문맥 (context)
[청구항 1]
퓨즈라인;
상기 퓨즈라인 아래에 형성된 퓨즈 배선층
상기 퓨즈라인의 양끝단과 상기 퓨즈배선층을 연결하는 콘택플러그
상기 퓨즈라인 상부를 덮으며, 상기 퓨즈를 절단하도록 상기 퓨즈라인 상부에서 퓨즈개방부를 갖는 절연막; 및
상기 절연막 안에서 상기 퓨즈 개방부를 둘러싸는 링 형태로 형성되며 외부에서 상기 퓨즈개방부로 유입되는 불순물의 침투를 방지하는 가드링
을 포함하는 반도체 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 퓨즈배선층은 텅스텐층으로 형성된비트라인인것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 퓨즈 배선층은, 상기 퓨즈라인의 일측 끝단과 수직으로 교차하는 제1퓨즈배선층; 및 상기 퓨즈라인의 타측 끝단과 자신의 끝단이 오버랩되면서 평행하게 뻗은제2퓨즈배선층포함하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 제1퓨즈배선층은 이웃하는 퓨즈라인들을 동시에 연결하는 일체형이고, 상기 제2퓨즈배선층은 각 퓨즈라인과 독립적으로 연결되도록퓨즈라인의갯수구비된것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 콘택플러그는텅스텐인것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 가드링은, 제1금속층,비아콘택및제2금속층의순서적층된것을특징으로 하는반도체 장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소 사이의 연결 및 상호작용을 분석하여 질문에 답하라. 근거를 종합하여 자연스러운 문장으로 설명하라.
질문 (question)
청구항 1 내지 4의 내용을 종합할 때, 퓨즈배선층의 제1퓨즈배선층과 제2퓨즈배선층은 각각 퓨즈라인과 어떠한 구조적 관계를 가지며 연결되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation청구항 1 내지 4를 종합하여 제1퓨즈배선층과 제2퓨즈배선층이 퓨즈라인과 맺는 구조적 관계 및 연결 방식을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 제1퓨즈배선층은 퓨즈라인의 일측 끝단과 수직으로 교차하며, 제2퓨즈배선층은 퓨즈라인의 타측 끝단과 오버랩되며 평행하게 뻗어 있음을 추출한다.
- 상기 퓨즈라인의 일측 끝단과 수직으로 교차하는 제1퓨즈배선층; 및 상기 퓨즈라인의 타측 끝단과 자신의 끝단이 오버랩되면서 평행하게 뻗은 제2퓨즈배선층
-
3근거 선택
evidence_selection제1퓨즈배선층의 수직 교차 관계와 제2퓨즈배선층의 오버랩 및 평행 관계를 나타내는 구절을 선택한다.
- 상기 퓨즈라인의 일측 끝단과 수직으로 교차하는 제1퓨즈배선층; 및 상기 퓨즈라인의 타측 끝단과 자신의 끝단이 오버랩되면서 평행하게 뻗은 제2퓨즈배선층
-
4논리 통합
logical_integration제1퓨즈배선층은 퓨즈라인의 한쪽 끝단에서 수직으로 만나며, 제2퓨즈배선층은 반대쪽 끝단에서 퓨즈라인과 평행하게 겹쳐지는 구조임을 통합한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation제1퓨즈배선층은 퓨즈라인의 일측 끝단과 수직으로 교차하고, 제2퓨즈배선층은 퓨즈라인의 타측 끝단과 끝단이 오버랩되면서 평행하게 뻗은 구조로 연결된다.
- 상기 퓨즈라인의 일측 끝단과 수직으로 교차하는 제1퓨즈배선층; 및 상기 퓨즈라인의 타측 끝단과 자신의 끝단이 오버랩되면서 평행하게 뻗은 제2퓨즈배선층
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 퓨즈라인의 일측 끝단과 수직으로 교차하는 제1퓨즈배선층; 및 상기 퓨즈라인의 타측 끝단과 자신의 끝단이 오버랩되면서 평행하게 뻗은 제2퓨즈배선층
최종 답변 (final_answer)
제1퓨즈배선층은 퓨즈라인의 일측 끝단과 수직으로 교차하는 구조로 연결되며, 제2퓨즈배선층은 퓨즈라인의 타측 끝단과 자신의 끝단이 오버랩되면서 평행하게 뻗은 구조로 연결된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
퓨즈배선층을 제1퓨즈배선층과 제2퓨즈배선층으로 구분하여, 퓨즈라인의 양 끝단에 대해 각각 수직 교차 및 평행 오버랩 구조를 형성함으로써 퓨즈라인과 연결하는 기술적 구성을 나타낸다.