문맥 (context)
[청구항 1]
다수의 유기전계발광어레이가 소정의 갭을 두고 형성됨과 아울러 상기 유기전계발광어레이의 패키징을 위한 캡과 실런트를 통해 합착되는 기판에 대하여 소정영역을 마스킹하기 위한 마스크와
상기 마스크를 지지하기 위한 마스크 홀더와
상기 마스크 홀더에 장착됨과 아울러 상기 기판에 탄성력을 가하는 적어도 하나의 스프링유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 스프링유닛은 상기 마스크 홀더에 접속되는 몸통부와; 상기 몸통부에서 신장되는 탄성부와; 기판과 접촉 가능하게 상기 탄성부와 연결됨과 아울러 상기 기판을 밀어내는 푸싱부를구비하는것을특징으로 하는마스크장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 마스크는 그 외곽영역에 적어도 하나의 스프링유닛 삽입공을 구비하며, 상기 스프링유닛은상기스프링유닛삽입공정합된것을특징으로 하는마스크장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 소정영역은 상기 유기전계발광어레이인것을특징으로 하는마스크장치.
[청구항 6]
유기전계발광어레이의 패키징을 위해 실런트를 이용하여 캡과 기판이 합착된 유기전계발광소자의 제조장치에 있어서,
상기 실런트에 상기 유기전계발광어레이 각각을 패키징하기 위한 다수의 캡을 접촉시키는 캡푸싱장치와
마스크를 통하여 상기 기판 상에 광을 조사하여 상기 캡과 상기 기판을 합착하는 노광장치와
상기 실런트에 광이 조사되게 하는 마스크, 상기 마스크를 지지함과 아울러 상기 기판을 밀어내는 스프링유닛이 장착된 마스크홀더를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조장치
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 스프링유닛은 상기 마스크 홀더에 접속되는 몸통부와; 상기 몸통부에서 신장되는 탄성부와; 기판과 접촉 가능하게 상기 탄성부와 연결됨과 아울러 상기 기판을 밀어내는 푸싱부를구비하는것을특징으로 하는유기전계발광소자의 제조장치.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 마스크는 그 외곽영역에 적어도 하나의 스프링유닛 삽입공을 구비하며, 상기 스프링유닛은상기스프링유닛삽입공정합된것을특징으로 하는유기전계발광소자의 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
마스크장치에서 기판에 탄성력을 가하기 위해 사용되는 스프링유닛은 어떠한 세부 구성요소들로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation마스크장치의 구성요소 중 기판에 탄성력을 가하는 '스프링유닛'의 세부 구성요소를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2 및 청구항 7에서 스프링유닛의 구체적인 구성에 대해 기술된 내용을 추출한다.
- 상기 스프링유닛은 상기 마스크 홀더에 접속되는 몸통부와; 상기 몸통부에서 신장되는 탄성부와; 기판과 접촉 가능하게 상기 탄성부와 연결됨과 아울러 상기 기판을 밀어내는 푸싱부를구비하는것
-
3근거 선택
evidence_selection스프링유닛의 구성요소인 몸통부, 탄성부, 푸싱부를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 스프링유닛은 상기 마스크 홀더에 접속되는 몸통부와; 상기 몸통부에서 신장되는 탄성부와; 기판과 접촉 가능하게 상기 탄성부와 연결됨과 아울러 상기 기판을 밀어내는 푸싱부를구비하는것
-
4논리 통합
logical_integration추출된 세 가지 구성요소(몸통부, 탄성부, 푸싱부)가 스프링유닛을 이루는 핵심 요소임을 확인한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 스프링유닛의 구성요소들을 리스트 형태로 정리한다.
-
6답변 생성
answer_generation최종적으로 몸통부, 탄성부, 푸싱부를 답변으로 도출한다.
최종 답변 (final_answer)
몸통부, 탄성부, 푸싱부
핵심 해석 (core_interpretation)
마스크장치의 스프링유닛은 마스크 홀더에 접속되는 몸통부, 신장되는 탄성부, 그리고 기판을 밀어내는 푸싱부로 구성되어 기판에 탄성력을 가하는 역할을 수행한다.