문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 노광설비의 파티클 계측장치에 있어서,
에어크린룸에 연결되어 에어를 공급하는 통로를 형성하는 에어공급라인과,
상기 에어공급라인에 설치되어 공기중의 입자수를 포집하여 레이저를 쪼여 발생하는 산란광의 세기에 따라 파티클의 개수를 측정하는 파티클 카운터를 포함함을 특징으로 하는 반도체 노광설비의 파티클 계측장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 파티클 카운터는, 에어를 포집하는 프로브와, 상기 프로브 입구와 동일한 레벨로 고정설치한 풍속센서와, 상기 프로브에 연결되어 파티클의 개수를 측정하는 카운터 측정부와, 상기 카운터 측정부에서 측정한 파티클 개수를 누산하여 설정된 파티클 개수를 초과할 시 경고음 발생 제어신호를 출력하고, 상기 풍속센서의 감지신호를 받아 펌프의 구동속도를 조절하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러의 펌프구동신호에 의해 에어의 유속을 제어하고, 상기 카운터 측정부를 통과한 에어를 외부로 배기하는 펌프와, 상기 콘트롤러의 경고음 발생제어 신호에 의해 경고음을 발생하는 경고음 발생부를포함함을특징으로 하는반도체 노광설비의 파티클 계측장치.
[청구항 3]
반도체 노광설비의 파티클 계측장치에 있어서,
에어크린룸에 연결되어 에어를 공급하는 통로를 형성하는 에어공급라인과,
상기 에어공급라인에 설치되어 공기중의 입자수를 포집하여 레이저를 쪼여 발생하는 산란광의 세기에 따라 파티클의 개수를 측정하는 제1 파티클 카운터와,
상기 에어공급라인을 통해 공급되는 크린에어를 송풍시키는 송풍팬과,
상기 송풍팬로부터 송풍된 에어를 받아 암모니아성분을 필터링하는 차콜필터와,
상기 차콜필터를 통해 필터링된 에어를 일정온도로 가열하는 제1 열교환기와,
상기 제1 열교환기로부터 가열된 에어를 다시 설정된 온도로 가열하는 제2열교환기와,
상기 제2 열교환기로부터 가열된 에어를 2차 필터링하는 헤파필터와,
상기 헤파필터로부터 2차 필터링된 에어의 입자수를 포집하여 레이저를 쪼여 발생하는 산란광의 세기에 따라 파티클의 개수를 측정하는 제2 파티클 카운터를 포함함을 특징으로 하는 반도체 노광설비의 파티클 계측장치
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기제1 및 제2 파티클 카운터는, 에어를 포집하는 프로브와, 상기 프로브 입구와 동일한 레벨로 고정설치한 풍속센서와, 상기 프로브에 연결되어 파티클의 개수를 측정하는 카운터 측정부와, 상기 카운터 측정부에서 측정한 파티클 개수를 누산하여 설정된 파티클 개수를 초과할 시 경고음 발생 제어신호를 출력하고, 상기 풍속센서의 감지신호를 받아 펌프의 구동속도를 조절하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러의 펌프구동신호에 의해 에어의 유속을 제어하고, 상기 카운터 측정부를 통과한 에어를 외부로 배기하는 펌프와, 상기 콘트롤러의 경고음 발생제어 신호에 의해 경고음을 발생하는 경고음 발생부를포함함을특징으로 하는반도체 노광설비의 파티클 계측장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 요구되는 내용을 항목별 목록으로 제시하라.
질문 (question)
청구항 3 및 청구항 4에 기재된 반도체 노광설비의 파티클 계측장치에서, 제1 파티클 카운터와 제2 파티클 카운터가 공통적으로 포함하는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 3과 청구항 4를 분석하여 제1 파티클 카운터와 제2 파티클 카운터가 공통으로 갖는 구성 요소를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 제1 및 제2 파티클 카운터의 세부 구성을 확인한다.
- 상기제1 및 제2 파티클 카운터는, 에어를 포집하는 프로브와, 상기 프로브 입구와 동일한 레벨로 고정설치한 풍속센서와, 상기 프로브에 연결되어 파티클의 개수를 측정하는 카운터 측정부와, 상기 카운터 측정부에서 측정한 파티클 개수를 누산하여 설정된 파티클 개수를 초과할 시 경고음 발생 제어신호를 출력하고, 상기 풍속센서의 감지신호를 받아 펌프의 구동속도를 조절하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러의 펌프구동신호에 의해 에어의 유속을 제어하고, 상기 카운터 측정부를 통과한 에어를 외부로 배기하는 펌프와, 상기 콘트롤러의 경고음 발생제어 신호에 의해 경고음을 발생하는 경고음 발생부를포함함을특징으로 하는반도체 노광설비의 파티클 계측장치.
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3근거 선택
evidence_selection두 카운터가 공통으로 포함하는 구성 요소들을 나열한다.
- 에어를 포집하는 프로브, 풍속센서, 카운터 측정부, 콘트롤러, 펌프, 경고음 발생부
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4논리 통합
logical_integration청구항 4의 문구 '상기 제1 및 제2 파티클 카운터는 ~를 포함함'을 통해 두 구성 요소가 동일한 하위 구성을 공유함을 도출한다.
- 상기제1 및 제2 파티클 카운터는
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 구성 요소들을 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 최종 답변을 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
에어를 포집하는 프로브, 풍속센서, 카운터 측정부, 콘트롤러, 펌프, 경고음 발생부
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제1 및 제2 파티클 카운터가 동일한 측정 및 제어 메커니즘(프로브, 풍속센서, 카운터 측정부, 콘트롤러, 펌프, 경고음 발생부)을 공유함으로써 파티클 계측의 일관성을 유지하는 기술을 포함한다.