기판 제조 장치 및 이에 사용되는 기판 이송 모듈 document_id 1020040000976

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 블레이드는 상기 아암부에 대해상대적회전가능한것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 기판 이송 모듈은, 상기 이송로봇들의 아암부가 설치되는 회전체와; 상기 회전체를 회전시키는회전체구동부더포함하는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 블레이드는 양단에 각각 위치되는 2개의 상기 지지부들을 가지고, 상기 아암부는, 상기 블레이드의 중앙에 연결되는 상부아암과; 상기 상부아암과 연결되어 상기 상부아암 아래에 배치되는하부아암포함하는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 아암 구동부는, 상기 블레이드와 상기 상부아암이 연결되는 연결축을 기준으로 상기 블레이드를 회전시키는 블레이드 구동부와; 상기 상부아암과 상기 하부아암이 연결되는 연결축을 기준으로 상기 상부아암을 회전시키는 상부아암 구동부와; 그리고 상기 상부아암과 독립적으로 상기 하부아암을 회전시키는 하부아암 구동부포함하는 것을특징으로 기판 제조 장치. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 하부아암 구동부는 상기 회전체 내에 배치되며 구동모터에 의해 회전되는 제 1하부풀리, 상기 하부아암의 연결축의 일단에 배치되는 제 2하부풀리, 그리고 상기 제 1하부풀리 및 상기 제 2하부풀리에 연결되는 하부벨트를 포함하고, 상기 상부아암 구동부는 상기 회전체 내에 배치되며 구동모터에 의해 회전되는 제 1상부풀리, 상기 하부아암의 연결축 내에 삽입되는 제 1회전축의 일단에 배치되는 제 2상부풀리, 상기 제 1상부풀리 및 상기 제 2상부풀리에 연결되는 제 1상부벨트, 상기 제 1회전축의 타단에 배치되는 제 3상부풀리, 상기 상부아암의 연결축의 일단에 배치되는 제 4상부풀리, 그리고 상기 제 3상부풀리 및 상기 제 4상부풀리에 연결되는 제 2상부벨트를 포함하고, 상기 블레이드 구동부는 상기 회전체 내에 배치되며 구동모터에 의해 회전되는 제 1블레이드 풀리, 상기 제 1회전축을 삽입하며 상기 상부아암의 연결축 내에 배치되는 제 2회전축의 일단에 배치되는 제 2블레이드 풀리, 상기 제 1블레이드 풀리 및 상기 제 2블레이드 풀리에 연결되는 제 1블레이드 벨트, 상기 제 2회전축의 타단에 배치되는 제 3블레이드 풀리, 상기 상부아암의 연결축 내에 삽입되는 제 3회전축의 일단에 배치되는 제 4블레이드 풀리, 상기 제 3블레이드 풀리 및 상기 제 4블레이드 풀리에 연결되는 제 2블레이드 벨트, 상기 제 3회전축의 타단에 배치되는 제 5블레이드 풀리. 상기 블레이드의 연결축 일단에 배치되는 제 6블레이드 풀리, 그리고 상기 제 5블레이드 풀리 및 상기 제 6블레이드 풀리를 연결하는제3블레이드벨트구비하는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 공정 챔버는 내부에 하나의 기판 스테이지를 가지며, 상기 장치는 상기 트랜스퍼 챔버의 일측면에복수의공정챔버들가지는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 공정 챔버는 내부에 복수의 기판 스테이지를 가지며, 상기 장치는 상기 트랜스퍼 챔버의 일측면에하나의공정챔버가지는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 9] 제 1항에 있어서,상기 장치는, 상기 트랜스퍼 챔버의 타측면에 배치되는 적어도 하나의 로드록 챔버를 더 포함하며, 상기 공정 챔버와 상기 로드록 챔버간 기판 이송은 상기 기판 이송 모듈에 의해이루어지는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 10] 제 2항에 있어서,상기 블레이드는 상기 지지부를 2개 가지며 상기 이송로봇은 하나의 공정 챔버 내에서 기판에 대해 공정이 수행되는 동안 다음에 공정이 수행될 기판을 상기 기판 지지부들 중 하나에 지지하여대기하는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 이송로봇은, 상기 블레이드의 지지부들 중 비어 있는 지지부에 의해 상기 공정 챔버 내에서 공정이 완료된 기판을 상기 공정 챔버로부터 언로딩하고, 상기 블레이드를 상기 아암부에 의해 