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반도체 메모리소자의 퓨즈 및 리페어 방법 document_id 1020040046761

출원번호
1020040046761
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 하부 도전막은 상기 상부 도전막에 대해 오버랩되는형태갖는것을특징으로 하는반도체 메모리 소자의 퓨즈. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 하부 도전막은 상기 상부 도전막에 대해 오버랩되지 않는형태갖는것을특징으로 하는반도체 메모리소자의 퓨즈. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 상부 도전막은 '-'자 형태, 그리고 하부 도전막은 'ㄴ' 또는 '90°회전한ㄴ형태인것을특징으로 하는반도체 메모리소자의 퓨즈. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 상부 도전막은 '-'자 형태, 그리고 하부 도전막은 ' 90°회전한 ㄱ'자 형태 또는 '90°회전한ㄴ형태인것을특징으로 하는반도체 메모리소자의 퓨즈. [청구항 6] 제 3 항에 있어서,상기 상부 도전막 상부에 콘택 전극을 통해 수직으로 연결된금속패드더포함하는것을특징으로 하는반도체 메모리소자의 퓨즈. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 금속 패드는 상기 콘택 전극, 또는 퓨즈의 콘택 전극보다 큰 것특징으로 하는반도체 메모리소자의 퓨즈. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 하부 도전막, 퓨즈의 콘택 전극 및 상부 도전막으로 이루어진 퓨즈 장치를 다수개의 배열로좌우비대칭적배치한것을특징으로 하는반도체 메모리소자의 퓨즈. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 하부 도전막, 퓨즈의 콘택 전극 및 상부 도전막으로 이루어진 퓨즈 장치를 다수개의 배열로좌우대칭적배치한것을특징으로 하는반도체 메모리소자의 퓨즈. [청구항 10] 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,다수개의 배열로 배치된 퓨즈 장치의 공간에 서로 분리된 다수개의 콘택 전극 또는 하나의 큰콘택전극더포함하는것을특징으로 하는반도체 메모리소자의 퓨즈.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
상기 상부 도전막이 '-'자 형태이고 하부 도전막이 'ㄴ' 또는 '90° 회전한 ㄴ' 형태인 반도체 메모리 소자의 퓨즈는 상기 하부 도전막과 상기 상부 도전막이 어떠한 형태로 배치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    상부 도전막이 '-'자 형태이고 하부 도전막이 'ㄴ' 또는 '90° 회전한 ㄴ' 형태일 때, 두 도전막의 배치 관계를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 4에서 상부 도전막이 '-'자 형태이고 하부 도전막이 'ㄴ' 또는 '90° 회전한 ㄴ' 형태인 경우를 명시하고 있다.

    • 상기 상부 도전막은 '-'자 형태, 그리고 하부 도전막은 'ㄴ' 또는 '90°회전한ㄴ형태
  3. 3근거 선택evidence_selection

    청구항 4는 청구항 3을 인용하고 있으므로, 청구항 3의 배치 관계인 '오버랩되지 않는 형태'를 확인해야 한다.

    • 제 3 항에 있어서
  4. 4논리 통합logical_integration

    청구항 4는 청구항 3의 구성을 포함하므로, 해당 조건에서의 하부 도전막과 상부 도전막은 서로 오버랩되지 않는 형태이다.

    • 상기 하부 도전막은 상기 상부 도전막에 대해 오버랩되지 않는형태
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    따라서 질문에서 제시한 형태의 도전막들은 서로 오버랩되지 않는 형태로 배치된다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 '상기 하부 도전막은 상기 상부 도전막에 대해 오버랩되지 않는 형태'로 답변을 생성한다.

    • 상기 하부 도전막은 상기 상부 도전막에 대해 오버랩되지 않는형태
최종 답변 (final_answer)
상기 하부 도전막은 상기 상부 도전막에 대해 오버랩되지 않는 형태이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
상부 도전막과 하부 도전막의 특정 기하학적 형상(-자 및 ㄴ자 형태)을 가질 때, 두 도전막은 서로 오버랩되지 않도록 배치됨을 정의한다.