기판 지지대 document_id 1020037015893

[청구항 1] 챔버에 연결된 적어도 하나의 기판 지지 부재를 갖는 상기 챔버 내에서 기판을 지지하기 위한 장치로서 제 1 부분과 제 2 부분을 가지며, 상기 제 1 부분이 상기 기판 지지 부재와 인터페이싱된 몸체 상기 제 2 부분 내에 배치되고 볼 지지 표면을 갖는 소켓; 및 상기 소켓 내의 볼 지지 표면 상에서 회전가능하게 배치되고, 위에서 상기 기판과 접촉하고 상기 기판을 지지하는 볼을 포함하는 기판 지지용 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 볼은 코팅, 도금 또는 전자연마된(electropolish) 것특징으로 하는기판 지지용 장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 볼은 크롬, 알루미늄 합금, 실리콘 질화물, 또는 텅스텐 질화물로코팅도금된것을특징으로 하는기판 지지용 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,지지 표면은 상기 볼의 반경보다 큰반경갖는것을특징으로 하는기판 지지용 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,지지 표면은원뿔형인것을특징으로 하는기판 지지용 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,지지 표면은:적어도 하나의 함몰부 또는 홈; 및상기 볼을 지지하는 상기 함몰부 또는 상기 홈 내에 배치된 다수의 볼지지볼더포함하는것을특징으로 하는기판 지지용 장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,지지 표면과 상기볼 사이에 배치된 다수의 볼지지볼더포함하는것을특징으로 하는기판 지지용 장치. [청구항 8] 챔버 몸체; 상기 챔버 몸체에 연결된 적어도 하나의 지지 부재; 및 상기 지지 부재 상에 배치되고, 상기 지지 부재에 대해 이격되어 유리 기판을 지지하도록 회전가능한 하나 이상의 볼을 포함하는 유리 기판 지지용 장치 [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 지지 부재 상에 배치된 제 1 부분 및 내부에서 상기 볼을 회전가능하게 보유하는 소켓을 갖는 제 2 부분을 갖는스페이서더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 소켓은 원주형 측벽 내부에 배치된 볼지지부더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,지지부는 상기 볼에 대한 단일 접촉점을 갖는 굴곡된표면더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,지지부는 상기 볼과 접촉하는원뿔형표면더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 13] 제 10 항에 있어서,지지부는 상기 소켓 내에서상기볼을중앙위치시키는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 14] 제 8 항에 있어서,상기 볼은 4 마이크로-인치 또는 더 매끄러운표면 조도갖는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 15] 제 9 항에 있어서,상기 지지 부재에 연결되고, 각각이 각각의 스페이서에 연결된다수의장착핀더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 제 1 부분은 중공부이며상기장착핀의적어도일부분수용하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 17] 제 8 항에 있어서,중 적어도 하나는 상기 기판의 중앙부를 지지하도록위치하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 18] 제 8 항에 있어서,중 일부 볼은 상기 기판의 주변부를 지지하고 상기 볼중 적어도 하나는 상기 기판의 중앙부를 지지하도록위치하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 19] 제 8 항에 있어서,고정된 상부 표면을 갖는 다수의 스페이서가 상기 기판의 주변부를 지지하고 상기 볼중 적어도 하나는 상기 기판의 중앙부를 지지하도록위치하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 20] 제 8 항에 있어서,상기 볼은 코팅,도금또는전자연마된것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 21] 제 8 항에 있어서,상기 볼은 크롬, 알루미늄 합금, 실리콘 질화물, 또는 텅스텐 질화물로코팅도금된것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 22] 제 8 항에 있어서,각각의 상기 지지 부재는 상기 지지 부재와 상기 볼 사이에 배치된 다수의 볼지지볼더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 23] 챔버 몸체; 상기 챔버 몸체에 연결된 적어도 하나의 지지 부재 상기 지지 부재 상에 배치되고, 상기 지지 부재에 대해 이격되어 유리 기판을 지지하도록 회전가능한 하나 이상의 볼; 및 상기 지지 부재 상에 배치된 제 1 부분 및 내부에서 상기 볼을 회전가능하게 보유하는 소켓을 갖는 제 2 