문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 액추에이터는 상기 가동자에 마련되며, 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루며 상기 제2가이드를 진동하여 가압하는압전소자모터더포함하는것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 액추에이터는 상기 압전소자모터의 단부에 상기 제2가이드에 대해 접촉가능하게 마련된마찰단포함하는것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 가동자 및 상기 제1가이드 중어느 하나에는 돌기부가 마련되며 다른 하나에는 상기 돌기부를 수용하는돌기수용부마련된것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 돌기부 및 상기 돌기수용부에는 중 적어도 하나에상기에어베어링마련된것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 돌기부 및 상기 돌기수용부는삼각형상의단면갖는것을특징으로 하는스테이지장치
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 제1가이드 및 상기 제2가이드는상호배치된것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 액추에이터와 접하는 상기 제2가이드에는 정밀하며 표면경도가 높은 재재로 제작된접촉부마련된것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 제1가이드와 상기 제2가이드는 상호 이격거리를 조절가능하게마련된것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 에어베어링은 복수개로 마련되며, 상기 복수의 에어베어링은 상기 가동자를 상기 제2가이드에직각방향가압하는것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 스테이지는 상기 제1가이드와 상기 제2가이드의 상측에 마련되어상기가동자결합된것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 12]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 스테이지는 상기 제2가이드를 사이에 두고상기가동자결합된것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 제2가이드는 이격되게 한 쌍으로 마련되며, 상기 액추에이터는 상기 한 쌍의 제2가이드에 대응하여 한쌍마련된것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 14]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가동자 및 상기 가이드유닛은 각각 복수개로 마련되고, 상기 복수의 가동자는 상기 복수의 가이드유닛에 대해 동일한 방향으로상대이동하는것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 15]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가동자 및 상기 가이드유닛은 각각 복수개로 마련되며, 상기 스테이지가 복수의 방향으로 이동가능하도록 상기 복수의 가동자는 각각 다른 방향으로 이동가능하게상호결합된것을특징으로 하는스테이지장치.
[청구항 16]
제2항에 있어서,상기 압전소자모터는 한 쌍으로 마련되며, 상기 어느 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루도록 마련되고, 상기 다른 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 작은각도마련되는것을특징으로 하는스테이지장치.
지시문 (instruction)
본문에서 필요한 정보를 찾아 질문에 답변하라.
질문 (question)
스테이지장치에서 압전소자모터가 한 쌍으로 마련될 경우, 각 압전소자모터가 가동자의 이동방향과 제2가이드 면에 대해 이루는 각도는 각각 어떻게 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation스테이지장치에서 압전소자모터가 한 쌍일 때, 각 모터가 가동자의 이동방향 및 제2가이드 면과 이루는 각도 구성을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 13과 16을 통해 압전소자모터가 한 쌍으로 마련될 수 있음을 확인하고, 각 모터의 각도에 관한 기술 내용을 추출한다.
- 상기 압전소자모터는 한 쌍으로 마련되며, 상기 어느 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루도록 마련되고, 상기 다른 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 작은각도마련되는것
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3근거 선택
evidence_selection압전소자모터의 각도 구성을 직접적으로 설명하는 청구항 16의 문구를 선택한다.
- 상기 어느 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루도록 마련되고, 상기 다른 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 작은각도마련되는것
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4논리 통합
logical_integration한 쌍의 압전소자모터 중 하나는 직각보다 큰 각도를, 다른 하나는 직각보다 작은 각도를 이루도록 구성됨을 논리적으로 연결한다.
- 상기 어느 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루도록 마련되고, 상기 다른 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 작은각도마련되는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로, 한 모터는 직각보다 큰 각도를, 다른 모터는 직각보다 작은 각도를 이루도록 구성된다는 결론을 도출한다.
- 상기 어느 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루도록 마련되고, 상기 다른 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 작은각도마련되는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 구조화된 답변을 생성한다.
- 상기 어느 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루도록 마련되고, 상기 다른 하나의 압전소자모터는 상기 가동자의 이동방향으로 상기 제2가이드 면에 대해 직각보다 작은각도마련되는것
최종 답변 (final_answer)
한 쌍의 압전소자모터 중 어느 하나의 압전소자모터는 가동자의 이동방향으로 제2가이드 면에 대해 직각보다 큰 각도를 이루고, 다른 하나의 압전소자모터는 가동자의 이동방향으로 제2가이드 면에 대해 직각보다 작은 각도를 이루도록 구성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
스테이지장치에서 한 쌍으로 구성된 압전소자모터가 가동자의 이동방향 및 제2가이드 면과 이루는 각도를 서로 다르게(직각보다 큰 각도와 작은 각도) 배치하여 구동을 구현하는 기술이다.