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빔 호모지나이저, 레이저 조사 장치, 및 반도체 장치의 제조방법 document_id 1020040016361

출원번호
1020040016361
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 광 도파로는 단축 방향으로 레이저빔의 에너지 분포균질하게 하는빔 균질기. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,상기 제 2 단부면은 광 도파로로부터 방출된 레이저빔이 투영 렌즈를 통해서 투사될 때, 레이저빔의 대향 단부 및 중심이 피조사면 상집속되도록 굴곡지는빔 균질기. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,상기 제 2 단부면은 광 도파로로부터 방출된 레이저빔이 투영 렌즈를 통해서 투사될 때, 장축 방향으로 직사각형 레이저빔의 대향 단부 및 중심이 피조사면 상집속되도록 굴곡지는빔 균질기. [청구항 6] 제 2 항에 있어서,상기 광 도파로는 단축 방향으로 직사각형 레이저빔의 에너지 분포균질하게 하는빔 균질기. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 직사각형 레이저빔은 10 이상의 종횡비가지는빔 균질기. [청구항 8] 제 5 항에 있어서,상기 직사각형 레이저빔은 100 이상의 종횡비가지는빔 균질기. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 도광관은 단축 방향으로 레이저빔의 에너지 분포균질하게 하는빔 균질기. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,상기 제 2 단부면은 도광관으로부터 방출된 레이저빔이 투영 렌즈를 통해서 투사될 때, 레이저빔의 대향 단부 및 중심이 피조사면 상집속되도록 굴곡지는빔 균질기. [청구항 13] 제 10 항에 있어서,상기 제 2 단부면은 도광관으로부터 방출된 레이저빔이 투영 렌즈를 통해서 투사될 때, 장축 방향으로 직사각형 레이저빔의 대향 단부 및 중심이 피조사면 상집속되도록 굴곡지는빔 균질기. [청구항 14] 제 10 항에 있어서,상기 도광관은 단축 방향으로 직사각형 레이저빔의 에너지 분포균질하게 하는빔 균질기. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 직사각형 레이저빔은 10 이상의 종횡비가지는빔 균질기. [청구항 16] 제 13 항에 있어서,상기 직사각형 레이저빔은 100 이상의 종횡비가지는빔 균질기. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,단일 축방향의 레이저빔의 에너지 분포를 균질하게 하는 수단은 적어도 하나의 원통 렌즈 어레이포함하는레이저 조사장치. [청구항 20] 제 17 항에 있어서,상기 제 2 단부면은 광 도파로로부터 방출된 레이저빔이 투영 렌즈를 통해서 투사될 때, 직사각형 레이저빔의 대향 단부 및 중심이 피조사면 상집속되도록 굴곡지는레이저 조사장치. [청구항 21] 제 18 항에 있어서,상기 제 2 단부면은 광 도파로로부터 방출된 레이저빔이 투영 렌즈를 통해서 투사될 때, 직사각형 레이저빔의 대향 단부 및 중심이 피조사면 상집속되도록 굴곡지는레이저 조사장치. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,단일 축방향의 레이저빔의 에너지 분포를 균질하게 하는 수단은 적어도 하나의 원통 렌즈 어레이포함하는레이저 조사장치. [청구항 25] 제 22 항에 있어서,상기 제 2 단부면은 도광관으로부터 방출된 레이저빔이 투영 렌즈를 통해서 투사될 때, 레이저빔의 대향 단부 및 중심이 피조사면 상집속되도록 굴곡지는레이저 조사장치. [청구항 26] 제 23 항에 있어서,상기 제 2 단부면은 도광관으로부터 방출된 레이저빔이투영렌즈통해서투사될때, 레이저빔의 대향 단부 및 중심이 피조사면 상에 집속되록 굴곡지는 레이저 조사장치. [청구항 27] 제 17 항에 있어서,상기 레이저빔은 직사각형인레이저 조사장치. [청구항 28] 제 18 항에 있어서,상기 레이저빔은 직사각형인레이저 조사장치. [청구항 29] 제 22 항에 있어서,상기 레이저빔은 직사각형인레이저 조사장치. [청구항 30] 제 23 항에 있어서,상기 레이저빔은 직사각형인레이저 조사장치. [청구항 31] 제 25 항에 있어서,상기 빔 균질기는 단축 방향의 직사각형 레이저빔의 에너지 분포균질하게 하는레이저 조사장치. [청구항 32] 제 25 항에 있어서,상기 직사각형 레이저빔은 10 이상의 종횡비가지는레이저 조사장치. [청구항 33] 제 26 항에 있어서,상기 직사각형 레이저빔은 10 이상의 종횡비가지는레이저 조사장치. [청구항 34] 제 25 항에 있어서,상기 직사각형 레이저빔은 100 이상의 종횡비가지는레이저 조사장치. [청구항 35] 제 26 항에 있어서,상기 직사각형 레이저빔은 100 이상의 종횡비가지는레이저 조사장치. [청구항 36] 제 17 항에 있어서,상기 레이저 발진기는 엑시머 레이저, yag 레이저, 글래스 레이저, yvo4 레이저, ylf 레이저 및 ar 레이저로 구성되는 그룹선택되는레이저 조사장치. [청구항 37] 제 18 항에 있어서,상기 레이저 발진기는 엑시머 레이저, yag 레이저, 글래스 레이저, yvo4 레이저, ylf 레이저 및 ar 레이저로 구성되는 그룹선택되는레이저 조사장치. [청구항 38] 제 22 항에 있어서,상기 레이저 발진기는 엑시머 레이저, yag 레이저, 글래스 레이저, yvo4 레이저, ylf 레이저 및 ar 레이저로 구성되는 그룹선택되는레이저 조사장치. [청구항 39] 제 23 항에 있어서,상기 레이저 발진기는 엑시머 레이저, yag 레이저, 글래스 레이저, yvo4 레이저, ylf 레이저 및 ar 레이저로 구성되는 그룹선택되는레이저 조사장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
레이저 조사장치에서 단일 축방향의 레이저빔 에너지 분포를 균질하게 하기 위해 포함되는 수단은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    레이저 조사장치에서 단일 축방향의 레이저빔 에너지 분포를 균질하게 하기 위해 사용되는 수단을 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 19 및 24에서 '단일 축방향의 레이저빔의 에너지 분포를 균질하게 하는 수단'에 대한 정의를 확인한다.

    • 단일 축방향의 레이저빔의 에너지 분포를 균질하게 하는 수단은 적어도 하나의 원통 렌즈 어레이포함하는레이저 조사장치
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문과 직접적으로 대응하는 구절인 '적어도 하나의 원통 렌즈 어레이'를 선택한다.

    • 적어도 하나의 원통 렌즈 어레이
  4. 4논리 통합logical_integration

    청구항의 문맥상 단일 축방향 에너지 분포 균질화 수단은 원통 렌즈 어레이임을 알 수 있다.

    • 단일 축방향의 레이저빔의 에너지 분포를 균질하게 하는 수단은 적어도 하나의 원통 렌즈 어레이포함하는레이저 조사장치
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 구성한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    최종 답변을 '적어도 하나의 원통 렌즈 어레이'로 생성한다.

    • 적어도 하나의 원통 렌즈 어레이
최종 답변 (final_answer)
적어도 하나의 원통 렌즈 어레이
핵심 해석 (core_interpretation)
레이저 조사장치에서 레이저빔의 단일 축방향 에너지 분포를 균질하게 만들기 위해 원통 렌즈 어레이를 수단으로 사용함을 명시하고 있다.