 수단의 검출 결과에 근거해서,상기컴프레서구동시키는것을특징으로 하는피처리체의 진공 유지 장치.