미동 스테이지장치 document_id 1020040019199

[청구항 2] 제1항에 있어서,적어도 3개의 변환기구를 동일 원주상에 등각도 간격을 두고 배치함으로써, 상기 틸트 플레이트는 z축 방향, x축 주위의 θx축 방향, y축 주위의 θy축 방향으로 변위 가능하게 되고, 상기 x-y 플레이트는 상기 틸트 플레이트와 함께 변위 가능하게 됨과 동시에, 상기 틸트 플레이트와는 독립하여 x축 방향, y축 방향, z축 주위의 θz축 방향으로 변위 가능하게있는것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 틸트 플레이트와 상기x-y 플레이트의 사이에는, 이 x-y 플레이트의 x-y 평면 내에서의 운동을 가이드함과 동시에, 상기 베이스체에 수직인 방향으로는 높은 강성을 부여하는 링크 힌지가복수개소구비되어있는것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 틸트 플레이트와 상기 베이스체의 사이에는, 이 틸트 플레이트의 x-y 평면 내에서의 운동을 구속하기 위한 판 스프링이복수개소구비되어있는것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 변환기구에 있어서의 z축 방향의 운동부의 상부와 상기 틸트 플레이트의 사이에는틸트힌지개재시키고있는것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 제1 피에조 액츄에이터는, 상호 평행하게 뻗는 2개의 피에조 액츄에이터 소자가 2련(連) 스테이지에 의해 그들의 스트로크가 가산되도록 조합된 것인 것특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기x-y 플레이트 위에는 또한, 피탑재물을 탑재하기 위한 탑(top)테이블설치되는것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 베이스체와 상기 탑 테이블의 사이에는, z축 방향의 감쇠작용을 가지는 복수의 z축감쇠기배치한것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 베이스체와 상기x-y 플레이트의 사이에는, x축 방향, y축 방향의 감쇠작용을 가지는 적어도 3개의 감쇠기를 동일의 x-y평면내배치한것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 10] 제7항에 있어서,상기 틸트 플레이트는 중앙부에 제1 개구를 가지고, 이 제1 개구에 이보다 작은 제2 개구를 가지는 상기 x-y 플레이트가 조합되어 있고, 상기 제2 개구에 대응하는 상기 탑 테이블의 하면에는 상기 제2 개구에 대응 하는 크기의 댐퍼 링이 구비되어 있고, 이 댐퍼 링 내에는 상기 베이스체에 구비된 스탠드를 통하여 상기 댐퍼 링의 내경보다 조금 작은 댐퍼 홀더가 구비되고, 이 댐퍼 홀더와 상기 댐퍼 링의 사이에는, x축 방향의 감쇠작용을 가지는 적어도 2개의 x축 감쇠기를 동축 상에서 상호 반대 방향으로 작용하도록 설치함과 동시에, y축 방향의 감쇠작용을 가지는 적어도 2개의 y축 감쇠기를 동축 상에서 상호 반대 방향으로 작용하도록설치한것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 11] 제8항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 감쇠기는, 감쇠용의 댐퍼 오일로서 진공용 그리스(grease)의 기유(基油)를 내장하고, 복귀용의 스프링, 피스톤 로드를 포함하는 비자성 재료에 의한댐퍼구성되는것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 12] 제8항에 있어서,상기z축 감쇠기는, 그 피스톤 로드의 선단이상기탑플레이트의하면배치되어있는것을특징으로 하는미동 스테이지장치. [청구항 13] 제9항 또는 제10항에 있어서,상기x축 감쇠기, y축 감쇠기는 각각, 그 피스톤 로드의 선단이상기댐퍼링배치되어있는것을특징으로 하는미동 스테이지장치.