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일렉트로-루미네센스 표시 패널의 박막 트랜지스터 어레이및 그 제조 방법 document_id 1020040011581

출원번호
1020040011581
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 게이트 라인과 데이터 라인의 교차로 정의된 화소 영역마다 형성된 el 셀을 독립적으로 구동하는 셀 구동부를 포함하는 박막 트랜지스터 어레이에 있어서, 상기 셀 구동부는 게이트 라인과 접속된 제1 게이트 전극, 그 제1 게이트 전극과 게이트 절연막을 사이에 두고 교차하는 제1 액티브층, 데이터 라인 및 상기 제1 액티브층의 일측과 접속된 제1 소스 전극, 상기 제1 게이트 전극을 사이에 두고 상기 제1 소스 전극과 대향하면서 상기 제1 액티브층의 타측과 접속된 제1 드레인 전극을 포함하는 스위치 박막 트랜지스터와 상기 제1 드레인 전극과 접속된 제2 게이트 전극, 그 게이트 전극과 게이트 절연막을 사이에 두고 자신의 결정화를 위한 레이져 스캔 방향을 따라 길게 형성된 제2 액티브층, 전원 라인 및 상기 제2 액티브층의 일측과 접속된 제2 소스 전극, 상기 제2 게이트 전극을 사이에 두고 상기 제2 소스 전극과 대향하면서 상기 제2 액티브층의 타측과 접속된 제2 드레인 전극을 포함하는 구동 박막 트랜지스터와 상기 전원 라인과 접속된 스토리지 상부 전극과, 그 스토리지 상부 전극과 층간 절연막을 사이에 두고 형성되며 상기 제1 액티브층과 접속된 제3 액티브층을 포함하는 스토리지 캐패시터와 상기 구동 박막 트랜지스터의 제2 드레인 전극과 접속되어 상기 el 셀의 제1 전극 역할을 하는 화소 전극을 구비하고, 상기 제2 액티브층은 상기 화소 전극 측면의 수직 방향을 따라 길게 형성된 것을 특징으로 하는 el 표시 패널의 박막 트랜지스터 어레이 [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 전원 라인은 상기 게이트 라인과 교차하도록형성된것을특징으로 하는el 표시 패널의 박막 트랜지스터 어레이. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 전원 라인은 상기 게이트 라인과 동일 금속층으로 형성되어, 상기 게이트 라인과의 교차부에서 분리되며, 상기 층간 절연막을 관통하는 컨택홀들을 통해 상기 분리된 전원 라인과 접속된 연결 전극을 추가구비하는 것을el 표시 패널의 박막 트랜지스터 어레이. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 스토리지 상부 전극은 상기 전원 라인으로부터 상기 제2 액티브층을 따라 돌출되어형성된것을특징으로 하는el 표시 패널의 박막 트랜지스터 어레이. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 전원 라인nan은상기게이트 라인형성된것을특징으로 하는el 표시 패널의 박막 트랜지스터 어레이. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 스토리지 상부 전극은 상기 제3 액티브층과 중첩된상기전원라인의일부분포함된것을특징으로 하는el 표시 패널의 박막 트랜지스터 어레이. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 제1 드레인 전극은 상기 제2 액티브층의 측면을 따라 신장되어 상기 층간 절연막을 관통하는 컨택홀을 통해상기제2게이트 전극접속된것을특징으로 하는el 표시 패널의 박막 트랜지스터 어레이.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막 트랜지스터 어레이에서 전원 라인이 게이트 라인과 동일 금속층으로 형성될 경우, 상기 전원 라인과 게이트 라인의 교차부에서 분리된 전원 라인과 접속하기 위해 추가로 구비되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    전원 라인이 게이트 라인과 동일 금속층일 때, 교차부에서 분리된 전원 라인과 접속하기 위해 추가되는 구성 요소를 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 4에서 전원 라인이 게이트 라인과 동일 금속층으로 형성되어 교차부에서 분리된다는 조건을 확인한다.

    • 상기 전원 라인은 상기 게이트 라인과 동일 금속층으로 형성되어, 상기 게이트 라인과의 교차부에서 분리되며
  3. 3근거 선택evidence_selection

    분리된 전원 라인과 접속하기 위해 추가되는 구성 요소에 대한 구절을 선택한다.

    • 상기 층간 절연막을 관통하는 컨택홀들을 통해 상기 분리된 전원 라인과 접속된 연결 전극을 추가구비하는 것
  4. 4논리 통합logical_integration

    전원 라인과 게이트 라인이 동일 층에 있어 교차 시 단락을 방지하기 위해 분리하고, 이를 다시 연결하기 위해 '연결 전극'을 사용함을 파악한다.

    • 상기 게이트 라인과의 교차부에서 분리되며, 상기 층간 절연막을 관통하는 컨택홀들을 통해 상기 분리된 전원 라인과 접속된 연결 전극을 추가구비하는 것
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    추가되는 구성 요소는 '연결 전극'임을 도출한다.

    • 연결 전극을 추가구비하는 것
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대한 직접적인 답변으로 '연결 전극'을 제시한다.

    • 연결 전극
최종 답변 (final_answer)
연결 전극
핵심 해석 (core_interpretation)
전원 라인과 게이트 라인이 동일한 금속층에 형성되어 교차할 때 발생하는 단락을 방지하기 위해, 교차부에서 라인을 분리하고 층간 절연막의 컨택홀을 통해 연결 전극으로 재접속하는 기술적 구성을 나타낸다.