문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 스토리지 전극과 인접하는 스토리지 전극은 제1 방향을 따라서 제1 간격으로 이격되며, 제2 방향을 따라서 상기 제1 간격 보다 작은제2간격이격되는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 스토리지 전극의 직경은 상기 제2 간격 보다 크고 상기 제1 간격 보다 작은 것특징으로 하는캐패시터.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 안정화 수단과 상기 인접하는 안정화 수단은 상기 제2 방향을 따라 서로 연결되며, 상기 제1 방향을 따라서서로이격되는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 제2 방향을 따라서는 상기 안정화 수단과 상기 인접하는 안정화 수단 사이에개구형성되는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 안정화 수단nan은링구조갖는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 안정화 수단은 부분적으로상기스토리지 전극매립되는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 8]
제6항에 있어서,상기 스토리지 전극nan은계단형피라미드구조갖는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 안정화 수단은 부분적으로 상기 스토리지 전극에 의해지지되는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 안정화 수단은 절연물질로이루어지는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 안정화 수단은 실리콘 질화물,실리콘산질화물또는탄탈산화물로이루어지는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 안정화 수단nan은브리지의구조갖는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 안정화 수단의 일 단부는 상기 스토리지 전극에 매립되며, 상기 안정화 수단의 타 단부는 상기 인접하는스토리지 전극매립되는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 15]
제12항에 있어서,상기 안정화 수단은 절연물질로이루어지는것을특징으로 하는캐패시터.
[청구항 40]
제39항에 있어서,상기 스토리지 전극과 인접하는 스토리지 전극은 상기 도전성 구조물들에 대하여 평행하거나 직교하는 방향을 따라서 제1 간격으로 이격되며, 상기 도전성 구조물들에 대하여 사선 방향을 따라 상기 제2 간격 보다 작은제2간격이격되는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 41]
제40항에 있어서,상기 안정화 수단과 상기 인접하는 안정화 수단은 상기 사선 방향을 서로 연결되며, 상기 제1 방향을 따라서서로이격되는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 42]
제39항에 있어서,상기 안정화 수단은 부분적으로상기스토리지 전극매립되는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 43]
제39항에 있어서,상기 스토리지 전극nan은계단형피라미드구조갖는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 44]
제43항에 있어서,상기 안정화 수단은 부분적으로 상기 스토리지 전극에 의해지지되는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 46]
제45항에 있어서,상기 안정화 수단의 일 단부는 상기 스토리지 전극에 매립되며, 상기 안정화 수단의 타 단부는 상기 인접하는스토리지 전극매립되는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 47]
제45항에 있어서,상기 안정화 수단의 양 단부는 각기 상기 스토리지 전극과 상기 인접하는 스토리지 전극에 의해지지되는것을특징으로 하는반도체 장치.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
캐패시터에서 스토리지 전극의 직경과 제1 간격, 제2 간격 사이의 크기 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation캐패시터 구성 요소인 스토리지 전극의 직경과 제1 간격, 제2 간격 사이의 크기 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 스토리지 전극의 직경, 제2 간격, 제1 간격에 대한 기술적 관계가 명시되어 있다.
- 상기 스토리지 전극의 직경은 상기 제2 간격 보다 크고 상기 제1 간격 보다 작은 것
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3근거 선택
evidence_selection직경과 간격 간의 크기 비교를 직접적으로 나타내는 구절을 선택한다.
- 상기 스토리지 전극의 직경은 상기 제2 간격 보다 크고 상기 제1 간격 보다 작은 것
-
4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 바탕으로 직경 > 제2 간격, 직경 < 제1 간격이라는 관계를 도출한다.
- 상기 스토리지 전극의 직경은 상기 제2 간격 보다 크고 상기 제1 간격 보다 작은 것
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5결론 도출
conclusion_formulation스토리지 전극의 직경은 제2 간격보다는 크고 제1 간격보다는 작다는 결론을 내린다.
- 상기 스토리지 전극의 직경은 상기 제2 간격 보다 크고 상기 제1 간격 보다 작은 것
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 문구 그대로 답변을 생성한다.
- 상기 스토리지 전극의 직경은 상기 제2 간격 보다 크고 상기 제1 간격 보다 작은 것
최종 답변 (final_answer)
상기 스토리지 전극의 직경은 상기 제2 간격 보다 크고 상기 제1 간격 보다 작은 것
핵심 해석 (core_interpretation)
캐패시터의 스토리지 전극 직경이 제1 간격과 제2 간격 사이의 특정 크기 범위를 갖도록 설계되어 구조적 특성을 정의함.