기판의 처리장치 및 반송장치 조정시스템 document_id 1020037014847

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 기억부의 부품정보를, 인터넷을 통해 상기 처리장치의 벤더측의 주기억부로부터 취득하는 통신부가지는기판의 처리장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 부품정보에는, 상기 구성부품의 화상정보포함되는기판의 처리장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 발주하는 구성부품의 재고정보를, 인터넷을 통해 입수하는입수부를가지는기판의 처리장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 부품정보에는, 상기 구성부품의 화상정보포함되는기판의 처리장치. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 발주하는 구성부품의 재고정보를, 인터넷을 통해 입수하는입수부를가지는기판의 처리장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 구성부품 후보정보에는, 상기 구성부품의 화상정보포함되어 있는기판의 처리장치. [청구항 10] 제 8 항에 있어서,상기 부품정보에는 상기 구성부품의 화상정보포함되는기판의 처리장치. [청구항 11] 제 8 항에 있어서,상기 발주하는 구성부품의 재고정보를, 인터넷을 통해 입수하는입수부를가지는기판의 처리장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기촬상부는, 이동이 자유된기판의 처리장치. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기 구성부품 후보정보에는, 상기 구성부품의 화상정보포함되어 있는기판의 처리장치. [청구항 15] 제 12 항에 있어서,상기 부품정보에는, 상기 구성부품의 화상정보포함되는기판의 처리장치. [청구항 16] 제 12 항에 있어서,상기 발주하는 구성부품의 재고정보를, 인터넷을 통해 입수하는입수부를가지는기판의 처리장치. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 수신부는, 상기 벤더측에서 특정된 구성부품의 특정결과와 함께, 해당 구성부품의 부품정보수신하는기판의 처리장치. [청구항 19] 제 17 항에 있어서,상기촬상부는, 이동이 자유된기판의 처리장치. [청구항 20] 제 17 항에 있어서,상기 부품정보에는, 상기 구성부품의 화상정보포함되는기판의 처리장치. [청구항 21] 제 17 항에 있어서,상기 발주하는 구성부품의 재고정보를, 인터넷을 통해 입수하는입수부를가지는기판의 처리장치. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기촬상부는, 이동이 자유된기판의 처리장치. [청구항 24] 제 22 항에 있어서,상기 부품정보에는, 상기 구성부품의 화상정보포함되는기판의 처리장치. [청구항 25] 제 22 항에 있어서,상기 발주하는 구성부품의 재고정보를, 인터넷을 통해 입수하는입수부를가지는기판의 처리장치. [청구항 27] 제 26 항에 있어서,상기 제공장치는, 상기 인터넷을 통해 상기 제어장치에 직접 상기 수정정보를 출력하여,상기반송장치의반송처의정지위치직접수정할수있는반송장치 조정시스템. [청구항 28] 제 26 항에 있어서,상기 검출장치는, 촬상정보가지는반송장치 조정시스템. [청구항 29] 제 26 항에 있어서,상기 반송장치는, 기판에 처리액을 공급하는 처리액 공급부재반송하는 것인반송장치 조정시스템. [청구항 30] 제 28 항에 있어서,상기 반송장치는, 기판반송하는 것인반송장치 조정시스템. [청구항 31] 제 28 항에 있어서,상기 반송장치는, 기판을 반송하는 것이고,상기 촬상장치는, 상기 반송장치의 정지위치에 반송된 검출용 기판을 촬상할 수 있도록 상기 처리장치에 고정하여 설치되며,상기 검출용 기판에는, 이 검출용 기판의 반송후의 위치를 상기 촬상장치의 화상상에서 확인하기 위한 마크가 부착되어 있고,상기 촬상장치의 화상이 표시되는 화면에는, 상기 반송장치의 정지위치를 조정할 때의 기준마크표시되는반송장치 조정시스템. [청구항 32] 제 30 항에 있어서,상기 처리장치에는, 상기 검출용 기판을 대기시키는 대기부가 설치되어 있고,상기 반송장치는, 상기 대기부에 대기된상기검출용기판반송할수있는반송장치 조정시스템. [청구항 33] 제 31 항에 있어서,상기 처리장치에는, 상기 검출용 기판을 대기시키는 대기부가 설치되어 있고, 상기 반송장치는, 상기 대기부에 대기된상기검출용기판반송할수있는반송장치 조정시스템.