문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 패키지의 와이어본딩에 사용되는 와이어(wire)를 지지하는 와이어 클램프와, 상기 와이어 클램프에 의해 지지된 와이어가 하방향으로 삽입되고, 상기 와이어가 배출되는 선단 개구부(先端 開口部)를 포함하며, 상기 선단 개구부에서 배출된 와이어로 볼(ball)을 형성시키는 캐필러리 유닛과, 상기 와이어가 부착될 반도체 패키지의 본딩패드 상으로 상기 캐필러리 유닛을 이동시키는 캐필러리 이송부가 구비된 반도체 제조공정의 와이어본딩 장치에 있어서,
상기 선단 개구부에서 배출되는 와이어의 돌출여부를 검출하여 제1전기신호를 출력하는 와이어 감지센서와,
상기 제1전기신호를 입력받아 내부에 기설정(旣設定)된 설정신호값과 상기 제1전기신호를 비교하여 제2전기신호를 출력하는 제어부와,
상기 제2전기신호를 입력받아 상기 와이어를 하방향으로 이동시키는 와이어 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 와이어본딩 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,필러리 유닛은, 상기 와이어에 전달되는 초음파 진동을 발생시키는 트랜스듀서(transducer)와, 상기 와이어를 지지하고 상기 선단 개구부가 마련된캐필러리포함하는것을특징으로 하는반도체 제조공정의 와이어본딩 장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 와이어 이송부는상기와이어클램프와상기캐필러리유닛사이설치되는것을특징으로 하는반도체 제조공정의 와이어본딩 장치.
[청구항 4]
반도체 패키지의 와이어본딩에 사용되는 와이어(wire)를 지지하는 와이어 클램프와, 상기 와이어 클램프에 의해 지지된 와이어가 하방향으로 삽입되고, 상기 와이어가 배출되는 선단 개구부(先端 開口部)를 포함하며, 상기 선단 개구부에서 배출된 와이어로 볼(ball)을 형성시키는 캐필러리 유닛과, 상기 와이어가 부착될 반도체 패키지의 본딩패드 상으로 상기 캐필러리 유닛을 이동시키는 캐필러리 이송부와, 반도체 패키지의 와이어본딩시 리드 프레임을 가압하는 윈도우 클램프(window clamp)가 구비된 반도체 제조공정의 와이어본딩 장치에 있어서,
상기 윈도우 클램프 상에,
연결상태에서 끊어져 단편화(斷片化)된 스크랩 와이어(scrapped wire)가 결합된 볼이 부착되는 볼 부착 스테이션(ball attaching station)과,
상기 선단 개구부와 접촉하여 상기 선단 개구부에 형성된 이물질을 제거시키는 클리닝 스테이션(cleaning station)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 와이어본딩 장치
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,부착 스테이션 또는 상기 클리닝 스테이션의 표면은, 금 도금에 의하여 형성된 금막(金膜이루어지는것을특징으로 하는반도체 제조공정의 와이어본딩 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
와이어본딩 장치에서 와이어의 돌출 여부를 검출하여 제1전기신호를 출력하는 와이어 감지센서가 제어부로부터 받은 제2전기신호에 따라 수행하는 동작은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation와이어 감지센서가 제어부로부터 받은 제2전기신호에 따라 수행하는 동작을 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 와이어 감지센서, 제어부, 와이어 이송부 간의 신호 흐름과 동작 관계를 추출한다.
- 상기 제1전기신호를 입력받아 내부에 기설정(旣設定)된 설정신호값과 상기 제1전기신호를 비교하여 제2전기신호를 출력하는 제어부와, 상기 제2전기신호를 입력받아 상기 와이어를 하방향으로 이동시키는 와이어 이송부
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3근거 선택
evidence_selection제2전기신호가 와이어 이송부로 입력되어 와이어를 이동시킨다는 구절을 선택한다.
- 상기 제2전기신호를 입력받아 상기 와이어를 하방향으로 이동시키는 와이어 이송부
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4논리 통합
logical_integration질문은 '와이어 감지센서가 수행하는 동작'을 묻고 있으나, 문맥상 제2전기신호에 의해 동작하는 주체는 와이어 이송부이며, 센서는 제1전기신호를 출력하는 역할을 한다. 하지만 질문의 의도가 제2전기신호에 의해 발생하는 시스템적 동작을 묻는 것이라면 와이어 이송부의 동작을 기술해야 한다. 문맥을 재검토하면 제2전기신호는 와이어 이송부에 입력된다.
- 상기 제2전기신호를 입력받아 상기 와이어를 하방향으로 이동시키는 와이어 이송부
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5결론 도출
conclusion_formulation제2전기신호가 입력되면 와이어 이송부가 상기 와이어를 하방향으로 이동시킨다.
- 상기 제2전기신호를 입력받아 상기 와이어를 하방향으로 이동시키는 와이어 이송부
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답으로 '상기 와이어를 하방향으로 이동시키는 와이어 이송부의 동작'을 추출하여 제시한다.
- 상기 와이어를 하방향으로 이동시키는 와이어 이송부
최종 답변 (final_answer)
상기 와이어를 하방향으로 이동시키는 와이어 이송부의 동작을 유발함 (또는 와이어 이송부가 상기 와이어를 하방향으로 이동시킴)
핵심 해석 (core_interpretation)
와이어 감지센서와 제어부의 신호 전달을 통해 와이어 이송부가 와이어를 하방향으로 이동시키는 제어 메커니즘을 나타냄.