고온 정전기 척 document_id 1020037017080

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 팽창 조립체는 변형가능한 환형 부분을 포함하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 변형가능한 환형 부분은, 상기 척 본체와 상기 열 전달 본체 사이의 직접적 열 전도를 제한함으로써 열 초크로서 기능하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 팽창 조립체는 제1 및 제2 장착 플랜지들을 더 포함하며, 상기 변형가능한 환형 부분은 굴곡 부분에 의하여 상기 장착 플랜지들 중 하나에 연결되는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 팽창 조립체는 제1 및 제2 장착 플랜지들을 더 포함하며, 상기 변형가능한 환형 부분은 납땜 또는 용접 조인트에 의하여 상기 장착 플랜지들 중 하나에 연결되는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 척 본체를 상기 팽창 조립체에 착탈가능하게 부착하는 클램핑 장치를 더 포함하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 클램핑 장치는 상기 척 본체의 외측 에지에 인접하고 상기 척 본체와 상기 팽창 조립체 사이에서 금속 시일을 압축하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 금속 시일은 c-링 시일인, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 클램핑 장치는 클램핑 링을 포함하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 열 전달 본체는, 상기 척 본체를 요구되는 온도로 유지시키기 위해 냉각제가 순환될 수 있는 하나 이상의 냉각제 통로를 내부에 갖는 냉각 판을 구비하며, 상기 플레넘은 상기 척 본체의 하측의 적어도 50% 이상으로 연장되는 환형 공간이고, 상기 열 전달 본체는 상기 플레넘 안으로 열 전달 가스가 유입되는 가스 공급 통로를 포함하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 팽창 조립체는 상기 플레넘의 외측 벽을 규정하고 상기 척 본체의 열적 순환 동안에 상기 척 본체와 상기 열 전달 본체에 대한 밀폐 시일을 유지하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 척 본체는 상기 플레넘과 상기 척 본체의 외측 표면 사이를 연장하는 가스 통로들을 포함하며, 상기 가스 통로들은 상기 팽창 조립체에 인접하여 임의적으로 위치하고 그 처리 동안에 상기 플레넘으로부터 상기 기판의 외측 주변부의 하측까지 열 전달 가스를 공급하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 척 본체는 금속 재료 또는 세라믹 재료를 포함하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 척 본체는, 알루미늄 질화물, 규소 질화물, 붕소 질화물, 규소 탄화물, 붕소 탄화물, 알루미나 및 그 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 세라믹 재료를 포함하는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 척 본체의 하측의 중앙 부분으로부터 연장되는 세라믹 또는 금속의 관형상 부분을 더 포함하며, 상기 관형상 부분의 외측 표면은 상기 플레넘의 벽을 규정하며, 상기 관형상 부분의 내부는, 상기 클램핑 전극에 전원을 공급하는 장치, 상기 히터 소자에 전원을 공급하는 장치, 및/또는 상기 척 본체의 온도를 감시하는 장치를 임의적으로 포함하며, 상기 관형상 부분의 내부는 대기압에 임의적으로 개방되어 있는, 고온 진공 처리 챔버유용한정전기 척. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 변형가능한 환형 부분은, 굴곡 부분에 의해 상기 장착 플랜지들 중 하나에 연결되고 납땜 또는 용접 조인트에 의해 상기 장착 플랜지들 중 다른 하나연결되는,팽창 조립체. [청구항 23] 제21항에 있어서,상기 제1 장착 플랜지를 상기 척 본체에 클램핑하도록 구성된 방식에서 상기 제1 장착 플랜지에 부착된 클램핑 장치더 포함하는,팽창 조립체. [청구항 24] 제23항에 있어서,상기 클램핑 장치와 상기 팽창 조립체의 제1 장착 플랜지는 상기 척 본체의 외측 주변부와 상기 제1 장착 플랜지 사이에서 금속 c-링시일압축하도록구성된,팽창 조립체. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 제1 환형의 장착 플랜지는 척 본체를 상기 제1 환형의 장착 플랜지에 클램핑도록 구성된 클램핑 장치협력하는,팽창 조립체. [청구항 27] 제25항에 있어서,상기 변형가능한 환형의 부분은 굴곡 부분에 의하여 상기 장착 플랜지들 중 하나연결되는,팽창 조립체. [청구항 28] 제25항에 있어서,상기 변형가능한 환형 부분은 납땜 또는 용접 조인트에 의하여 상기 장착 플랜지들 중 하나연결되는,팽창 조립체. [청구항 29] 제25항에 있어서,상기 제1 환형의 장착 플랜지 및 상기 제2 환형의 장착 플랜지 중 하나와 상기 변형가능한 환형의 부분은 단일 피스재료로 이루어지는,팽창 조립체. [청구항 30] 제26항에 있어서,상기 클램핑 장치 및 상기 제1 환형의 장착 플랜지는 상기 척 본체의 외측 주변부와 상기 제1 환형의 장착 플랜지 사이에 금속 c-링시일압축하도록구성된,팽창 조립체.