회전 후 대기중인웨이퍼를상기공정챔버로딩하는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 장치는 상기 블레이드, 상기 상부아암, 그리고 상기 하부아암을 각각 구동하는 아암구동부포함하는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 14] 제 13항에 있어서,상기 하부아암 구동부는 상기 회전체 내에 배치되며 구동모터에 의해 회전되는 제 1하부풀리, 상기 하부아암의 연결축의 일단에 배치되는 제 2하부풀리, 그리고 상기 제 1하부풀리 및 상기 제 2하부풀리에 연결되는 하부벨트를 포함하고, 상기 상부아암 구동부는 상기 회전체 내에 배치되며 구동모터에 의해 회전되는 제 1상부풀리, 상기 하부아암의 연결축 내에 삽입되는 제 1회전축의 일단에 배치되는 제 2상부풀리, 상기 제 1상부풀리 및 상기 제 2상부풀리에 연결되는 제 1상부벨트, 상기 제 1회전축의 타단에 배치되는 제 3상부풀리, 상기 상부아암의 연결축의 일단에 배치되는 제 4상부풀리, 그리고 상기 제 3상부풀리 및 상기 제 4상부풀리에 연결되는 제 2상부벨트를 포함하고, 상기 블레이드 구동부는 상기 회전체 내에 배치되며 구동모터에 의해 회전되는 제 1블레이드 풀리, 상기 제 1회전축을 삽입하며 상기 상부아암의 연결축 내에 배치되는 제 2회전축의 일단에 배치되는 제 2블레이드 풀리, 상기 제 1블레이드 풀리 및 상기 제 2블레이드 풀리에 연결되는 제 1블레이드 벨트, 상기 제 2회전축의 타단에 배치되는 제 3블레이드 풀리, 상기 상부아암의 연결축 내에 삽입되는 제 3회전축의 일단에 배치되는 제 4블레이드 풀리, 상기 제 3블레이드 풀리 및 상기 제 4블레이드 풀리에 연결되는 제 2블레이드 벨트, 상기 제 3회전축의 타단에 배치되는 제 5블레이드 풀리. 상기 블레이드의 연결축 일단에 배치되는 제 6블레이드 풀리, 그리고 상기 제 5블레이드 풀리 및 상기 제 6블레이드 풀리를 연결하는제3블레이드벨트구비하는것을특징으로 하는기판 제조 장치. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 블레이드는 양단에 각각 위치되는 2개의 상기 지지부를 가지고, 상기 아암부는, 상기 블레이드의 중앙에 연결되는 상부아암과; 상기 상부아암과 연결되어 상기 상부아암 아래에 배치되는하부아암포함하는것을특징으로 하는기판 이송 모듈. [청구항 17] 제 16항에 있어서,상기 아암 구동부는, 상기 블레이드와 상기 상부아암이 연결되는 연결축을 중심으로 상기 블레이드를 회전시키는 블레이드 구동부와; 상기 상부아암과 상기 하부아암이 연결되는 연결축을 중심으로 상기 상부아암을 회전시키는 상부아암 구동부와; 그리고 상기 상부아암과 독립적으로 상기 하부아암을 회전시키는 하부아암 구동부포함하는 것을특징으로 기판 이송 모듈. [청구항 18] 제 17항에 있어서,상기 하부아암 구동부는 상기 회전체 내에 배치되며 구동모터에 의해 회전되는 제 1하부풀리, 상기 하부아암의 연결축의 일단에 배치되는 제 2하부풀리, 그리고 상기 제 1하부풀리 및 상기 제 2하부풀리에 연결되는 하부벨트를 포함하고, 상기 상부아암 구동부는 상기 회전체 내에 배치되며 구동모터에 의해 회전되는 제 1상부풀리, 상기 하부아암의 연결축 내에 삽입되는 제 1회전축의 일단에 배치되는 제 2상부풀리, 상기 제 1상부풀리 및 상기 제 2상부풀리에 연결되는 제 1상부벨트, 상기 제 1회전축의 타단에 배치되는 제 3상부풀리, 상기 상부아암의 연결축의 일단에 배치되는 제 4상부풀리, 그리고 상기 제 3상부풀리 및 상기 제 4상부풀리에 연결되는 제 2상부벨트를 포함하고, 상기 블레이드 구동부는 상기 회전체 내에 배치되며 구동모터에 의해 회전되는 제 1블레이드 풀리, 상기 제 1회전축을 삽입하며 상기 상부아암의 연결축 내에 배치되는 제 2회전축의 일단에 배치되는 제 2블레이드 풀리, 상기 제 1블레이드 풀리 및 상기 제 2블레이드 풀리에 연결되는 제 1블레이드 벨트, 상기 제 2회전축의 타단에 배치되는 제 3블레이드 풀리, 상기 상부아암의 연결축 내에 삽입되는 제 3회전축의 일단에 배치되는 제 4블레이드 풀리, 상기 제 3블레이드 풀리 및 상기 제 4블레이드 풀리에 연결되는 제 2블레이드 벨트, 상기 제 3회전축의 타단에 배치되는 제 5블레이드 풀리. 상기 블레이드의 연결축 일단에 배치되는 제 6블레이드 풀리, 그리고 상기 제 5블레이드 풀리 및 상기 제 6블레이드 풀리를 연결하는제3블레이드벨트구비하는것을특징으로 하는기판 이송 모듈.