부분을 갖는 스페이서를 포함하는 유리 기판 지지용 장치 [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 소켓은 원주형 측벽 내부에 배치된 볼지지표면더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,지지 표면은 상기 볼에 대한 단일 접촉점을 갖는 굴곡된표면더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 26] 제 24 항에 있어서,지지 표면은 상기 볼과 접촉하는원뿔형표면더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 27] 제 24 항에 있어서,지지 표면은 상기 소켓 내에서상기볼을중앙위치시키는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 28] 제 23 항에 있어서,상기 볼은 4 마이크로-인치 또는 더 매끄러운표면 조도갖는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 29] 제 23 항에 있어서,상기 지지 부재에 연결되고, 각각이 각각의 스페이서에 연결된다수의장착핀더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 30] 제 29 항에 있어서,상기 제 1 부분은 중공부이고상기장착핀의적어도일부분수용하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 31] 제 23 항에 있어서,중 적어도 하나는 상기 기판의 중앙부를 지지하도록위치하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 32] 제 23 항에 있어서,상기 다수의 스페이서는 상기 기판의 주변부를 지지하는 비회전 표면을 갖는 제 1 그룹 및 상기 기판의 중앙부를 지지하는 볼을 갖는제2그룹포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 33] 제 23 항에 있어서,상기 볼은 코팅,도금또는전자연마된것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 34] 제 23 항에 있어서,상기 볼은 크롬, 알루미늄 합금, 실리콘 질화물, 또는 텅스텐 질화물로코팅도금된것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 35] 제 23 항에 있어서,상기 챔버 몸체는열처리챔버인것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 36] 제 23 항에 있어서,상기 챔버 몸체는:제 1 측벽 상에 배치된 제 1 기판 이송부; 및제 2 측벽 상에 배치된제 2 기판이송부더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 37] 제 23 항에 있어서,상기 챔버 몸체는:제 1 측벽 상에 배치된 제 1 기판 이송부; 및제 2 측벽 상에 배치된제 2 기판이송부더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 38] 제 23 항에 있어서,상기 지지 부재의 볼 지지 표면과 상기 표면 사이에 배치된 다수의 볼지지볼더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 39] 제 23 항에 있어서,상기 볼은 상기 지지 부재에 대해측면이동하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 40] 적어도 하나의 측벽을 갖는 기판 가열 챔버 상기 측벽에 연결된 다수의 지지 부재 각각의 상기 지지 부재 상에 배치되고, 상기 지지 부재 상에 배치된 제 1 부분과 소켓을 갖는 제 2 부분을 포함하는 적어도 하나의 스페이서; 및 상기 소켓 내에서 회전가능하게 배치되고 상기 지지 부재에 대해 이격되어 유리 기판을 지지하는 볼을 포함하는 유리 기판 지지용 장치 [청구항 41] 제 40 항에 있어서,상기 기판 가열 챔버는어닐링챔버인것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 42] 제 40 항에 있어서,상기 소켓의 볼 지지 표면과 상기 볼 사이에 배치된 다수의 볼지지볼더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 43] 제 40 항에 있어서,상기 볼은 상기 소켓에 대해측면 이동회전하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 44] 제 1 측벽 내에 배치된 제 1 기판 이송부와 제 2 측벽 내에 배치된 제 2 이 송부를 갖는 로드 락 챔버 상기 로드 락 챔버 내에 배치된 적어도 하나의 지지 부재 상기 지지 부재 상에 배치되고, 상기 지지 부재 상에 배치된 제 1 부분과 소켓을 갖는 제 2 부분을 포함하는 적어도 하나의 스페이서; 및 상기 소켓 내에서 회전가능하게 배치되고 상기 지지 부재에 대해 이격되어 유리 기판을 지지하는 볼을 포함하는 유리 기판 지지용 장치 [청구항 45] 제 44 항에 있어서,상기 소켓의 볼 지지 표면과 상기 볼 사이에 배치된 다수의 볼지지볼더포함하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치. [청구항 46] 제 44 항에 있어서,상기 볼은 상기 소켓에 대해측면 이동회전하는것을특징으로 하는유리 기판 지지용 장치.